东莞进口晶圆运送机械吸臂维修

背景技术：

晶圆的生产与制作属极为精密的加工技术，其通常需借助晶圆传输装置来进行运输传递等作业。例如，准备对晶圆进行刻蚀加工时，需要利用晶圆传输装置将晶舟内的待刻蚀晶圆传输至刻蚀机台内。

现有一种晶圆传输装置包括机械手臂，该机械手臂的表面设有卡槽，晶圆用于放置在该卡槽内，以防止机械手臂在传送晶圆时发生晶圆平移(即晶圆相对机械手臂运动)。然而，现有机械手臂易出现碰撞损伤，另外，机械手臂的传送晶圆效率较低，影响了生产效率。

对于工业应用来说，有时并不需要机械手臂具有完整的六个自由度.东莞进口晶圆运送机械吸臂维修

一种晶圆传输装置及其真空吸附机械手，该真空吸附机械手包括：手臂；固定在所述手臂上的吸附绝缘凸台；设置在所述手臂和吸附绝缘凸台内的真空气道；所述吸附绝缘凸台用于吸附待传送晶圆的背面，所述吸附绝缘凸台的硬度小于所述待传送晶圆的背面的硬度。由于吸附绝缘凸台的硬度小于待传送晶圆的背面的硬度，故利用真空吸附机械手将晶圆传送至所需位置之后，晶圆的背面中与真空吸附机械手接触的位置不会形成印记，提高了晶圆的合格率。通用性强，能适应多种作业；工艺性好，便于维修调整。汕头本地晶圆运送机械吸臂什么价格机械手的刚度、偏重力矩、惯性力及缓冲效果都直接影响手臂的位置精度。

技术实现要素：

本实用新型要解决的技术问题是：现有机械手臂易出现碰撞损伤，且传送晶圆效率较低。

为了解决上述问题，本实用新型的一个实施例提供了一种机械手臂，其包括：托板；固定在所述托板上的绒毛垫，所述绒毛垫至少部分裸露于所述托板的用于承载晶圆的表面，并适于在与所述表面之上的晶圆接触时利用范德华力吸附晶圆。

可选地，所述绒毛垫包括托垫和绒毛，所述托垫固定在所述托板上，所述绒毛固定在所述托垫上。

可选地，所述托板设有贯穿所述表面的螺纹通孔，所述托垫嵌设在所述螺纹通孔内，并通过与所述螺纹通孔螺纹配合的螺钉固定在所述托板上。

可选地，所述绒毛为硅树脂橡胶绒毛或聚酯树胶绒毛。

可选地，所述机械手臂上所有绒毛的黏合力之和为6N以上。

可选地，所述绒毛垫上的绒毛排列成环形。

可选地，所述绒毛垫的数量为三个以上，各个所述绒毛垫之间间隔排布。

    近年来全球硅晶圆供给不足，导致8英寸、12英寸硅晶圆订单能见度分别已达2019上半年和年底。目前国内多个硅晶圆项目已经开始筹备，期望有朝一日能够打破进口依赖，并有足够的能力满足市场需求。硅在自然界中以硅酸盐或二氧化硅的形式***存在于岩石、砂砾中，硅晶圆的制造可以归纳为三个基本步骤：硅提炼及提纯、单晶硅生长、晶圆成型。一，晶柱制造步骤硅提纯:将沙石原料放入一个温度约为2000℃，并且有碳源存在的电弧熔炉中，在高温下，碳和沙石中的二氧化硅进行化学反应（碳氧结合，得硅），提纯得纯度约为98%的纯硅，又称冶金级硅，这对微电子器件来说依然不够纯，因为半导体材料的电学特性对杂质的浓度相当的敏感，因而对冶金级硅作进一步提纯：将粉碎的冶金级硅与气态的氯化氢进行氯化反应，生成液态的硅烷，然后通过蒸馏和化学还原工艺，得到了高纯度的多晶硅，其纯度达99%，成为电子级硅。 合理选择机械手的坐标形式。直角坐标式机械手的位置精度较高，其结构和运动都比较简单、误差也小。

 晶圆是半导体行业的关键元件，随着半导体行业的迅速发展，晶圆的搬运技术逐渐成为制约行业发展的关键因素。晶圆搬运机械手是IC装备的**之一，其性能的优劣直接影响晶圆的生产效率和制造质量，体现着整个加工系统的自动化程度和可靠性。在晶圆加工系统中包含两类晶圆搬运机械手：大气机械手（FI robot) 和真空机械手(Vacuum robot)。前者将晶圆从晶圆盒中取出并放到预对准设备上，工作环境满足一定的大气洁净度要求，控制精度要求相对较低。后者将晶圆从预对准设备上取下，搬运到各个工位进行刻蚀等工艺流程加工，并将加工完的晶圆搬运到接口位置，等待大气机械手放回晶圆盒。这些工艺流程需要在真空环境下进行，机械手必须要完全满足真空洁净度要求，控制精度和可靠性要求极高。X移动，Y移动，Z移动组成，通过在执行终端加装X转动，Y转动，Z转动可以到达空间内的任何坐标点。韶关进口晶圆运送机械吸臂新报价

科学家已经研制出了橡胶机器手臂，可以抓起蚂蚁而不是捏死。东莞进口晶圆运送机械吸臂维修

可选地，所述托板包括：

主板；

排列成八字形的***支板和第二支板，在所述主板的同一侧与所述主板固定连接；

所述主板靠近所述***支板和第二支板的一端、所述***支板远离所述主板的一端、所述第二支板远离所述主板的一端均设置有所述绒毛垫。

可选地，所述表面为平面。

另外，本实用新型还提供了一种晶圆传输装置，其包括上述任一所述的机械手臂。

在本实用新型的技术方案中，机械手臂传送晶圆时，晶圆放置在托板的表面，并与绒毛垫接触，借助晶圆与绒毛垫的绒毛之间的范德华力，晶圆被稳稳地附着在机械手臂上，不易发生平移，这样不仅可以避免发生机械手臂碰伤，还可以提高晶圆的传送速度以提高生产效率。

通过以下参照附图对本实用新型的示例性实施例的详细描述，本实用新型的其它特征、方面及其优点将会变得清楚。 东莞进口晶圆运送机械吸臂维修

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