螺杆真空泵因其排气通道简单，进入泵内的液体可迅速排出，且轴功率无明显增加。因爪形真空泵为多级串联结构，上级与下级之间均需安装中壁形成内部通道，该内部通道在抽除粉尘等时易堵塞且不易清洗；而螺杆真空泵的级间无需通道，是直接将气体从吸气侧推送至排气侧，在抽除可凝性气体及粉尘等时不易堵塞且泵腔清洗非常方便：启动泵后直接从泵口充入水或合适的清洗剂即可将泵清洗干净。其它部分真空泵的特点：水环式真空泵的优点：结构简单，成本低，应用范围较宽，适合抽除大量水蒸汽，有机溶剂等，对粉尘，颗粒物不敏感，可以实现对易燃易爆的气体的抽除、压缩。真空泵的结构简单、紧凑，对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感。磁力真空泵预订
喷射真空泵工作原理：蒸汽喷射真空泵有一定压强的工作的真空泵设备，蒸汽通过拉瓦尔喷咀，减压增速，蒸汽的势能转变为动能并以超音速喷入混合室，与被抽介质混合，进行能量交换，混合后的气体进入扩压器，减速增压，动通转化为压强能，为了减少后级泵的抽气负荷，配置冷凝器，通过有一定温差的两种介质对流，进行热交换，达到冷凝高温介质目的，排到大气压。在压缩循环过程中，热传递到液环。为了使温度保持在工作液的蒸发点以下，必须进行冷却。通过连续不断地向液环添加冷的工作液来达到冷却的目的。添加的工作液量与经过排放口与压缩气体混合物一起排放的工作液排放量相等。气体混合物和工作液比较终经过泵出口进行分离。泰州电子用真空泵水环真空泵出口排水管路尽可能低，防止工作水不能顺畅排放，影响泵的性能。
还有一种抽真空的设备叫水射机组，它是离心泵通过喷射器直接达到抽真空的目的（补充：水射机组也叫水喷射泵。工作原理为具有一定压力的工作介质水，通过喷嘴向吸入室高速喷出，将水的压力变为动能，形成高速射流；吸入室中的气体被高速射流强制携带与之混合，形成气液混合流，进入扩压器，从而使吸入室压力降低，形成真空，在扩压器的扩张段内，混合射流的动能转变为压力能，速度降低压力升高，气体被进一步压缩，与水一起排出泵外，在水箱中气水分离，气体释放入大气，水由水泵循环再利用，周而复始达到抽真空的目的）。
真空泵的极限压力应该满足该工艺的工作压力。通常选择泵的极限压力低于工艺要求约一个数量级。每种泵都有一定的工作压力范围，因而，泵的工作点应该选在这个范围之内，而不能让它在允许工作压力以外长时间工作。真空泵在其工作压力下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。选择真空机组：(1) 当使用一种泵不能满足抽气及真空要求时，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足工艺要求。(2) 有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压力低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。经组合使用的真空泵，我们称之为真空泵机组，它能使真空系统得到较好的真空度及排气量。我们应正确地选择组合的真空泵，由于不同的真空泵对抽除的气体要求有不同的要求，例如：在一般情况下罗茨－旋片机组不适用于含有较多可凝性气体的系统。每次停机时要注意观察螺杆真空泵是否快速返向转动超过2秒钟，如果是，请检查单向阀是否出现故障。
分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都彩 复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速单为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸汽被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着我国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是我国真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，并研究开发各种复合分子泵、牵引泵和低温分子泵，以满足不同场合的需要。蒸汽喷射真空泵有一定压强的工作的真空泵设备。进口油润滑真空泵现价
真空泵的种类目前已发展了很多种。磁力真空泵预订
锆铝吸气泵采用锆铝合金材料在高温下吸附活性气体；锆铝吸气泵，优点：结构简单、体积小、造价低，操作安全可靠，维修方便，清洁无油，对活性气体，尤其是对氢具有很高的抽气能力。缺点：不能抽惰性气体,锆铝吸气泵对氢、氘、氚吸气是可逆的，其他活性气体则是以稳定的化合物形式扩散到吸气剂内。锆铝吸气泵的饱和与重启，锆铝吸气剂长期在高温下工作，会出现“饱和”，吸气率下降；甚至吸气剂表面形成氧化膜，失去吸气性能,当吸气速率降低到80%时，就需要进行再重启处理：在<1Pa的压强下，加热至750~850 ℃ ，使吸气剂表面的固体氧化膜分解，使金属和气体的产物向更深的体内扩散，生出高度活泼的金属表面，同时除去过量的氢一般的吸气带可以反复重启多次(~20次)，直到全部的吸气剂饱和为止—更换锆铝合金吸气带。磁力真空泵预订
