拆卸真空泵：在拆卸前应将泵腔内的水放出，要将气水分离器和吸气管部件拆下，在拆卸过程中应将所有的垫片谨慎的取下，如有损坏应更换同样的垫片。泵应从后端（无联轴器或无皮带轮一端）开始拆卸，其顺序如下：拆后轴承压盖，用勾板手将两圆螺母松开，取下轴承座及轴承；松开填料压盖螺母，取下填料压盖；拆下连接结泵盖与泵体的六角螺栓和泵盖底脚处螺栓后，取下后端盖；取下泵体；松开另一端底脚螺栓；卸下联轴器，并取下轴上的键；卸下前轴承部件；卸下前端盖后将轴和叶轮一起取出。拆卸完毕后，应将零件上有关配合面涂上机油，螺纹处也应涂上机油保护好。真空泵的前级压强:真空泵的前级压强 单位是Pa，它是指排气压强 低于一个大气压的真空泵的出口压强。旋转式真空泵生产
真空泵油的抗泡性：真空泵在运转过程中，由于有空气存在，常会产生泡沫，特别是当油品中含有具有外表活性的添加剂时，则更容易产生泡沫，而且泡沫还不易消逝。光滑油运用中产生泡沫会使油膜毁坏，不只使摩擦面发作烧结或增加磨损，并促进光滑油氧化蜕变。运转中的真空系统内气领会经过密封的真空泵油层不时排出，排出的气领会在油层外表产生大量的气泡，并从泵的排气孔中溢出，形成油品损失和设备污染。加防抗泡剂的泵油，在抗泡效果上有明显进步。螺杆真空泵它应用一对螺杆，在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备，两螺杆经精密动均衡校正，由轴承支撑，装置在泵壳中，螺杆与螺杆之间都有一定的间隙，因而泵工作时，互相之间无磨擦，运转平稳，噪音低，工作腔无需光滑油，因而，干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场所，极限真空更高，耗费功率更低，具有节能，免维修等优点。它是油封式真空泵的更新换代产品。沈阳微型高温真空泵真空泵腔内无压缩，无排气阀。结构简单、紧凑，对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感；
泵的传动方式。真空泵的两个转子是通过一对高精度齿轮来实现其相对同步运转的。主动轴通过联轴器与电机联接。在传动结构布置上主要有以下两种：其一是电动机与齿轮放在转子的同一侧如图。从动转子由电动机端齿轮直接传过去带动，这样主动转子轴的扭转变形小，则两个转子之间的间隙不会因主动轴的扭转变形大而改变，故使转子之间的间隙在运转过程中均匀。这种传动方式的比较大缺点是：a.主动轴上有三个轴承，增加了泵的加工和装配难度，齿轮的拆装及调整也不便；b.整体结构不匀称，泵的重心偏向电动机和齿轮箱一侧。
分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速*为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，首先，分子泵要从小到大建立完整系列，以满足不同场合的需要。常用真空泵包括干式螺杆真空泵、水环泵、往复泵、滑阀泵、旋片泵、罗茨泵和扩散泵等。
扩散泵：以低压高速蒸汽流（油或汞等蒸汽）作为工作介质的喷射真空泵。气体分子扩散到蒸汽射流中，被送到出口。在射流中气体分子密度始终是很低的，这种泵适于在分子流状态下工作。可分为：① 自净化扩散泵：泵液中易挥发的杂质经专门的机械输送到出口而不回到锅炉中的一种油扩散泵② 分馏式扩散泵：这种泵具有分馏装置，使蒸汽压强较低的工作液蒸汽进入高真空工作的喷嘴，而蒸汽压强较高的工作液蒸汽进入低真空工作的喷嘴，它是一种多级油扩散泵。如果前级泵为水环泵，为了防止水环泵的循环水反流进入罗茨真空泵的油箱，泵额水环泵之间必须安装止回阀。油扩散真空泵生产商
真空泵是一种旋转式变容，真空泵须有前级泵配合方可使用在较宽的压力范围内有较大的抽速。旋转式真空泵生产
在泵体中装有适量的水作为工作液。当叶轮按图中顺时针方向旋转时，水被叶轮抛向四周，由于离心力的作用，水形成了一个决定于泵腔形状的近似于等厚度的封闭圆环。水环的下部分内表面恰好与叶轮轮毂相切，水环的上部内表面刚好与叶片顶端接触（实际上叶片在水环内有一定的插入深度）。此时叶轮轮毂与水环之间形成一个月牙形空间，而这一空间又被叶轮分成和叶片数目相等的若干个小腔。如果以叶轮的下部0°为起点，那么叶轮在旋转前180°时小腔的容积由小变大，且与端面上的吸气口相通，此时气体被吸入，当吸气终了时小腔则与吸气口隔绝；当叶轮继续旋转时，小腔由大变小，使气体被压缩；当小腔与排气口相通时，气体便被排出泵外。综上所述，水环真空泵是靠泵腔容积的变化来实现吸气、压缩和排气的，因此它属于变容式真空泵。旋转式真空泵生产
