在复合分子泵的设计中,必须处理好涡轮级与牵引级之间的应配和衔接关系。喷射真空泵:分水喷射泵、气体喷射泵和蒸汽喷射泵三大类喷射真空泵是利用液体或者气体的高速射流携带被抽气体,使被抽容器内获得一定真空度的一种低真空泵。水喷射泵是用水作为工作介质,通过高速射流来引射被抽气体,使容器达到一定真空度的粗真空获得设备。单级泵的极限压强为3.3kPa,两级串联可获得好一些的真空度,主要受水饱和蒸汽压的限制。可单独使用,也可作为其他真空泵的前级。真空泵基本上可以分为两种类型,即气体捕集泵和气体传输泵。滑阀真空泵大概多少钱
螺杆真空泵是利用一对螺杆,在泵壳中作同步高速反向旋转而产生的吸气和排气作用的抽气设备,它是油封式真空泵的更新换代产品,能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合,在国内各大制药和化工企业得到普遍应用。优点:寿命长、能耗低、无油污染。两螺杆经精细动平衡校正,由轴承支撑,安装在泵壳中,螺杆与螺杆之间都有一定的间隙,因此泵工作时,相互之间无磨擦,运转平稳,噪音低,工作腔无需润滑油,因此,干式螺杆泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉尘的气体场合,极限真空更高,消耗功率更低,具有节能,免维修等优点。它是油封式真空泵的更新换代产品。潮州抽真空真空泵工艺要求达到的真空泵的工作压力应该满足工艺工作压力要求。
由于罗茨泵是一种无内压缩的真空泵,通常压缩比很低,故高、中真空泵需要前级泵。罗茨泵的极限真空除取决于泵本身结构和制造精度外,还取决于前级泵的极限真空。为了提高泵的极限真空度,可将罗茨泵串联使用。罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。由于转子的不断旋转,被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0内,再经排气口排出。由于吸气后v0空间是全封闭状态,所以,在泵腔内气体没有压缩和膨胀。 但当转子顶部转过排气口边缘,v0空间与排气侧相通时,由于排气侧气体压强较高,则有一部分气体返冲到空间v0中去,使气体压强突然增高。当转子继续转动时,气体排出泵外。
螺杆泵是利用齿轮传动同步反向旋转的相互啮合而不接触的左螺杆与右螺杆作高速转动,利用泵壳和相互啮合的螺旋将螺旋槽分隔成多个空间、形成多个级,气体在相等的各个槽内(柱形等螺距)进行传输运动,但无压缩,只有螺杆比较末端的螺旋结构对气体有压缩作用。螺杆的各级间可形成压力梯度,以分散压差和提高压缩比。各部间隙和泵转速对泵的性能有很大影响。在设计螺杆各部的间隙时,要考虑膨胀、加工及装配精度和工作环境(如抽除含粉尘气体等)等。水环泵使用真空要避开气蚀条件,否则会影响泵的寿命。
分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都彩 复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速单为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸汽被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用,既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着我国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展,分子泵应该是我国真空泵制造业发展的重点。首先,分子泵要从小到大建立完整系列,并研究开发各种复合分子泵、牵引泵和低温分子泵,以满足不同场合的需要。小型真空泵的体积小。潮州小型水环式真空泵销售
罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。滑阀真空泵大概多少钱
虽然液环泵属于粗真空泵,但在我国的石油、化工、电力、轻纺、造纸、医药等领域仍然有着很大的市场。在国外,液环泵的销售额占全部真空泵市场的14%,单次于干泵,所以Nash、Seimems和Kinney等公司都在我国投资建厂或建立销售网络,不断扩大在我国的市场份额。由于液环泵大部分是铸件,加工要求也不高,属劳动密集型产品,所以国产液环泵在价格上有竞争优势,关键是要改进设计,缩小体积,减轻重量,提高效率,降低能耗。低温泵,低温泵是利用低温表面将被抽空间的气体冷凝、捕集、吸附或冷凝+吸附,使被抽空间的压强很好地降低,获得并维持真空状态的抽气装置,是一种储存式捕集抽气,气体并没有排出泵外,一旦冷凝表面温度发生变化,它抽走的气体又会重新释放,破坏真空。应用: (1) 外太空模拟;(2) 高能物理、等离子体研究;(3) 薄膜制备领域;(4) 微电子学,尤其是半导体微电子技术中——离子注入,离子刻蚀;(5) 现表示面分析仪器中。滑阀真空泵大概多少钱