真空泵基本参数
  • 产地
  • 上海
  • 品牌
  • 上海久信
  • 型号
  • 齐全
  • 是否定制
真空泵企业商机

国外干泵市场的不断增长,其主要驱动来自于半导体行业、化学工业、薄膜产业的迅速发展。在日本,半导体行业已全部用干式真空泵代替油封式机械泵,欧美半导体行业45%以上用干式真空泵代替了油封式机械泵,很好地提高了产品的性能和质量。为了满足不同应用领域和不同工况的要求,国外有多级罗茨真空泵、多级爪式真空泵、螺杆式真空泵、涡旋式真空泵、往复式活塞真空泵以及涡轮式无油真空泵等。极限压力从10Pa~10-2Pa,抽速从20m3/h~500m3/h。据统计,目前国产干泵的应用还不足1%,国内半导体工业用的干泵全部从国外进口,其价格十分昂贵。所以,我国应大力研究开发干泵,使干泵成为我国真空工业新的经济增长点。螺杆真空泵单需严格控制定位端的一个端面间隙,及转子间的先对间隙即可。动态真空泵怎么卖

半导体及电子行业接触的真空一般指的是气压比一标准大气压小的气体空间,是指稀薄的气体状态,又可分为极高真空、高真空、中真空和低真空。真空一般是用特制的抽气机获得,它的气体稀薄程度用真空计测定,现在已能用分子抽气机和扩散抽气机得到1*10-14pa大气压的极高真空。真空技术在芯片制造,太阳能电池片制造,光学膜制造、电真空仪器,电子管和其他电子仪器方面均有普遍应用。普通真空泵,压强可达到1.333~100kPa(10~760mmHg)为“粗”真空; 油泵,压强可达0.133~133.3Pa(0.001~1mmHg)为“次高”真空 ;扩散泵,压强可达0.133Pa以下,(10-3mmHg)为“高”真空。环水真空泵多少钱真空泵的保养要如何进行?

由于罗茨泵是一种无内压缩的真空泵,通常压缩比很低,故高、中真空泵需要前级泵。罗茨泵的极限真空除取决于泵本身结构和制造精度外,还取决于前级泵的极限真空。为了提高泵的极限真空度,可将罗茨泵串联使用。罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似。由于转子的不断旋转,被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0内,再经排气口排出。由于吸气后v0空间是全封闭状态,所以,在泵腔内气体没有压缩和膨胀。 但当转子顶部转过排气口边缘,v0空间与排气侧相通时,由于排气侧气体压强较高,则有一部分气体返冲到空间v0中去,使气体压强突然增高。当转子继续转动时,气体排出泵外。

低温吸附泵:利用低温表面上的吸附剂和打在其上的气体分子发生吸附以达到抽气作用的泵。按吸附剂不同,分为三类:1.非金属吸气剂:活性炭、分子筛等位吸附剂,2.金属吸附剂:以蒸发或升华在冷表面上的钛、锆、钼等金属或合金作为吸气剂,3.气体霜的捕集吸气:以CO2、水蒸气等易冷凝的气体在低温表面上成霜作为吸附剂,这些气体成霜的同时,将不易冷凝的气体一起埋葬或吸附抽除,低温泵抽混合气体比单一气体效果好,实际使用的是将冷凝和吸附结合,构成冷凝吸附泵而获得极高真空。真空泵在较宽的压力范围内有较大的抽速。

真空泵是比较主要的真空装备、从产生真空原理上分为:容积式真空泵(如液环泵,螺杆泵,罗茨泵等);动量传递式真空泵(如分子泵:喷射真空泵:扩散泵均属于此类);气体捕集式真空泵(如钛升华、锆铝合金吸气泵、低温泵溅射离子泵、热蒸发钛升华泵等)利用高速旋转的叶片或高速射流,把动量传输给被抽气体或气体分子,使气体不断地从入口传输到出口的真空泵。分子真空泵(分子泵)是1913年德国人盖德(W. Gaede)发明的,之后他又以气体的外摩擦作用为分子泵奠定了理论基础。—利用了气体的外摩擦输运现象,也就是分子牵引力,所以称为牵引分子泵。真空泵换油时应将泵体内使用过的油品排尽。武汉进口小型真空泵多少钱

真空泵要经常检查油位位置,不符合规定时须调整使之符合要求。动态真空泵怎么卖

分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵,尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都彩 复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速单为同口径低温泵抽速的四分之一,所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速,国外在分子泵的入口侧装一个-130℃~-150℃的低温冷板,称之为低温分子泵,水蒸汽被低温板捕获,其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用,既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着我国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展,分子泵应该是我国真空泵制造业发展的重点。首先,分子泵要从小到大建立完整系列,并研究开发各种复合分子泵、牵引泵和低温分子泵,以满足不同场合的需要。动态真空泵怎么卖

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