企业商机
激光干涉仪基本参数
  • 品牌
  • 千宇光学
  • 型号
  • 可定制
  • 类型
  • 光学仪器
  • 规格
  • 可定制
激光干涉仪企业商机

激光具有**度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。常用来测量长度的干涉仪。以激光波长为已知长度、利用迈克耳逊干涉系统(见激光测长技术)测量位移的通用长度测量工具。

激光干涉仪有单频的和双频的两种。单频的是在20世纪60年代中期出现的,**初用于检定基准线纹尺,后又用于在计量室中精密测长。双频激光干涉仪是1970年出现的,它适宜在车间中使用。激光干涉仪在极接近标准状态(温度为20℃、大气压力为101325帕、相对湿度59%、CO2含量0.03%)下的测量精确度很高,可达1×10-7。激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作,并可作为精密工具机或测量仪器的校正工作。 激光干涉仪测试项目:角锥角度测量。窗口玻璃激光干涉仪参考价

激光器输出的纵模间隔为:ΔVL=C/(2nL0),式中C为光速,n为激光器腔内折射率,L0为激光器的腔长。选择激光器腔长,使其在多普勒带宽之内主要有二个纵模输出,可得到高频差的双频激光,例如选择腔长220mm,可得到频差为680MHz的双频激光。双纵模激光干涉仪采用等强度的稳频方法,由于频差大,原理上可以达到极高的测量速度,但是高频差也使光电接受、信号处理更为困难。激光干涉仪是以波长作为测量基准的,大频差造成的两束光的波长差别是不能忽略的,可以计算,在频差为680MHz时,可以引起的误差。因此必须确认产生多普勒频移的激光波长作为测量的基准。也由于此,双纵模激光干涉仪也难以应用在角度测量,直线度测量这样的利用差动原理的测量项目。大连组合式激光干涉仪代理品牌非球面类(凸面、凹面)光滑表面面形测量。

干涉仪可以分成波前分解和幅度分解两类, 其差异在于是否利用波前上不同位置的子波源形成干涉。干涉仪的应用极为***,主要有如下几方面:长度测量在双光束干涉仪中,若介质折射率均匀且保持恒定,则干涉条纹的移动是由两相干光几何路程之差发生变化所造成,根据条纹的移动数可进行长度的精确比较或***测量。迈克耳孙干涉仪和法布里-珀**涉仪曾被用来以镉红谱线的波长表示国际米。折射率测定两光束的几何路程保持不变,介质折射率变化也可导致光程差的改变,从而引起条纹移动。

激光干涉仪在氦氖激光器上,加上一个约0.03特斯拉的轴向磁场。由于塞曼分裂效应和频率牵引效应, 激光器产生1和2两个不同频率的左旋和右旋圆偏振光。经1/4波片后成为两个互相垂直的线偏振光,再经分光镜分为两路。一路经偏振片1后成为含有频率为f1-f2的参考光束。另一路经偏振分光镜后又分为两路:一路成为*含有f1的光束,另一路成为*含有f2的光束。当可动反射镜移动时,含有f2的光束经可动反射镜反射后成为含有f2 ±Δf的光束,Δf是可动反射镜移动时因多普勒效应产生的附加频率,正负号表示移动方向(多普勒效应是奥地利人C.J.多普勒提出的,即波的频率在波源或接受器运动时会产生变化)。这路光束和由固定反射镜反射回来*含有f1的光的光束经偏振片2后会合成为f1-(f2±Δf)的测量光束。测量光束和上述参考光束经各自的光电转换元件、放大器、整形器后进入减法器相减,输出成为*含有±Δf的电脉冲信号。经可逆计数器计数后,由电子计算机进行当量换算(乘 1/2激光波长)后即可得出可动反射镜的位移量。样品准直:使用两个光点。

激光干涉仪的应用一般说来,激光干涉仪的主要用途是测量目标的运动状态,即目标的线性位移大小、旋转角度(滚转、俯仰和偏摆)、直线度、垂直度、两个目标在运动的平行性(度)、平面度等。无论光刻机的机台,还是数控机床的导轨(包括激光加工机床),不论是飞行物,还是静止物的热膨胀、变形,一旦需要高精度,都要用激光干涉仪测量,得到目标的运动状态。运动状态由多个参数给出。以光刻机两维运动中的一个方向运动时为例,位移(走过的长度)、机台位移过程中的偏转(角)、俯仰(角)和滚转(角)都需要测出。很多类型的设备需要测量,如各类机床、三坐标测量机、机器人、3D打印设备、自动化设备、线性位移平台、精密机械设备、精密检测仪器等领域的线性测量。激光干涉仪测试原理:斐索干涉原理。沧州曲率半径测量激光干涉仪报价表

光学镜片检测、工业计量检测、光学加工等工业领域对球面面形的检测应用需求。窗口玻璃激光干涉仪参考价

测量位移的干涉仪和测量表面的干涉仪有几个概念的定义比较混乱(特别是有些研究发展趋势的报告),需要注意。一是“激光测距”和“激光测位移”没有界定,资料往往鹿马不分。二是不少资料所说“激光干涉仪”实际上包含两种不同的仪器,一种是测量面型(元件表面)的激光干涉仪,一种是测量位移(长度)的激光干涉仪。如海关的统计和一些年度报告往往混在一起。激光测距机发出的激光束是一个持续时间纳秒的光脉冲,利用光脉冲达到目标和返回的时间之半乘以光速得到距离,完全和光的干涉无关。尽管激光波面干涉仪和测量位移(长度)的干涉仪都是利用光干涉现象,但仪器的设计、光路结构、探测方式、应用场合几乎没有共同之处。窗口玻璃激光干涉仪参考价

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