无锡光学平面激光干涉仪概念

现场高效球面检测干涉仪（数字化相移分析系列）是一种高性能模块化组合检测干涉仪。它采用国内外**的组合式激光干涉模块作为**部件，主要用于检测高精度快速球面和曲率半径球面面形。通过模块化的设计理念，针对不同的光源、镜头口径、成像方式，不仅在测量过程中拆卸方便，也可适用于多种被测面的测量，**降低检测成本。通过慧利仪器**软件，可对被测对象实时采样和分析，并形成2D和3D图形。应用领域：光学镜片检测、光学组件检测，相机镜头检测，安防镜头和车载镜头检测，航空航天成像系统检测，超精密机械件检测，科研和高等教学仪器等众多领域。不同F数的球面类（凸面、凹面）光滑表面面形测量；不同F数的柱面类（凸面、凹面）光滑表面面形测量；非球面类（凸面、凹面）光滑表面面形测量；光学组件和系统透射波前精度测量。材料包括各类玻璃、塑料、陶瓷等，内容包括表面光圈、局部形变的测量、球面曲率半径的测量等。覆盖多口径，具备模块化，高精度，高效率，100%无损，抗干扰性能强等特点。无锡光学平面激光干涉仪概念

激光干涉仪激光束路径与被测轴之间存在的任何未准直都会造成测得的距离和实际的运动距离之间有差异，此误差被称为余弦误差。

死程误差是在线性测量过程中与环境因素改变有关的误差，在正常状况下，死程误差并不大，而且只会发生在定标后以及测量过程中的环境改变。环境补偿单元能准确采集空气温度、压力、相对湿度信息，基于Edlen公式计算空气折射率，以此对激光波长进行补偿。同时环境补偿单元中材料温度探头能实时高精度测量被测设备温度，对其进行温度补偿。但是往往因为操作人员将材料温度探头放置在错误的位置，致使采集的数据不能真实反映被测物体温度状态，从而增大测量误差。 安徽角锥测量激光干涉仪性价比通用组合水平式检测干涉仪（数字化相移分析系列）是一款高性能模块化组合激光检测干涉仪。

激光干涉仪测量利用的是迈克尔逊干涉原理：(1)从SJ6000激光干涉仪主机出射的激光束（圆偏振光）通过分光镜后，将分成两束激光（线偏振光）；(2)两束激光分别经由角锥反射镜A和角锥反射镜B反射后平行于出射光（红色线条）返回，通过分光镜后进行叠加，由于两束激光频率相同、振动方向相同且相位差恒定，即满足干涉条件；(3)角锥反射镜B每移动半个激光波长的距离，将会产生一次完整的明暗干涉现象。测量距离等于干涉条纹数乘以激光半波长。

干涉仪是以激光波长为已知长度、利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量工具。 有单频的和双频的两种。单频的是在20世纪60年代中期出现的，**初用于检定基准线纹尺，后又用于在计量室中精密测长。双频激光干涉仪是1970年出现的，它适宜在车间中使用。激光干涉仪在极接近标准状态(温度为20℃、大气压力为101325帕、相对湿度59%、CO2 含量0.03%)下的测量精确度很高，可达1×10。从激光器发出的光束，经扩束准直后由分光镜分为两路，并分别从固定反射镜和可动反射镜反射回来会合在分光镜上而产生干涉条纹。当可动反射镜移动时，干涉条纹的光强变化由接受器中的光电转换元件和电子线路等转换为电，经整形、放大后输入可逆计数器计算出总脉冲数，再由电子计算机按计算式无应力平面检测干涉仪包括光源、主机、成像以及镜头和相移等四大模块。

激光干涉仪是一种以波长作为标准对被测长度进行测量的仪器。 激光干涉仪是20世纪60年代末期问世的一种新型的测量设备，由美国HP公司研制成功并于1970年投入市场，随即受到了相关行业特别是机床制造业的重视，其主要在：线形、角度、垂直度、直线度、平面度等方面上应用。 随着激光干涉仪测量技术的不断提高，测量软件的不断开发其测量范围越来越***，特别是在测量数控机床位置精度方面用途**为***。 激光干涉仪发射单一频率光束射入线性干涉镜，然后分成两道光束，一道光束（参考光束）射向连接分光镜的反射镜，而第二道透射光束（测量光束）则通过分光镜射入第二个反射镜，这两道光束再反射回到分光镜，重新汇聚之后返回激光器，其中会有一个探测器监控两道光束之间的干涉。一次测量后可同时显示多区域测量结果、光学平行度和材料均匀性的测量， 90°直角棱镜和角锥测量。北京激光干涉仪报价表

应用领域：大平板显示（平面检测）。无锡光学平面激光干涉仪概念

激光干涉仪原理——应用何处Ⅰ：位置精度的检测及其自动补偿可检测数控机床定位精度、重复定位精度、微量位移精度等。双轴定位精度的检测及其自动补偿雷尼绍双激光干涉仪系统可同步测量大型龙门移动式数控机床，由双伺服驱动某一轴向运动的定位精度，而且还能通过RS232接口，自动对两轴线性误差分别进行补偿。

数控机床动态性能检测 利用RENISHAW动态特性测量与评估软件，可用激光干涉仪进行机床振动测试与分析(FFT)，滚珠丝杠的动态特性分析，伺服驱动系统的响应特性分析，导轨的动态特性(低速爬行)分析等。

几何精度检测可用于检测直线度、垂直度、俯仰与偏摆、平面度、平行度等。总结：激光干涉仪有单频激光干涉仪和双频激光干涉仪两种，其中单频激光干涉仪是通过发射激光束，有固定的波长，折返的激光束将光信号转化为脉冲信号，计算折返的脉冲总数，通过计算得知位移距离，等长度的测量。 无锡光学平面激光干涉仪概念