上海微波探针台

N系列探针台是一款适用于4-12英寸晶圆的精密探针台。该系列探针台采用高刚性显微镜龙门设计，结构稳定。显微镜平移台可进行X-Y-Z方向精密位移调节，显微镜放大倍率高，操作方便。同时支持多种功能的升级，非常适合晶圆级的测试应用。该产品主要应用于集成电路/芯片/MEMS器件/管芯晶圆/LED/LCD/太阳能电池等行业的测试及研究领域。在科研单位和半导体工厂都得到了运用。产品优势：显微镜具备高刚性龙门支架且搭配气动升降，保证高质量光学成像质量。卡盘同时具备快速和微调升降，便于样品和探针快速分离，也可以加载探针卡。可升级性强，比较高可升级220G高频，可集成光电流扫描成像或拉曼-瞬态荧光寿命成像系统等。探针台采用高刚性显微镜龙门设计。上海微波探针台

光电流测试探针台系统是在金相显微镜基础上导入另一路光源，用于辐照样品以测试样品在特定波长及能量下的电气特性等测试目的。l本显微镜设计为双光路或3光路，其中一路为导入光通路，另一到两路为成像光路导入光为平行的激光或其它线性光源，波长范围200nm~20000nm，中间可加入多个波片过滤，起偏及偏振角度无级360度调节。光斑辐照直径有650nm红光指示。l所有模块均可拉出设计，对导入光性质无影响。导入光光路可选择一个光时间开关，精确控制导入光的辐照时间，精度1ms，范围2ms~∞，在控制界面上可对各种参数进行详细设置。成像光路为同轴照明金相成像，其中一路为1倍成像，可选择第2路成像，为物镜的0.25~10倍率，通常在高低温测试系统里会用到，同一个物镜不切换，得到两个不同视野的成像。上海微波探针台探针台chuck具备升降功能，便于样品和探针的快速分离。

经过检测，探针台将参数特性不符合要求的芯片记录下来，在进入后序工序前予以除掉，降低器材的制作本钱。半导体的测验环节，首要包含芯片规划中的规划验证、晶圆制作中的晶圆测脸(CP测验)和封装完结后的成品测验(FT测验》。半导体测验设备首要包含测机、探针台和分选机。在一切的测验环节中都会用到测验机，不同环节中测验机需要和分选机或探针台配合使用探针台是检测芯片的重要设备，在芯片的规划验证阶段，首要作业是检测芯片规划的功能是否可以达到芯片的技术指标，在检测过程中会对芯片样品逐个查看，只要通过规划验证的产品型号才会量产。晶圆测验一般在晶圆厂、封测厂或专门的测脸代工厂进行，首要用到的设备为测验机和探针台。

高精度探针台例如OTS，QPU和TTG相关技术，这种全新的高精度系统为下一代小型化的设计及多种测试条件提供保证。特性1：OTS对正系统（光学目标对准）OTS通过对照相机相对位置的测量来保证其位置的精度。这是非常引人注目的技术，来源于TSK的度量技术。OTS实现了以自己为参照的光学对准系统。特性2：QPU-高刚性的硅片承载台（四方型系统）为了有效的达到接触位置的精度，硅片承载台各部分的刚性一致是非常重要的，UF3000使用新的4轴机械转换装置（QPU），达到高刚性，高稳定度的接触。特性3：装载部件令客户满意的测试环境，可以提供从前部开始的通常的8"，12"及基本检查单元。也为自动物料输送系统应用做好了准备。特性4：TTG（一点即到）更加方便的操作，UF3000采用在显示屏上点一下，相关的屏幕就会切换到新的位置显示。相关的设定十分方便。屏幕的显示模式也可以由客户自行定义。探针台由哪些部分组成？

探针测试台x-y工作台滚珠丝杠副和导轨结构x-y工作台的维护与保养相对于平面电机工作台，丝杠导轨结构的工作台结构组成较复杂，工作台由上层（x向）及下层（y向）两部分组成。工作台由两个步进电机分别驱动x、y向精密滚珠丝杠副带动工作台运动，导向部分采用精密直线滚动导轨。由于运动部分全部采用滚动功能部件，所以具有传动效率高、摩擦力矩小，使用寿命长等特点。这种结构的工作台应放置在温度23±3 ℃，湿度≤70%，无有害气体的环境中，滚珠丝杠、直线导轨应定期加精密仪表油，但不可过多，值得指出的是，这种结构的工作台在装配过程中，从直线导轨的直线性，上下层工作台之间的垂直度以及工作台的重复性，定位精度等都是用专业的仪器仪表调整，用户一般情况不能轻易改变，一旦盲目调整后很难恢复到原来的状态，所以对需要调整的工作台应有专业生产厂家或经过培训的专业人员完成。探针台主要用于晶圆制造环节的晶圆检测、芯片研发和故障分析等应用。毫米波探针台升级

探针台是一种辅助执行机构，测试人员把需要量测的器件放到探针台载物台（chuck）上。上海微波探针台

手动探针台的维护和保养1.避免碰撞：在安装，操作CS探针台时应避免碰撞，机体放置需平坦，不可倾斜或横倒，避免机器发生故障或异常异音。2.仪器的运输：仪器运输时，请先拔掉电源线插头。仪器运输应使用专门的包装箱，避免碰到探针台的任何运动部件。3.仪器的存放使用完后需要注意保持清洁，尽量把灰尘吹干尽，以免灰尘将机械精密部件，光学部件，电学接触面污染，导致仪器精度降低。探针台机体清洁时，避免直接泼水清理，以无尘布轻轻擦拭并吹干即可。不可用硬物接触机器，以免发生故障或危险。探针台光学部件清洁时，可用镜头纸蘸无水酒精从中间向外轻轻的擦拭。无水酒精时易燃物，注意使用安全。停电或长期不用、外出旅行时，请将电源线插头拔掉以维护机器寿命。操作人员必须严格按要求操作，以保证数据的准确和仪器的正常使用。4.工作环境探针台应放在稳定可靠的台面上，比较好是具有防震装置的工作台上，避免在高温，潮湿激烈震动，阳光直接照射和灰尘较多的环境下使用。使用比较好温度范围为5℃～40℃，比较好湿度是40%到85%，空气中之湿度若低于30%以下，可靠湿度控制器予以控制，使维持50%～60%之范围。使用时门窗尽可能关闭上海微波探针台

上海波铭科学仪器有限公司是以提供拉曼光谱仪，电动位移台，激光器，光电探测器为主的有限责任公司（自然），波铭科仪是我国仪器仪表技术的研究和标准制定的重要参与者和贡献者。公司承担并建设完成仪器仪表多项重点项目，取得了明显的社会和经济效益。将凭借高精尖的系列产品与解决方案，加速推进全国仪器仪表产品竞争力的发展。