射频探针台排行榜

低温探针台中低电流测量的注意事项：低电流测量（低于 1 nA）是评估成熟和新兴半导体器件的设计和制造质量的关键工具。在这种情况下，器件材料、生长参数或器件几何形状的修改会导致器件中出现不希望的和无关的电流路径。这些所谓的漏电流可能是由材料缺陷、栅极氧化物形态、衬底选择和电场分布造成的，并导致器件性能下降——常见的是功耗过大。由于许多这些泄漏路径背后的物理机制具有众所周知的温度依赖性，因此低温探测测量可以成为识别电流泄漏的精确机制的有用评估工具，特别是对于新材料和器件架构。探针台的维护和保养。射频探针台排行榜

高温探针台作为一种高科技产品，价格昂贵，生产成本高，这需要我们在使用时格外注意，以免造成经济损失。那么，我们在使用时应该如何维护和保养高温探针台呢？1、避免碰撞在安装，操作CS探针台时应避免碰撞，机体放置需平坦，不可倾斜或横倒，避免机器发生故障或异常异音。2、仪器的运输仪器运输时，请先拔掉电源线插头。高温探针台运输应使用专门的包装箱，避免碰到探针台的任何运动部件。3、仪器的存放使用完后需要注意保持清洁，尽量把灰尘吹干尽，以免灰尘将机械部件，光学部件，电学接触面污染，导致仪器精度降低。4、清洁探针台机体清洁时，避免直接泼水清理，以无尘布轻轻擦拭并吹干即可。不可用硬物接触机器，以免发生故障或危险。高温探针台光学部件清洁时，可用镜头纸蘸无水酒精从中间向外轻轻的擦拭。无水酒精时易燃物，注意使用安全。5、停止运行停电或长期不用、外出旅行时，请将电源线插头拔掉以维护机器寿命。操作人员一定要严格按要求进行使用，以保证数据的准确和仪器的正常使用。6、工作环境探针台应放在稳定可靠的台面上，比较好的是具有防震装置的工作台上，避免在高温，潮湿激烈震动，阳光直接照射和灰尘较多的环境下使用。使用电源：220±10%，50~60Hz射频探针台商家探针台的探针的清洗。

探针测试台x-y工作台滚珠丝杠副和导轨结构x-y工作台的维护与保养相对于平面电机工作台，丝杠导轨结构的工作台结构组成较复杂，工作台由上层（x向）及下层（y向）两部分组成。工作台由两个步进电机分别驱动x、y向精密滚珠丝杠副带动工作台运动，导向部分采用精密直线滚动导轨。由于运动部分全部采用滚动功能部件，所以具有传动效率高、摩擦力矩小，使用寿命长等特点。这种结构的工作台应放置在温度23±3 ℃，湿度≤70%，无有害气体的环境中，滚珠丝杠、直线导轨应定期加精密仪表油，但不可过多，值得指出的是，这种结构的工作台在装配过程中，从直线导轨的直线性，上下层工作台之间的垂直度以及工作台的重复性，定位精度等都是用专业的仪器仪表调整，用户一般情况不能轻易改变，一旦盲目调整后很难恢复到原来的状态，所以对需要调整的工作台应有专业生产厂家或经过培训的专业人员完成。

手动探针台是广泛应用于半导体行业的综合经济型测试仪器，主要用于半导体芯片的电参数检测。手动探针台是通过两根探针以及吸片盘够成的回路以及相应大型电参数测试仪对芯片中的集成电路进行检测的。应用范围：手动探针台主要用于对生产及科研中的集成电路、三极管、二极管、可控硅及敏感元件管芯的电压、电流、电阻等参数进行手动测试。极低温测试:因为晶圆在低温大气环境测试时，空气中的水汽会凝结在晶圆上，会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。高温无氧化测试：当晶圆加热至300℃,400℃,500℃甚至更高温度时，氧化现象会越来越明显，并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差，物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。晶圆测试过程中温度在低温和高温中变换，因为热胀冷缩现象，定位好的探针与器件电极间会有相对位移，这时需要针座的重新定位，针座位于腔体外部。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整探针的位置。OTS，QPU和TTG相关技术，这种全新的高精度系统为下一代小型化的设计及多种测试条件提供保证。

探针台是一种辅助执行机构，测试人员把需要量测的器件放到探针台载物台（chuck）上，在显微镜配合下，X-Y移动器件，找到需要探测的位置。接下来测试人员通过旋转探针座上的X-Y-Z的三向旋钮，控制前部探针（射频或直流探针），精细扎到被测点，从而使其讯号线与外部测试机导通，通过测试机测试人员可以得到所需要的电性能参数。探针台工作环境，探针台应放在坚固稳定的台面上，如地基有震动的情况，需要配置主动防震装置，避免在高温、潮湿、激烈震动、阳光直接照射和灰尘较多的环境下使用。使用比较好温度范围为5℃～40℃，比较好湿度是40%到85%，空气中之湿度若低于30%以下，可靠湿度控制器予以控制，使维持50%～60%之范围。使用时门窗尽可能关闭，使室内达到除湿效果    。使用电源：220V，50Hz芯片的电参数测试用手动探针台。高低温探针台维保

选购手动探针台的注意事项。射频探针台排行榜

探针台的探针的清洗，1、毛刷清洁法：适用范围为5微米以上探针，微波探针。不适用于针尖直径在5微米以下的软针。清洗方法是拿一张A4白纸，撕成细长条的形状，撕成细长的三角形形状(大概5cm高左右)。将待清洁探针装好到探针夹具上并置于显微镜**视显微镜即可，放大倍数太高无法操作)，利用撕下的纸片作为毛刷，轻轻地将探针沾污物刷下。2、压针清洁法：适用范围是所有探针，灰尘比较靠近探针的情况。清洗方法是拿一张A4白纸，裁成样品台大小(或适当的尺寸)，固定于样品台上。将待清洁探针装好到探针夹具上并置于显微镜下，慢慢下压探针，待探针接触到白纸后，向后移动探针。多尝试几次走到探针上的灰尘脱落。3、超声清洁法：适用范围是所有探针，清洗方法是取适量的蒸馏水置于烧杯内(烧杯大小以适合用户操作为宜)，并放到超声波清洗机内。打开超声波清洗机，然后手捏住探针(注意戴丁腈手套)，将针尖放入蒸馏水内，让震动把灰尘震落，可以隔一两分钟用显微镜观察一次，直到灰尘掉落为止。将探针放到适当的位置晾干后即可使用。请注意，若清洁微波探针，须将探针放置整晚晾干。射频探针台排行榜

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