成都RF探针台

探针台的探针的清洗，1、毛刷清洁法：适用范围为5微米以上探针，微波探针。不适用于针尖直径在5微米以下的软针。清洗方法是拿一张A4白纸，撕成细长条的形状，撕成细长的三角形形状(大概5cm高左右)。将待清洁探针装好到探针夹具上并置于显微镜**视显微镜即可，放大倍数太高无法操作)，利用撕下的纸片作为毛刷，轻轻地将探针沾污物刷下。2、压针清洁法：适用范围是所有探针，灰尘比较靠近探针的情况。清洗方法是拿一张A4白纸，裁成样品台大小(或适当的尺寸)，固定于样品台上。将待清洁探针装好到探针夹具上并置于显微镜下，慢慢下压探针，待探针接触到白纸后，向后移动探针。多尝试几次走到探针上的灰尘脱落。3、超声清洁法：适用范围是所有探针，清洗方法是取适量的蒸馏水置于烧杯内(烧杯大小以适合用户操作为宜)，并放到超声波清洗机内。打开超声波清洗机，然后手捏住探针(注意戴丁腈手套)，将针尖放入蒸馏水内，让震动把灰尘震落，可以隔一两分钟用显微镜观察一次，直到灰尘掉落为止。将探针放到适当的位置晾干后即可使用。请注意，若清洁微波探针，须将探针放置整晚晾干。双面点针探针台可用于晶圆和PCB板测试，用于需要正面和背面同时扎针，以实现各种光/电性能测试需求。成都RF探针台

高精度探针台例如OTS，QPU和TTG相关技术，这种全新的高精度系统为下一代小型化的设计及多种测试条件提供保证。特性1：OTS对正系统（光学目标对准）OTS通过对照相机相对位置的测量来保证其位置的精度。这是非常引人注目的技术，来源于TSK的度量技术。OTS实现了以自己为参照的光学对准系统。特性2：QPU-高刚性的硅片承载台（四方型系统）为了有效的达到接触位置的精度，硅片承载台各部分的刚性一致是非常重要的，UF3000使用新的4轴机械转换装置（QPU），达到高刚性，高稳定度的接触。特性3：装载部件令客户满意的测试环境，可以提供从前部开始的通常的8"，12"及基本检查单元。也为自动物料输送系统应用做好了准备。特性4：TTG（一点即到）更加方便的操作，UF3000采用在显示屏上点一下，相关的屏幕就会切换到新的位置显示。相关的设定十分方便。屏幕的显示模式也可以由客户自行定义。fA级漏电探针台调试探针台应用需求持续攀升，行业发展前景较好。

探针台的分类探针台可以按照使用类型与功能来划分，也可以按照操作方式来划分成：手动探针台、半自动探针台、全自动探针台。手动探针台系统顾名思义是手动控制的，这意味着晶圆载物台、显微镜以及定位器/操纵器都是由使用者手动移动的。因此一般是在没有很多待测器件需要测量或数据需要收集的情况下使用手动探针台。该类探针台的优点之一是只需要**少的培训，易于配置环境和转换测试环境，并且不需要涉及额外培训和设置时间的电子设备、PC或软件。由于其灵活和可变性高的特点，非常适合研发人员使用。全自动探针台相比上述两种添加了晶圆材料处理搬运单元（MHU）和模式识别（自动对准）。负责晶圆的输送与定位，使晶圆上的晶粒依次与探针接触并逐个测试。可以24小时连续工作，通常用于芯片量产或有一些特殊要求如处理薄晶圆、封装基板等。全自动探针台价格也是远比手动/半自动探针台要昂贵。

手动探针台基本配置（包含探针台主体、显微镜、针座、探针等），探针台主体-可测试晶圆尺寸：4英寸weili-样品台行程：100mm*100mm-移动分辨率：~：360度-低漏电底栅接口，标准Triax输出-可选400度高温样品台显微镜-三目连续变倍体镜，LED环形照明-光学变倍总倍率45倍，物镜，总放大倍率约700倍针座-磁性吸附底座，XYZ移动范围：12mm-移动分辨率2um-标配4个，可装6个-漏电设计，漏电流探针低于100fA-Triax标准接口输出，Keithley原装低噪声Triax线缆-低漏设计电探针，针尖探针探针直径标配10um，1um尺寸。 经济实惠高性价比的手动探针台。

探针测试台x-y工作台滚珠丝杠副和导轨结构x-y工作台的维护与保养相对于平面电机工作台，丝杠导轨结构的工作台结构组成较复杂，工作台由上层（x向）及下层（y向）两部分组成。工作台由两个步进电机分别驱动x、y向精密滚珠丝杠副带动工作台运动，导向部分采用精密直线滚动导轨。由于运动部分全部采用滚动功能部件，所以具有传动效率高、摩擦力矩小，使用寿命长等特点。这种结构的工作台应放置在温度23±3 ℃，湿度≤70%，无有害气体的环境中，滚珠丝杠、直线导轨应定期加精密仪表油，但不可过多，值得指出的是，这种结构的工作台在装配过程中，从直线导轨的直线性，上下层工作台之间的垂直度以及工作台的重复性，定位精度等都是用专业的仪器仪表调整，用户一般情况不能轻易改变，一旦盲目调整后很难恢复到原来的状态，所以对需要调整的工作台应有专业生产厂家或经过培训的专业人员完成。光电流测试探针台系统。成都磁场探针台

探针台与显示器一体化设计。成都RF探针台

手动探针台的使用方式：1.将样品载入真空卡盘，开启真空阀门控制开关，使样品安全且牢固地吸附在卡盘上。2.使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台，在显微镜低倍物镜聚焦下看清楚样品。3.使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台将样品待测试点移动至显微镜下。4.显微镜切换为高倍率物镜，在大倍率下找到待测点，再微调显微镜聚焦和样品x-y，将影像调节清晰,带测点在显微镜视场中心。5.待测点位置确认好后,再调节探针座的位置,将探针装上后可眼观先将探针移到接近待测点的位置旁边,再使用探针座X-Y-Z三个微调旋钮,慢慢的将探针移至被测点,此时动作要小心且缓慢，以防动作过大误伤芯片，当探针针尖悬空于被测点上空时，可先用Y轴旋钮将探针退后少许，再使用Z轴旋钮进行下针，***则使用X轴旋钮左右滑动，观察是否有少许划痕，证明是否已经接触。6.确保针尖和被测点接触良好后，则可以通过连接的测试设备开始测试。成都RF探针台

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