湖南 IGBT探针台

自动探针台是一款适合6寸、8寸、12寸晶圆的量产型全自动晶圆探针台，通过使探针卡与晶圆Pad点之间精细接触，实现完成晶圆WAT/CP测试，该设备操作简单并具有良好的机械稳定性，能为客户提供一个具有成本优势且高产量的晶圆测试解决方案，满足晶圆厂、封测厂、测试厂等不同客户的测试需求。经过不断的技术迭代更新，A系列全自动探针台已拥有同步国外的先进技术：低噪声、快速移动、高产能、采用缺口和晶圆ID同步识别，减少了晶圆的加载时间；低重心设计，支持高针数探针卡，平面电机x-y步进工作台的维护与保养。湖南 IGBT探针台

探针台怎么选合适的配置，怎么确定精度？通常需要确定以下问题来确定探针台的选型：8、是否会用到探针卡？9、光学显微镜的**小分辨率需要用到多少？10、显微镜方面，是否需要添加偏光片做LC液晶热点侦测？11、接驳的测试仪器接口有哪些？12、测试环境时是否会需要加热或者降温？13、对chuck的漏电要求怎样？是否需要添加低阻抗chuck？14、是否需要防震桌？15、若添置防震桌，是否有压缩空气？16、您的预算多少？项目计划什么时候落实采购？MOSFET探针台商家电路板各通道及载体高频高速测试。

探针台是一种辅助执行机构，测试人员把需要量测的器件放到探针台载物台（chuck）上，在显微镜配合下，X-Y移动器件，找到需要探测的位置。接下来测试人员通过旋转探针座上的X-Y-Z的三向旋钮，控制前部探针（射频或直流探针），精细扎到被测点，从而使其讯号线与外部测试机导通，通过测试机测试人员可以得到所需要的电性能参数。探针台工作环境，探针台应放在坚固稳定的台面上，如地基有震动的情况，需要配置主动防震装置，避免在高温、潮湿、激烈震动、阳光直接照射和灰尘较多的环境下使用。使用比较好温度范围为5℃～40℃，比较好湿度是40%到85%，空气中之湿度若低于30%以下，可靠湿度控制器予以控制，使维持50%～60%之范围。使用时门窗尽可能关闭，使室内达到除湿效果    。使用电源：220V，50Hz

手动探针台是广泛应用于半导体行业的综合经济型测试仪器，主要用于半导体芯片的电参数检测。手动探针台是通过两根探针以及吸片盘够成的回路以及相应大型电参数测试仪对芯片中的集成电路进行检测的。应用范围：手动探针台主要用于对生产及科研中的集成电路、三极管、二极管、可控硅及敏感元件管芯的电压、电流、电阻等参数进行手动测试。极低温测试:因为晶圆在低温大气环境测试时，空气中的水汽会凝结在晶圆上，会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。高温无氧化测试：当晶圆加热至300℃,400℃,500℃甚至更高温度时，氧化现象会越来越明显，并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差，物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。晶圆测试过程中温度在低温和高温中变换，因为热胀冷缩现象，定位好的探针与器件电极间会有相对位移，这时需要针座的重新定位，针座位于腔体外部。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整探针的位置。各钟规格国产射频探针。

探针测试台x-y工作台的分类纵观国内外的自动探针测试台在功能及组成上大同小异，即主要由x-y向工作台，可编程承片台、探卡/探卡支架、打点器、探边器、操作手柄等组成，并配有与测试仪（TESTER）相连的通讯接口。但如果按其x-y工作台结构的不同可为两大类，即：以美国EG公司为**的平面电机型x-y工作台（又叫磁性气浮工作台）自动探针测试台和以日本及欧洲国家生产的采用精密滚珠丝杠副和直线导轨结构的x-y工作台型自动探针测试台。由于x-y工作台的结构差别很大，所以其使用维护保养不可一概而论，应区别对待。探针台搭配源表或者半导体参数分析仪进行电参数测试。SiC探针台

定制探针台具有优良的机械系统，稳定的结构，符合人体工程学，以及多项升级功能。湖南 IGBT探针台

    平面电机x-y步进工作台的维护与保养，平面电机由定子和动子组成，它和传统的步进电机相比其特殊性就是将定子展开，定子是基础平台，动子和定子间有一层气垫，动子浮于气垫上，而可编程承片台则安装在动子之上。这种结构的x-y工作台，由于动子和定子间无相对摩擦故无磨损，使用寿命长。由于平面电机的定子及动子是完全暴露在空气中，所以潮湿的环境及长时期保养不当将很容易使定子发生锈蚀现象，另外重物的碰撞及坚锐器物的划伤都将对定子造成损伤，而影响平面电机的步进精度及使用寿命，对于已生锈的定子可以用天然油石轻轻地向一个方向打磨定子的表面，然后用脱脂棉球蘸煤油清洗，整个过程操作要十分地细心，不可使定子表面出现凹凸不平的现象。另外也可用没有腐蚀性，不损坏定子的除锈剂除锈。对于正常情况下的定子则要定期作除尘清理工作，清理时应先通入大气以便动子移动，方法是用脱脂棉蘸少许大于95%的无水乙醇，轻擦定子表面，然后用**工具撬起动子，方法同前，轻擦动子表面，动子的表面有若干个气孔，它是定子和动子间压缩空气的出孔，观察这此气孔的放气是否均匀，否则用工具小心旋开小孔中内嵌气孔螺母检查是否有杂质堵塞气孔。 湖南 IGBT探针台

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