重庆探针台技术改造

探针测试台x-y工作台滚珠丝杠副和导轨结构x-y工作台的维护与保养相对于平面电机工作台，丝杠导轨结构的工作台结构组成较复杂，工作台由上层（x向）及下层（y向）两部分组成。工作台由两个步进电机分别驱动x、y向精密滚珠丝杠副带动工作台运动，导向部分采用精密直线滚动导轨。由于运动部分全部采用滚动功能部件，所以具有传动效率高、摩擦力矩小，使用寿命长等特点。这种结构的工作台应放置在温度23±3 ℃，湿度≤70%，无有害气体的环境中，滚珠丝杠、直线导轨应定期加精密仪表油，但不可过多，值得指出的是，这种结构的工作台在装配过程中，从直线导轨的直线性，上下层工作台之间的垂直度以及工作台的重复性，定位精度等都是用专业的仪器仪表调整，用户一般情况不能轻易改变，一旦盲目调整后很难恢复到原来的状态，所以对需要调整的工作台应有专业生产厂家或经过培训的专业人员完成。各钟规格国产射频探针。重庆探针台技术改造

高低温探针台优势1.满足各种温度的需求：可以满足非常高的温度或非常低的温度的需求，因为晶圆在低温大气环境测试时，空气中的水汽会凝结在晶圆上，会导致漏电过大而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。当晶圆加热至300℃,400℃,500℃甚至更高温度时，氧化现象会越来越明显，并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差，物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。晶圆测试过程中温度在低温和高温中变换，因为热胀冷缩现象，定位好的探针与器件间会有相对位移，这时需要针座的重新定位，我们针座位于腔体外部。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整探针的位置。2、体积小，稳定性高：与传统探针台相比，高低温真空探针台的稳定性更高，采用先进的技术工艺，让探针台在工作过程中流畅性更高，平稳性更高，从而保证每次实验数据的稳定性，这样实验得出的结果就会更加准确。3、成本更低，可兼容直流跟射频测试的运用：与传统探针台相比，这种探针台采用先进的合成材料，成本方面比传统探针台更低，但是功能性都更加强大。浙江探针台调试晶圆级测试自动探针台。

    平面电机x-y步进工作台的维护与保养，平面电机由定子和动子组成，它和传统的步进电机相比其特殊性就是将定子展开，定子是基础平台，动子和定子间有一层气垫，动子浮于气垫上，而可编程承片台则安装在动子之上。这种结构的x-y工作台，由于动子和定子间无相对摩擦故无磨损，使用寿命长。由于平面电机的定子及动子是完全暴露在空气中，所以潮湿的环境及长时期保养不当将很容易使定子发生锈蚀现象，另外重物的碰撞及坚锐器物的划伤都将对定子造成损伤，而影响平面电机的步进精度及使用寿命，对于已生锈的定子可以用天然油石轻轻地向一个方向打磨定子的表面，然后用脱脂棉球蘸煤油清洗，整个过程操作要十分地细心，不可使定子表面出现凹凸不平的现象。另外也可用没有腐蚀性，不损坏定子的除锈剂除锈。对于正常情况下的定子则要定期作除尘清理工作，清理时应先通入大气以便动子移动，方法是用脱脂棉蘸少许大于95%的无水乙醇，轻擦定子表面，然后用**工具撬起动子，方法同前，轻擦动子表面，动子的表面有若干个气孔，它是定子和动子间压缩空气的出孔，观察这此气孔的放气是否均匀，否则用工具小心旋开小孔中内嵌气孔螺母检查是否有杂质堵塞气孔。

    探针台怎么选合适的配置，怎么确定精度？通常需要确定以下问题来确定探针台的选型：1、比较大需要测几英寸的晶圆或者器件？2、探针台机械精度要求多高？3、点测样品的尺寸规格为多少？100um*100um或60um*60um的pad，还是FIB制作的minipad，还是ic内部的metal？4、Pad尺寸大于20um就都可以使用体式显微镜（体式显微镜比较大倍率200倍）5、需要几根探针同时去点测？6、会测试到的比较大的电流、电压值是多少（电压越高探针的针尖就要越粗、对夹具的要求也会越高。5A以下推荐使用同轴夹具、5A以上推荐使用三轴夹具）7、漏电精度需要达到多高？是否有射频的需求？三轴管状夹具：100FA，同轴弹簧夹具：10PA（漏电精度：要求能测到的电流的量级）。 OTS，QPU和TTG相关技术，这种全新的高精度系统为下一代小型化的设计及多种测试条件提供保证。

很多人都不了解探针台，因为很少接触到。但是，它在的作用是非常大的，它的使用步骤我们还是需要了解的。下面，小编就带大家了解一下它的使用步骤。希望能对大家有所帮助。1、将样品载入真空卡盘，开启真空阀门控制开关，使样品平安且牢固地吸附在卡盘上。2、运用卡盘X轴、Y轴控制旋钮挪动卡盘平台，在显微镜低倍物镜聚焦下看清楚样品。3、显微镜切换为高倍率物镜，在大倍率下找到待测点，再微调显微镜聚焦和样品x-y，将影像调整明晰,带测点在显微镜视场中间。4、待测点地位确认好后,再调整探针座的地位,将探针台探针装上后可眼观先将探针移到接近待测点的地位旁边,再运用探针座X-Y-Z三个微调旋钮,渐渐的将探针移至被测点,此时举措要小心且迟缓，以防举措过大误伤芯片，当探针针尖悬空于被测点上空时，可先用Y轴旋钮将探针行进少许，再运用Z轴旋钮停止下针，刚开始则运用X轴旋钮左右滑动，察看能否有少许划痕，证明能否曾经接触。5、确保针尖和被测点接触良好后，则可以经过衔接的测试设备开端测试。经济实惠高性价比的手动探针台。浙江探针台调试

探针台采用高刚性显微镜龙门设计。重庆探针台技术改造

提到探针台，大家应该会一头雾水，不知道探针台是干什么用的，下面就让小编来给大家普及一下探针台是干什么用的，供大家了解，希望能对大家有所帮助。探针台可以将电探针、光学探针或射频探针放置在硅晶片上，从而可以与测试仪器、半导体测试系统配合来测试芯片、半导体器件。这些测试可以很简单，例如连续性或隔离检查。也可以很复杂，包括微电路的完整功能测试。可以在将晶圆锯成单个管芯之前或之后进行测试。在晶圆级别的测试允许制造商在生产过程中多次测试芯片器件，这可以提供有关哪些工艺步骤将缺陷引入产品的信息。它还使制造商能够在封装之前测试管芯，这在封装成本相对于器件成本高的应用中很重要。探针台还可以用于研发、产品开发和故障分析应用。探针台可以固定晶圆或芯片，并准确定位待测物。手动探针台的使用者将探针臂和探针安装到操纵器中，并使用显微镜将探针顶端放置到待测物上的正确位置。一旦所有探针顶端都被设置在正确的位置，就可以对待测物进行测试。重庆探针台技术改造

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