探针台基本参数
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  • 波铭科仪
  • 型号
  • BM-
探针台企业商机

探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。广泛应用于复杂、高速露件的精密电气测量的研发,旨在确保质量及可靠性,并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。手动探针台的主要用途是为半导体芯片的电参数测试提供一个测试平台,探针台可吸附多种规格芯片,并提供多个可调测试针以及探针座,配合测量仪器可完成集成电路的电压,电流、电阳以及电容电压特性线等参数检测。适用于对芯片进行科研分析,抽查测试等用途.激光探针台主要检测内容:1、激光打标;2、表层修复线路(利用激光将两层金属线熔融连接);3、驱除短路点;4、激光断线,5、干扰芯片测试;除了以几项之外激光探针台兼备常规探针台功能:1.微小连接点信号引出2.失效分析失效确认3.FIB电路修改后电学特性确认4.晶圆可靠性验证探针台的维护和保养。湖南探针台排行榜

探针台由哪些部分组成?1.样品台(载物台)载物台是定位晶圆或芯片的部件设备。通常会根据晶圆的尺寸来设计大小,并配套了相应的精密移动定位功能。克洛诺斯科技自主研发的超精密气浮运动平台就是作为定位晶圆或芯片的部件设备,重复定位精度达±50纳米,可以依靠精密机械运作在极短的曝光时间内完美定位,完成晶圆在量测端的极精密的检测。2.光学元件这个部件的作用是能够从视觉上放大观察待测物,以便精确地将探针前列对准并放置在待测晶圆/芯片的测量点上。3.卡盘有一个非常平坦的金属表面,卡盘用夹具来固定待测物,或使用真空来吸附晶圆。探针台如何工作?探针台可以固定晶圆或芯片,并精确定位待测物。手动探针台的使用者将探针臂和探针安装到操纵器中,并使用显微镜将探针前列放置到待测物上的正确位置。一旦所有探针前列都被设置在正确的位置,就可以对待测物进行测试。对于带有多个芯片的晶圆,使用者可以抬起压盘,压盘将探针头与芯片分开,然后将工作台移到下一个芯片上,使用显微镜找到精确的位置,压板降低后下一个芯片可以进行测试。半自动和全自动探针台系统使用机械化工作台和机器视觉来自动化这个移动过程,提高了探针台生产率。 MOS管探针台调试芯片的电参数测试用手动探针台。

探针台的分类探针台可以按照使用类型与功能来划分,也可以按照操作方式来划分成:手动探针台、半自动探针台、全自动探针台。手动探针台系统顾名思义是手动控制的,这意味着晶圆载物台、显微镜以及定位器/操纵器都是由使用者手动移动的。因此一般是在没有很多待测器件需要测量或数据需要收集的情况下使用手动探针台。该类探针台的优点之一是只需要**少的培训,易于配置环境和转换测试环境,并且不需要涉及额外培训和设置时间的电子设备、PC或软件。由于其灵活和可变性高的特点,非常适合研发人员使用。全自动探针台相比上述两种添加了晶圆材料处理搬运单元(MHU)和模式识别(自动对准)。负责晶圆的输送与定位,使晶圆上的晶粒依次与探针接触并逐个测试。可以24小时连续工作,通常用于芯片量产或有一些特殊要求如处理薄晶圆、封装基板等。全自动探针台价格也是远比手动/半自动探针台要昂贵。

手动探针台的维护和保养1.避免碰撞:在安装,操作CS探针台时应避免碰撞,机体放置需平坦,不可倾斜或横倒,避免机器发生故障或异常异音。2.仪器的运输:仪器运输时,请先拔掉电源线插头。仪器运输应使用专门的包装箱,避免碰到探针台的任何运动部件。3.仪器的存放使用完后需要注意保持清洁,尽量把灰尘吹干尽,以免灰尘将机械精密部件,光学部件,电学接触面污染,导致仪器精度降低。探针台机体清洁时,避免直接泼水清理,以无尘布轻轻擦拭并吹干即可。不可用硬物接触机器,以免发生故障或危险。探针台光学部件清洁时,可用镜头纸蘸无水酒精从中间向外轻轻的擦拭。无水酒精时易燃物,注意使用安全。停电或长期不用、外出旅行时,请将电源线插头拔掉以维护机器寿命。操作人员必须严格按要求操作,以保证数据的准确和仪器的正常使用。4.工作环境探针台应放在稳定可靠的台面上,比较好是具有防震装置的工作台上,避免在高温,潮湿激烈震动,阳光直接照射和灰尘较多的环境下使用。使用比较好温度范围为5℃~40℃,比较好湿度是40%到85%,空气中之湿度若低于30%以下,可靠湿度控制器予以控制,使维持50%~60%之范围。使用时门窗尽可能关闭探针台搭配网络分析仪进行测试。

    探针台怎么选合适的配置,怎么确定精度?通常需要确定以下问题来确定探针台的选型:1、比较大需要测几英寸的晶圆或者器件?2、探针台机械精度要求多高?3、点测样品的尺寸规格为多少?100um*100um或60um*60um的pad,还是FIB制作的minipad,还是ic内部的metal?4、Pad尺寸大于20um就都可以使用体式显微镜(体式显微镜比较大倍率200倍)5、需要几根探针同时去点测?6、会测试到的比较大的电流、电压值是多少(电压越高探针的针尖就要越粗、对夹具的要求也会越高。5A以下推荐使用同轴夹具、5A以上推荐使用三轴夹具)7、漏电精度需要达到多高?是否有射频的需求?三轴管状夹具:100FA,同轴弹簧夹具:10PA(漏电精度:要求能测到的电流的量级)。 极端环境下给样品加载电学信号的探针台设备。LCR测试探针台厂家供应

探针台广泛应用于科研单位研发测试、院校教学操作、企业实验室芯片失效分析等领域。湖南探针台排行榜

探针台可以将电探针、光学探针或射频探针放置在硅晶片上,从而可以与测试仪器/半导体测试系统配合来测试芯片/半导体器件。这些测试可以很简单,例如连续性或隔离检查,也可以很复杂,包括微电路的完整功能测试。可以在将晶圆锯成单个管芯之前或之后进行测试。在晶圆级别的测试允许制造商在生产过程中多次测试芯片器件,这可以提供有关哪些工艺步骤将缺陷引入产品的信息。它还使制造商能够在封装之前测试管芯,这在封装成本相对于器件成本高的应用中很重要。探针台还可以用于研发、产品开发和故障分析应用。湖南探针台排行榜

上海波铭科学仪器有限公司主要经营范围是仪器仪表,拥有一支专业技术团队和良好的市场口碑。波铭科仪致力于为客户提供良好的拉曼光谱仪,电动位移台,激光器,光电探测器,一切以用户需求为中心,深受广大客户的欢迎。公司将不断增强企业重点竞争力,努力学习行业知识,遵守行业规范,植根于仪器仪表行业的发展。波铭科仪立足于全国市场,依托强大的研发实力,融合前沿的技术理念,及时响应客户的需求。

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