探针台基本参数
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  • 波铭科仪
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  • BM-
探针台企业商机

手动探针台是广泛应用于半导体行业的综合经济型测试仪器,主要用于半导体芯片的电参数检测。手动探针台是通过两根探针以及吸片盘够成的回路以及相应大型电参数测试仪对芯片中的集成电路进行检测的。应用范围:手动探针台主要用于对生产及科研中的集成电路、三极管、二极管、可控硅及敏感元件管芯的电压、电流、电阻等参数进行手动测试。极低温测试:因为晶圆在低温大气环境测试时,空气中的水汽会凝结在晶圆上,会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走,并且保持整个测试过程泵的运转。高温无氧化测试:当晶圆加热至300℃,400℃,500℃甚至更高温度时,氧化现象会越来越明显,并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差,物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走,并且保持整个测试过程泵的运转。晶圆测试过程中温度在低温和高温中变换,因为热胀冷缩现象,定位好的探针与器件电极间会有相对位移,这时需要针座的重新定位,针座位于腔体外部。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整探针的位置。探针台广泛应用于科研单位研发测试、院校教学操作、企业实验室芯片失效分析等领域。重庆高低温探针台

    RF/mmW超高频测试探针台系统可配合市场主流扩频模块进行超高频测试l大行程高精度探针座,X-Y-Z-Theta四轴控制l显微镜可以在2英寸*2英寸*2英寸范围内移动,扩大了显微镜视场l兼容直流与高频信号l可以定制,可升级性强lFA(失效分析)**激光探针台系统失效分析实验室**(芯片去层/线路或Pad切割与熔接电性能测试验证)l激光镭射波长1064/532/355nm可选择性去除特定材料、而不损伤下层或基底l材料/器件(尤其是射频特征芯片)的IV/PIV/CV电性测试和失效分析。l**小切割线宽:355nm1um;,行程25mm,升降精度1uml卡盘,采用中心吸附孔和多圈吸附环固定样品l可调节显微镜快速倾仰,便于更换物镜,带自动锁定功能。l高功率白色照明光源(亮度可以无级调节)。 成都大功率测试探针台探针台是半导体(包含集成电路、分立器材、光电器材、传感器)行业的检测标配。

探针测试台x-y工作台的分类纵观国内外的自动探针测试台在功能及组成上大同小异,即主要由x-y向工作台,可编程承片台、探卡/探卡支架、打点器、探边器、操作手柄等组成,并配有与测试仪(TESTER)相连的通讯接口。但如果按其x-y工作台结构的不同可为两大类,即:以美国EG公司为**的平面电机型x-y工作台(又叫磁性气浮工作台)自动探针测试台和以日本及欧洲国家生产的采用精密滚珠丝杠副和直线导轨结构的x-y工作台型自动探针测试台。由于x-y工作台的结构差别很大,所以其使用维护保养不可一概而论,应区别对待。

高精度探针台例如OTS,QPU和TTG相关技术,这种全新的高精度系统为下一代小型化的设计及多种测试条件提供保证。特性1:OTS对正系统(光学目标对准)OTS通过对照相机相对位置的测量来保证其位置的精度。这是非常引人注目的技术,来源于TSK的度量技术。OTS实现了以自己为参照的光学对准系统。特性2:QPU-高刚性的硅片承载台(四方型系统)为了有效的达到接触位置的精度,硅片承载台各部分的刚性一致是非常重要的,UF3000使用新的4轴机械转换装置(QPU),达到高刚性,高稳定度的接触。特性3:装载部件令客户满意的测试环境,可以提供从前部开始的通常的8",12"及基本检查单元。也为自动物料输送系统应用做好了准备。特性4:TTG(一点即到)更加方便的操作,UF3000采用在显示屏上点一下,相关的屏幕就会切换到新的位置显示。相关的设定十分方便。屏幕的显示模式也可以由客户自行定义。探针台是半导体、晶圆、集成电路中重要的检测设备。

    平面电机x-y步进工作台的维护与保养,平面电机由定子和动子组成,它和传统的步进电机相比其特殊性就是将定子展开,定子是基础平台,动子和定子间有一层气垫,动子浮于气垫上,而可编程承片台则安装在动子之上。这种结构的x-y工作台,由于动子和定子间无相对摩擦故无磨损,使用寿命长。由于平面电机的定子及动子是完全暴露在空气中,所以潮湿的环境及长时期保养不当将很容易使定子发生锈蚀现象,另外重物的碰撞及坚锐器物的划伤都将对定子造成损伤,而影响平面电机的步进精度及使用寿命,对于已生锈的定子可以用天然油石轻轻地向一个方向打磨定子的表面,然后用脱脂棉球蘸煤油清洗,整个过程操作要十分地细心,不可使定子表面出现凹凸不平的现象。另外也可用没有腐蚀性,不损坏定子的除锈剂除锈。对于正常情况下的定子则要定期作除尘清理工作,清理时应先通入大气以便动子移动,方法是用脱脂棉蘸少许大于95%的无水乙醇,轻擦定子表面,然后用**工具撬起动子,方法同前,轻擦动子表面,动子的表面有若干个气孔,它是定子和动子间压缩空气的出孔,观察这此气孔的放气是否均匀,否则用工具小心旋开小孔中内嵌气孔螺母检查是否有杂质堵塞气孔。 三段式针座平台,在不失焦的情况下可以使样品和探针做到快速分离。fA级漏电探针台配件

探针台搭配源表或者半导体参数分析仪进行电参数测试。重庆高低温探针台

M系列探针台是我司一款基于高校教育与实验室而研发的基础型晶圆测试探针台。其结构紧凑,设计精密,价格实惠,在高等院校教学和小型实验室科研过程中得到运用。配合对应的仪器仪表,可以用于测试各类器件的IV/CV,PIV,光电信号等。也可以放置于手套箱内,配合特殊气氛使用。一般适用于学校和工厂小型实验室。产品优势:探针台与显示器一体化设计,大大减小了设备的占地空间具备自适应减震系统,一定程度上可防止外界震动的干扰U型平台镀镍设计,不仅增大了针座的加载空间,还提高了针座平台和针座之间的吸附力 重庆高低温探针台

上海波铭科学仪器有限公司成立于2013-06-03,同时启动了以爱特蒙特为主的拉曼光谱仪,电动位移台,激光器,光电探测器产业布局。是具有一定实力的仪器仪表企业之一,主要提供拉曼光谱仪,电动位移台,激光器,光电探测器等领域内的产品或服务。同时,企业针对用户,在拉曼光谱仪,电动位移台,激光器,光电探测器等几大领域,提供更多、更丰富的仪器仪表产品,进一步为全国更多单位和企业提供更具针对性的仪器仪表服务。上海波铭科学仪器有限公司业务范围涉及上海波铭科学仪器有限公司是一家实力的光学仪器生产厂家,同时也是爱特蒙特正式代理商,主要提供光学仪器如光栅光谱仪,荧光光谱仪,膜厚测量仪,探测器响应分析仪等科研光学仪器.并且提供光学机械,电子测量解决方案,制造工艺精良,质量可靠,性能稳定,报价合理,售后无忧,值得信赖.等多个环节,在国内仪器仪表行业拥有综合优势。在拉曼光谱仪,电动位移台,激光器,光电探测器等领域完成了众多可靠项目。

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