安徽 fA级漏电探针台

可提供单维磁场，多维磁场探针台，磁场强度，精度和间隙均可客制化l高刚性结构，所有零配件均采用无磁化材料可加载高低温，可同时进行DC和RF测试，可配合市场主流扩频模块进行超高频测试；大行程高精度探针座，X-Y-Z-Theta四轴控制l显微镜可以在2英寸*2英寸*2英寸范围内移动，扩大了显微镜视场；兼容直流与高频信号；可以定制，可升级性强l比较大可以测试12英寸样品，探针台chuck具备升降功能，便于样品和探针的快速分离。可配合等离子发生器使用，可以给样品提供超高温和等离子气体。半导体设备市场中，探针台是我国目前能实现高国产化率的设备。安徽 fA级漏电探针台

探针测试台x-y工作台的分类纵观国内外的自动探针测试台在功能及组成上大同小异，即主要由x-y向工作台，可编程承片台、探卡/探卡支架、打点器、探边器、操作手柄等组成，并配有与测试仪（TESTER）相连的通讯接口。但如果按其x-y工作台结构的不同可为两大类，即：以美国EG公司为**的平面电机型x-y工作台（又叫磁性气浮工作台）自动探针测试台和以日本及欧洲国家生产的采用精密滚珠丝杠副和直线导轨结构的x-y工作台型自动探针测试台。由于x-y工作台的结构差别很大，所以其使用维护保养不可一概而论，应区别对待。SiC探针台排行榜三段式针座平台，在不失焦的情况下可以使样品和探针做到快速分离。

高精度探针台例如OTS，QPU和TTG相关技术，这种全新的高精度系统为下一代小型化的设计及多种测试条件提供保证。特性1：OTS对正系统（光学目标对准）OTS通过对照相机相对位置的测量来保证其位置的精度。这是非常引人注目的技术，来源于TSK的度量技术。OTS实现了以自己为参照的光学对准系统。特性2：QPU-高刚性的硅片承载台（四方型系统）为了有效的达到接触位置的精度，硅片承载台各部分的刚性一致是非常重要的，UF3000使用新的4轴机械转换装置（QPU），达到高刚性，高稳定度的接触。特性3：装载部件令客户满意的测试环境，可以提供从前部开始的通常的8"，12"及基本检查单元。也为自动物料输送系统应用做好了准备。特性4：TTG（一点即到）更加方便的操作，UF3000采用在显示屏上点一下，相关的屏幕就会切换到新的位置显示。相关的设定十分方便。屏幕的显示模式也可以由客户自行定义。

对于一些实验室或者研究机构来说，手动探针台是必不可少的设备，但是这类设备在市面上的厂家非常多，尤其是现在互联网非常发达，百度搜索至少可以找到上百个厂家。这么多厂家应该如何选择？哪个厂家比较好？下面小编就给大家介绍一下选购手动探针台该注意的地方。具体如下：1、定位一定要准确：购买手动探针台很重要的一点就是定位要准确，如果定位不准确，实验数据就会出现很大偏差，得出的实验结果自然也不符合事实依据。所以在采购这类设备的时候，需要了解设备的定位情况，只有保证准确度，才能保证实验结果，才能避免企业花费大量时间做无用功。2、操作要简单：虽然这种设备看起来很复杂，但是操作是不能复杂的，因为复杂的操作流程很容易导致实验数据出现误差，所以这一点大家一定要注意。只有操作简单，才能够让实验变得更加便利，误差也能够降到低点，这样才更符合企业的利益。3.操作要没有危险：现在人们对于避免危险意外越来越重视，所以企业在采购手动探针台的时候，一定要提前了解操作安全，如果这一点无法保证，可能会对企业口碑造成很大影响。因为现在工作环境存在危险隐患，一旦被有关部门发现，很有可能会被要求停业整改，这样会给企业造成非常大的损失。探针台规范操作步骤。

探针台由哪些部分组成？1.样品台（载物台）载物台是定位晶圆或芯片的部件设备。通常会根据晶圆的尺寸来设计大小，并配套了相应的精密移动定位功能。克洛诺斯科技自主研发的超精密气浮运动平台就是作为定位晶圆或芯片的部件设备，重复定位精度达±50纳米，可以依靠精密机械运作在极短的曝光时间内完美定位，完成晶圆在量测端的极精密的检测。2.光学元件这个部件的作用是能够从视觉上放大观察待测物，以便精确地将探针前列对准并放置在待测晶圆/芯片的测量点上。3.卡盘有一个非常平坦的金属表面，卡盘用夹具来固定待测物，或使用真空来吸附晶圆。探针台如何工作？探针台可以固定晶圆或芯片，并精确定位待测物。手动探针台的使用者将探针臂和探针安装到操纵器中，并使用显微镜将探针前列放置到待测物上的正确位置。一旦所有探针前列都被设置在正确的位置，就可以对待测物进行测试。对于带有多个芯片的晶圆，使用者可以抬起压盘，压盘将探针头与芯片分开，然后将工作台移到下一个芯片上，使用显微镜找到精确的位置，压板降低后下一个芯片可以进行测试。半自动和全自动探针台系统使用机械化工作台和机器视觉来自动化这个移动过程，提高了探针台生产率。 各钟规格国产射频探针。FINFET探针台维保

极端环境下给样品加载电学信号的探针台设备。安徽 fA级漏电探针台

    探针台怎么选合适的配置，怎么确定精度？通常需要确定以下问题来确定探针台的选型：1、比较大需要测几英寸的晶圆或者器件？2、探针台机械精度要求多高？3、点测样品的尺寸规格为多少？100um*100um或60um*60um的pad，还是FIB制作的minipad，还是ic内部的metal？4、Pad尺寸大于20um就都可以使用体式显微镜（体式显微镜比较大倍率200倍）5、需要几根探针同时去点测？6、会测试到的比较大的电流、电压值是多少（电压越高探针的针尖就要越粗、对夹具的要求也会越高。5A以下推荐使用同轴夹具、5A以上推荐使用三轴夹具）7、漏电精度需要达到多高？是否有射频的需求？三轴管状夹具：100FA，同轴弹簧夹具：10PA（漏电精度：要求能测到的电流的量级）。 安徽 fA级漏电探针台

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