SiC探针台维修

桌面探针系统

众所周知探针台用于半导体测试，特别是6英寸或者12英寸的晶圆探针台。因为受尺寸限制，导致大尺寸等规格不符的待测物无法进行测试，从而使得众多产品无法得到验证。

对于除了半导体、晶圆、芯片需要测试以外，如同大尺寸电路板、高频高速电路、射频微波器件、高速连接器等所需测试的产品也是需要进行阻抗、S参数的测试。特别是现在高频高速已经进入了56G、112G，单波NRZ通道已经到了56GHz的电信号的时代。所以高频、高速等系列电路板各个通道以及载体都需要进行产品的性能测试。

因此研发推出了桌面探针系统及各规格探针配合67GHz网络分析仪进行高频高速的测试。 探针台规范操作步骤。SiC探针台维修

探针台的分类探针台可以按照使用类型与功能来划分，也可以按照操作方式来划分成：手动探针台、半自动探针台、全自动探针台。手动探针台系统顾名思义是手动控制的，这意味着晶圆载物台、显微镜以及定位器/操纵器都是由使用者手动移动的。因此一般是在没有很多待测器件需要测量或数据需要收集的情况下使用手动探针台。该类探针台的优点之一是只需要**少的培训，易于配置环境和转换测试环境，并且不需要涉及额外培训和设置时间的电子设备、PC或软件。由于其灵活和可变性高的特点，非常适合研发人员使用。全自动探针台相比上述两种添加了晶圆材料处理搬运单元（MHU）和模式识别（自动对准）。负责晶圆的输送与定位，使晶圆上的晶粒依次与探针接触并逐个测试。可以24小时连续工作，通常用于芯片量产或有一些特殊要求如处理薄晶圆、封装基板等。全自动探针台价格也是远比手动/半自动探针台要昂贵。MOSFET探针台规格探针台广泛应用于产品开发和故障失效分析。

探针台由哪些部分组成？1.样品台（载物台）载物台是定位晶圆或芯片的部件设备。通常会根据晶圆的尺寸来设计大小，并配套了相应的精密移动定位功能。克洛诺斯科技自主研发的超精密气浮运动平台就是作为定位晶圆或芯片的部件设备，重复定位精度达±50纳米，可以依靠精密机械运作在极短的曝光时间内完美定位，完成晶圆在量测端的极精密的检测。2.光学元件这个部件的作用是能够从视觉上放大观察待测物，以便精确地将探针前列对准并放置在待测晶圆/芯片的测量点上。3.卡盘有一个非常平坦的金属表面，卡盘用夹具来固定待测物，或使用真空来吸附晶圆。探针台如何工作？探针台可以固定晶圆或芯片，并精确定位待测物。手动探针台的使用者将探针臂和探针安装到操纵器中，并使用显微镜将探针前列放置到待测物上的正确位置。一旦所有探针前列都被设置在正确的位置，就可以对待测物进行测试。对于带有多个芯片的晶圆，使用者可以抬起压盘，压盘将探针头与芯片分开，然后将工作台移到下一个芯片上，使用显微镜找到精确的位置，压板降低后下一个芯片可以进行测试。半自动和全自动探针台系统使用机械化工作台和机器视觉来自动化这个移动过程，提高了探针台生产率。

    平面电机x-y步进工作台的维护与保养，平面电机由定子和动子组成，它和传统的步进电机相比其特殊性就是将定子展开，定子是基础平台，动子和定子间有一层气垫，动子浮于气垫上，而可编程承片台则安装在动子之上。这种结构的x-y工作台，由于动子和定子间无相对摩擦故无磨损，使用寿命长。由于平面电机的定子及动子是完全暴露在空气中，所以潮湿的环境及长时期保养不当将很容易使定子发生锈蚀现象，另外重物的碰撞及坚锐器物的划伤都将对定子造成损伤，而影响平面电机的步进精度及使用寿命，对于已生锈的定子可以用天然油石轻轻地向一个方向打磨定子的表面，然后用脱脂棉球蘸煤油清洗，整个过程操作要十分地细心，不可使定子表面出现凹凸不平的现象。另外也可用没有腐蚀性，不损坏定子的除锈剂除锈。对于正常情况下的定子则要定期作除尘清理工作，清理时应先通入大气以便动子移动，方法是用脱脂棉蘸少许大于95%的无水乙醇，轻擦定子表面，然后用**工具撬起动子，方法同前，轻擦动子表面，动子的表面有若干个气孔，它是定子和动子间压缩空气的出孔，观察这此气孔的放气是否均匀，否则用工具小心旋开小孔中内嵌气孔螺母检查是否有杂质堵塞气孔。 手动探针台的工作原理。

很多人都不了解探针台，因为很少接触到。但是，它在的作用是非常大的，它的使用步骤我们还是需要了解的。下面，小编就带大家了解一下它的使用步骤。希望能对大家有所帮助。1、将样品载入真空卡盘，开启真空阀门控制开关，使样品平安且牢固地吸附在卡盘上。2、运用卡盘X轴、Y轴控制旋钮挪动卡盘平台，在显微镜低倍物镜聚焦下看清楚样品。3、显微镜切换为高倍率物镜，在大倍率下找到待测点，再微调显微镜聚焦和样品x-y，将影像调整明晰,带测点在显微镜视场中间。4、待测点地位确认好后,再调整探针座的地位,将探针台探针装上后可眼观先将探针移到接近待测点的地位旁边,再运用探针座X-Y-Z三个微调旋钮,渐渐的将探针移至被测点,此时举措要小心且迟缓，以防举措过大误伤芯片，当探针针尖悬空于被测点上空时，可先用Y轴旋钮将探针行进少许，再运用Z轴旋钮停止下针，刚开始则运用X轴旋钮左右滑动，察看能否有少许划痕，证明能否曾经接触。5、确保针尖和被测点接触良好后，则可以经过衔接的测试设备开端测试。OTS，QPU和TTG相关技术，这种全新的高精度系统为下一代小型化的设计及多种测试条件提供保证。浙江RF探针台

选购手动探针台的注意事项。SiC探针台维修

低温探针台是用来无损检测样品的电性能，用于半导体、微电子、固体物理、超导等研究冷域，是研究材料的电阻率、磁电阻等各种物理特性的有力工具。稳定、可靠、方便的改变在很低的真空和温度下对器件和电路的探测。内置振动隔离，智能热管理，使用低排放的材料，先进的密封性，使该系统非常适合一系列需要更好的真空水平的应用，如石墨烯的研究，分子电子学等的，系统采用闭式循环制冷机和专有的热管理，可以经济快速的操作。内置的隔振小化振动符合行业标准。超稳定的微操纵满足设备探针的准确和可重复的接触。低温探针台集成系统有以下特点：1、在真空探针台下进行完整的霍尔效应测试的系统。2、支持一系列直流条件下霍尔效应测试。3、变温范围10k-400k，采用闭循环制冷机制冷，不需要消耗制冷剂。4、包含8400软件，可以做简单的系统操作、数据采集和分析。5、支持多载流子分析数据导出。SiC探针台维修

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