SiC探针台

探针台是一种辅助执行机构，测试人员把需要量测的器件放到探针台载物台（chuck）上，在显微镜配合下，X-Y移动器件，找到需要探测的位置。接下来测试人员通过旋转探针座上的X-Y-Z的三向旋钮，控制前部探针（射频或直流探针），精细扎到被测点，从而使其讯号线与外部测试机导通，通过测试机测试人员可以得到所需要的电性能参数。探针台工作环境，探针台应放在坚固稳定的台面上，如地基有震动的情况，需要配置主动防震装置，避免在高温、潮湿、激烈震动、阳光直接照射和灰尘较多的环境下使用。使用比较好温度范围为5℃～40℃，比较好湿度是40%到85%，空气中之湿度若低于30%以下，可靠湿度控制器予以控制，使维持50%～60%之范围。使用时门窗尽可能关闭，使室内达到除湿效果    。使用电源：220V，50Hz探针台应用需求持续攀升，行业发展前景较好。SiC探针台

光电流测试探针台系统是在金相显微镜基础上导入另一路光源，用于辐照样品以测试样品在特定波长及能量下的电气特性等测试目的。l本显微镜设计为双光路或3光路，其中一路为导入光通路，另一到两路为成像光路导入光为平行的激光或其它线性光源，波长范围200nm~20000nm，中间可加入多个波片过滤，起偏及偏振角度无级360度调节。光斑辐照直径有650nm红光指示。l所有模块均可拉出设计，对导入光性质无影响。导入光光路可选择一个光时间开关，精确控制导入光的辐照时间，精度1ms，范围2ms~∞，在控制界面上可对各种参数进行详细设置。成像光路为同轴照明金相成像，其中一路为1倍成像，可选择第2路成像，为物镜的0.25~10倍率，通常在高低温测试系统里会用到，同一个物镜不切换，得到两个不同视野的成像。mini led探针台供应三段式针座平台，在不失焦的情况下可以使样品和探针做到快速分离。

探针台操作步骤：1.将测试产品放入探针台的台盘上;2.打开显微镜光源灯（LED或光源机）;3.打开背光面板光源开关;4.调整Zaxis高度对焦，使能清楚看到样品图象为OK;5.调整目镜和Zoom倍率，使影像清晰;二.点针操作步骤：1.通过移动镜头组部分找到Sample要下针的地方;2.调整针座位置，将三轴归零;3.调整针座仰角机构，使针尖位于显微镜射出光斑**上方1-2mm处;4.利用低倍镜头找到针尖，将针尖移至视野**位置并通过调整焦距使针尖达到*清晰;6.切换至高倍镜头，找到针尖;7.利用针座的X-Y-Z轴微调下针;8.量测完毕后，逆时针旋转钮针座的仰角机构的旋钮取出快速将针往上抬起，针尖即可移开针Sample;移动座平台或者显微镜相关移动机构时，请注意小心避免与镜头或被测品碰撞9.移开针座，取出背光面板光源和光源灯等电源.

双面点针探针台可用于晶圆和PCB板测试，用于需要正面和背面同时扎针，以实现各种光/电性能测试需求。该定制探针台具有优良的机械系统，稳定的结构，符合人体工程学，以及多项升级功能。可广泛应用于集成电路、Wafer，LED、LCD、太阳能电。产品优势：可同时完成DC和RF测试大手柄双驱动，省时，省力，省心双光路系统，上光路可升级加载光电流系统。芯片内部线路/pad/电级的IV/CV测试l材料/器件的IV/CV性能测试及FAl芯片/面板内部线路修改/去层（介质绝缘层/钝化层l可对金属线路层激光断线或开路进行熔接l激光可选择性去除特定材料而不损伤下层或基底l激光**小加工精度1*1μml芯片研发流片验证+失效分析**l激光打标LaserMarklLasercut、Laserweld、Laserrepaill超快短脉冲激光精细微加工修复系统探针台与显示器一体化设计。

探针台是半导体行业重要的检测装备之一，其广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量，旨在确保质量及可靠性，并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。半导体测试可以按生产流程可以分为三类：验证测试、晶圆测试测试、封装检测。探针台主要用于晶圆制造环节的晶圆检测、芯片研发和故障分析等应用。除探针台外，晶圆检测环节还需要使用测试仪/机，测试仪/机用于检测芯片功能和性能，探针台实现被测芯片与测试机的连接，通过探针台和测试机的配合使用，可以对晶圆上的裸芯片进行功能和电参数测试或射频测试，可以对芯片的良品、不良品的进行筛选。电路板各通道及载体高频高速测试。LCR测试探针台维保

高低温真空探针测试系统。SiC探针台

波铭科仪CH-196高低温真空探针台是我司自主研发的一款在极端环境下给样品加载电学信号的设备。可以实现器件及材料表征的IV/CV特性测试，射频测试，光电测试等。通过液氮或者压缩机制冷，可以在防辐射屏内营造一个稳定的测试环境。在特殊材料，半导体器件等研究方向具有***运用。一般用于相关单位实验室。产品优势：防辐射屏和热沉设计降温速度快，常温降至77k<25mins，提高测试效率液氮自动控制系统，液氮流量模块和温度控制模块一起联动共同控制温度。SiC探针台

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