PIV测试探针台维修

    微纳探针台可在纳米尺度上对样品和测试设备进行电学表特征：1、快速、精确、稳定微纳探针台包含4个压电三轴探针臂，每个三轴配备1个可拆卸式电学探针接口，可在毫米级尺度上进行宏观运动并实现纳米尺度上的微观运动。2、使用场景多样化微纳探针台结构紧凑，占用空间小，运动行程大，可匹配各种显微镜样品台，真空室，光学试验台等工作条件。3、完善的技术解决方案微纳探针台与尼康金相显微镜/SR-Scopel集成形成的探针台电学测量系统，为宏观行程上进行的微观尺度电学及表征测量提供了具体的解决方案。4、直观、方便微纳探针台通过手柄控制，具有多级宏观调速，脉冲运动，以及位移微调功能，宏观运动速度跨度在5um/s~2mm/s，单点脉冲步进可达300nm以下，微调运动分辨率小于1nm，在显微镜下操作更直观，方便，精细。5、高度集成微纳探针台电学测量系统，配备完善的光学显微镜模块，配备亮度调节，增益和变焦等功能，与电脑连接后，可实现图像快照，尺寸测量和标注，视频记录等常规功能。 双面点针探针台可用于晶圆和PCB板测试，用于需要正面和背面同时扎针，以实现各种光/电性能测试需求。PIV测试探针台维修

探针台是一种辅助执行机构，测试人员把需要量测的器件放到探针台载物台（chuck）上，在显微镜配合下，X-Y移动器件，找到需要探测的位置。接下来测试人员通过旋转探针座上的X-Y-Z的三向旋钮，控制前部探针（射频或直流探针），精细扎到被测点，从而使其讯号线与外部测试机导通，通过测试机测试人员可以得到所需要的电性能参数。探针台工作环境，探针台应放在坚固稳定的台面上，如地基有震动的情况，需要配置主动防震装置，避免在高温、潮湿、激烈震动、阳光直接照射和灰尘较多的环境下使用。使用比较好温度范围为5℃～40℃，比较好湿度是40%到85%，空气中之湿度若低于30%以下，可靠湿度控制器予以控制，使维持50%～60%之范围。使用时门窗尽可能关闭，使室内达到除湿效果    。使用电源：220V，50HzGaAs探针台维修平面电机x-y步进工作台的维护与保养。

低温探针台是用来无损检测样品的电性能，用于半导体、微电子、固体物理、超导等研究冷域，是研究材料的电阻率、磁电阻等各种物理特性的有力工具。稳定、可靠、方便的改变在很低的真空和温度下对器件和电路的探测。内置振动隔离，智能热管理，使用低排放的材料，先进的密封性，使该系统非常适合一系列需要更好的真空水平的应用，如石墨烯的研究，分子电子学等的，系统采用闭式循环制冷机和专有的热管理，可以经济快速的操作。内置的隔振小化振动符合行业标准。超稳定的微操纵满足设备探针的准确和可重复的接触。低温探针台集成系统有以下特点：1、在真空探针台下进行完整的霍尔效应测试的系统。2、支持一系列直流条件下霍尔效应测试。3、变温范围10k-400k，采用闭循环制冷机制冷，不需要消耗制冷剂。4、包含8400软件，可以做简单的系统操作、数据采集和分析。5、支持多载流子分析数据导出。

手动探针台的使用方式：1.将样品载入真空卡盘，开启真空阀门控制开关，使样品安全且牢固地吸附在卡盘上。2.使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台，在显微镜低倍物镜聚焦下看清楚样品。3.使用卡盘X轴/Y轴控制旋钮移动卡盘平台将样品待测试点移动至显微镜下。4.显微镜切换为高倍率物镜，在大倍率下找到待测点，再微调显微镜聚焦和样品x-y，将影像调节清晰,带测点在显微镜视场中心。5.待测点位置确认好后,再调节探针座的位置,将探针装上后可眼观先将探针移到接近待测点的位置旁边,再使用探针座X-Y-Z三个微调旋钮,慢慢的将探针移至被测点,此时动作要小心且缓慢，以防动作过大误伤芯片，当探针针尖悬空于被测点上空时，可先用Y轴旋钮将探针退后少许，再使用Z轴旋钮进行下针，***则使用X轴旋钮左右滑动，观察是否有少许划痕，证明是否已经接触。6.确保针尖和被测点接触良好后，则可以通过连接的测试设备开始测试。电路板各通道及载体高频高速测试。

    根据新思界产业研究中心发布的《2022-2026年中国半导体探针台行业市场深度调研及发展前景预测报告》显示，中国探针台市场和全球相似，在2020年受到行情影响，半导体芯片出货量略有下降，探针台市场规模同比上年减少了10%左右。但随着行情得到控制，在人工智能大背景下，半导体芯片出货量增长，探针台市场规模回升，预计到2022年达到16亿元。探针台行业具有较高的技术壁垒，在全球中市场呈现高度集中趋势，东京精密和东京电子垄断市场，二者占比高达74%左右。在国内市场，以上两家企业占比高达68%左右本土企业占比32%。我国也有企业布局在探针台领域，且技术不断创新，已取得实质性突破。 按照操作方式来划分成：手动探针台、半自动探针台、全自动探针台。浙江PIV测试探针台

探针台搭配网络分析仪进行测试。PIV测试探针台维修

手动探针台的维护和保养1.避免碰撞：在安装，操作CS探针台时应避免碰撞，机体放置需平坦，不可倾斜或横倒，避免机器发生故障或异常异音。2.仪器的运输：仪器运输时，请先拔掉电源线插头。仪器运输应使用专门的包装箱，避免碰到探针台的任何运动部件。3.仪器的存放使用完后需要注意保持清洁，尽量把灰尘吹干尽，以免灰尘将机械精密部件，光学部件，电学接触面污染，导致仪器精度降低。探针台机体清洁时，避免直接泼水清理，以无尘布轻轻擦拭并吹干即可。不可用硬物接触机器，以免发生故障或危险。探针台光学部件清洁时，可用镜头纸蘸无水酒精从中间向外轻轻的擦拭。无水酒精时易燃物，注意使用安全。停电或长期不用、外出旅行时，请将电源线插头拔掉以维护机器寿命。操作人员必须严格按要求操作，以保证数据的准确和仪器的正常使用。4.工作环境探针台应放在稳定可靠的台面上，比较好是具有防震装置的工作台上，避免在高温，潮湿激烈震动，阳光直接照射和灰尘较多的环境下使用。使用比较好温度范围为5℃～40℃，比较好湿度是40%到85%，空气中之湿度若低于30%以下，可靠湿度控制器予以控制，使维持50%～60%之范围。使用时门窗尽可能关闭PIV测试探针台维修

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