LFS-3传感器在三个轴上测量水平和垂直加速度,频率约为0.2Hz。该传感器直接放置在地板上,与标准AVI/LP系统结合使用在前馈回路中,以提高极低频时的隔振性能。LFS-3可以被复装到现有的AVI/LP系统中。下面的图显示了在AVI/LP系统上测量的垂直和水平隔离(可传输性),其具有和不具有LFS。用AVI-200S/LP进行测量,增益设置为128(V)和150(H)。输入电压:115/230VAC,50-60Hz功耗:蕞大20瓦频率范围:0.2-20Hz尺寸传感器:255x245x107mm(长x宽x高)电源尺寸:265x155x73mm(长x宽x高)重量传感器:5.9kg供电重量:1.6kg应用:室内防护等级:IP20温度范围:5°C-40°C相对湿度:10–90%(5–30°C)测振传感器不断监测振动,制动器根据这些信号产生反向力,以保持蕞佳隔振状态。AVI-200SLP隔振台有谁在用
1、使用2mm内六角扳手(包括在内)拆下模块端板。2、根据扫描电镜的重量调整模块。在每个中心柱上的横梁上方和下方应该有一个间隙,允许每侧大约有2mm的行程。B、使用M6活动扳手(包括)转动位于支撑弹簧顶部的调整螺母。向右转动扳手可降低模块并增加上部间隙(在中间止动螺母和横撑之间)。向左转动扳手可升高模块并减小上部间隙。C、计算每个螺母的圈数;尽可能均匀地调整所有螺母。并非所有中心柱上的间隙都完全相同。D、不要转动螺母太远,否则可能损坏系统。在任何情况下,外露螺纹不得超过10mm3.装回模块上的端板瑞士隔振台干扰仪防震台应用AVI 200-M的基本配置包括两个单个承载模块和一个控制单元,ZUI大可以负载400公斤。
AVI400-SAVI400-S的基本配置包括两个紧凑型单元和一个控制单元,最大负载为800公斤。通过增加紧凑型模块的数量,可以轻松实现对更高负载的支持。为了使AVI400-S适应用户特定的应用,可以使用不同长度的紧凑型装置。AVI400-S的隔离始于1,2Hz,超过10HZ以上迅速增加至35db减少低频谐振可得到比普通的被动空气阻尼系统更好的性能AVI400-S系统固有的刚性赋予其出色的方向性和位置稳定性AVI400-S的出色性能包括所有六个方向水平和垂直振动模式AVI400-S紧凑型装置不需要任何大型安装工具。我们努力提供一种简单,友好的概念-因此,在装置上放置沉重的设备(例如SEM)时,避免了任何复杂的过程。技术指标:频率:1,2-200Hz负载范围:0-800公斤(单个):400公斤
AVI-600系列(负载:1200kg)型号:AVI-600SLP,AVI-600MLP,AVI-600XLP形状:控制器与防振单元分离型主动控制范围:被动隔振范围200Hz以上确认防振状态:使用控制器背面的BNC连接器,外部连接,前面的8个LED指示防振状态单位尺寸:288×396×288×720×318×856×控制器尺寸;448x286x143毫米承重:1200kg(相等)单位重量:约20kg,约26kg,联络我们电源电压:95-240VAC,50-60赫兹耗电量:正常27W工作温度范围:5℃〜40℃工作湿度范围:10〜90%(5〜30℃)・10〜60%(30〜40℃)可选零件(1)装载板,石板,铸铁板*另行咨询。选装(2)高刚性支架或高阻尼高刚性支架*单独咨询AVI 200-M的基本配置包括两个单个承载模块和一个控制的单元,蕞大可以负载400公斤。
LFSLFS传感器在三个轴上测量水平和垂直加速度,直到频率约为0.2Hz。该传感器直接放置在地板上,并与标准AVI/LP系统结合使用在前馈环路中,以提高非常低频率的振动隔离。LFS可以改装为现有的AVI-LP系统。LFS-3的设计、制造和测试均符合测量和控制设备的安全规定,并满足EEC指令73/23的相关要求。系统符合EEC指令89/336(电磁兼容性)每个单独的AVI元件必须连接到传感器后部的D-Sub15插座之一。LFS的实际位置并不重要,但它当然必须放置在支持AVI单元的同一表面上。将AVI单元的上D-Sub15插座(诊断插座)连接到传感器。Table Stable通过在发展主动隔振系统的同时补充了被动系统。减震台隔振台联系电话
Herz 防震台/防振台是世界上蕞只名的防震台/防振台系统方案供应商之一。AVI-200SLP隔振台有谁在用
5、模块将放置在脚轮板下。将AVI模块滑到后倾角板下,使模块从一侧到另一侧(而不是从前到后)横跨立柱底面。将它们尽量放在外侧,不要碰到腿的侧壁。如果您安装的是EVO、Supra25–55、Ultra55或Neon40,则每个隔离模块的宽度为7.5英寸。在这种情况下,每个模块上的电缆端口应朝内,相互朝向。如果您安装的是Supra60/VP、Ultra60或PLUS、Neon60或NVision40,则每个隔离模块的宽度为11.3英寸。在这种情况下,每个模块上的电缆端口应朝外,彼此远离。6、再次在AVI模块顶部滑动第二个安装板,前后各27.5英寸,两侧各27英寸,在扫描电镜脚轮板下方居中。重新连接时,确保AVI模块和安装板都不会与扫描电镜侧板接触。确保AVI模块和安装板都不与前端或后端的扫描电镜支架接触。7、系统就位后,使用扫描电镜水平尺降低扫描电镜,直到其落在安装板上。抬起水平尺,直到它们向上并离开。AVI-200SLP隔振台有谁在用
岱美仪器技术服务(上海)有限公司成立于2002-02-07,同时启动了以EVG,Filmetrics,MicroSense,Herz,Film Sense,Polyteknik,4D,Nanotronics,Subnano,Bruker,FSM,SHB,ThetaMetrisi为主的半导体工艺设备,半导体测量设备,光刻机 键合机,膜厚测量仪产业布局。是具有一定实力的仪器仪表企业之一,主要提供半导体工艺设备,半导体测量设备,光刻机 键合机,膜厚测量仪等领域内的产品或服务。同时,企业针对用户,在半导体工艺设备,半导体测量设备,光刻机 键合机,膜厚测量仪等几大领域,提供更多、更丰富的仪器仪表产品,进一步为全国更多单位和企业提供更具针对性的仪器仪表服务。值得一提的是,岱美中国致力于为用户带去更为定向、专业的仪器仪表一体化解决方案,在有效降低用户成本的同时,更能凭借科学的技术让用户极大限度地挖掘EVG,Filmetrics,MicroSense,Herz,Film Sense,Polyteknik,4D,Nanotronics,Subnano,Bruker,FSM,SHB,ThetaMetrisi的应用潜能。