本发明涉及光学测量领域，并且特别地，涉及一种激光位移传感器；光学传感器是依据光学原理进行测量的仪器，这类传感器有许多优点，例如，能够实现非接触和非破坏性测量、测量几乎不受干扰、能够实现高速传输以及可遥测、遥控、可实时处理等优点。光学传感器包括很多类型，其中，以激光三角法为基本原理的激光位移传感器是一种利用激光为光源、将CMOS(ComplementaryMetalOxideSemiconductor，互补金属氧化物半导体)或者CCD(Charge-coupledDevice，电荷耦合元件)传感器作为接收器的精密测量仪器。这种传感器能够在非接触的情况下精确测量被测物体的位置、位移等变化，并且能够被应用于检测物体的位移、厚度、振动、距离、直径等几何量的测量。高精度激光位移传感器的响应速度非常快，能够实时监测目标物体的位移变化。国内激光位移传感器24小时服务
如权利要求4所述的激光位移传感器检验校准装置，其特征在于：所述电子测量仪包括一电子千分表以及一千分表夹持装置；所述电子千分表夹持在所述千分表夹持装置上，所述千分表夹持装置一端抵接于所述延伸部，另一端抵接于所述横向蜗杆上。如权利要求1所述的激光位移传感器检验校准装置，其特征在于：所述传感器夹持装置包括一纵向螺杆以及一夹持器；所述夹持器套设在所述纵向螺杆上，所述激光位移传感器夹持在所述夹持器上。aaaaaaaaa宁德激光位移传感器量大从优光谱共焦位移传感器是一种高精度的光学测量仪器，能够实现非接触式的表面形貌测量。
在感光元件的多个感光单元的主要排列方向为子弧矢向的情况下，成像物镜本身的MTFS＞MTFT、或者在感光元件的多个感光单元的主要排列方向为子午方向的情况下，成像物镜本身的MTFT＞MTFS，使得解析结果满足条件；和/或在成像物镜前和/或在成像物镜后加入能够引入像散的光学元器件，并且配合微调所述成像物镜与所述感光元件之间的相对距离使得解析结果满足条件。反光元件，反光元件设置在成像物镜的出射光路上，成像物镜的出射光经反光元件反射后，入射到感光元件。
要想在工作范围内得到好的光斑质量，可采用柱面镜或非球面实现，另外波前编码和切趾法在延拓焦深方面也有很好的效果[3，4]，但这样的光学系统相对较复杂，元件较多，不宜装调，成本也会增长。因此，在精度允许的情况下，可考虑全部采用球面镜，不考虑焦深延拓，用变倍的方法实现在40、45、50、55、60mm物距处光斑大小尽量均匀一致。根据光谱分布，设定中心波长权重为3，边缘波长权重为1。要消掉少量的色差，系统至少需要两片镜片。根据以上要求选定了一个初始结构，经过优化得到以下best设计结果。图2为优化后的镜头结构(像距在50mm处)。表1为effective工作范围内轴上视场的光斑大小分布。激光位移传感器在半导体行业的应用案例。
带通滤光片，设置于成像物镜的入射光路上。聚焦透镜，设置于激光器的出射光路上。可选地，上述感光元件为线阵感光元件，线阵感光元件的多个感光单元沿直线排列，该直线的延伸方向为多个感光单元的主要排列方向。上述也可以是感光元件为面阵感光元件，面阵感光元件包括以矩形排列的多个感光单元，面阵感光元件的长边延伸方向为多个感光单元的主要排列方向。此外，上述成像物镜可以为单一镜片，且成像物镜的物侧面和像侧面皆为非球面；或者，成像物镜为多个透镜组成的透镜组。使用三角测量原理的位移传感器时，需要根据目标物的表面状态倾斜安装传感头，以确保可适当接收反射光。国内激光位移传感器24小时服务
激光位移传感器在3C电子行业中的应用案例。国内激光位移传感器24小时服务
在一个实施例中，上述感光元件7可以为线阵CCD感光芯片，或者也可以是线阵CMOS感光芯片。在线阵CCD感光芯片或线阵CMOS感光芯片中，包括线形排列的多个感光单元，通常为直线排列，该直线的延伸方向为感光单元的主要排列方向，这些感光单元沿着水平方向(弧矢方向)排列。由于感光单元为直线状排列，因此，长条形光斑可增加与像元之间的接触面积，可降低机械器件形变对所述激光位移传感器信噪比的影响。[0045]在其他实施例中，上述感光元件7可以是面阵CCD感光芯片或面阵CMOS感光芯片。面阵CCD感光芯片或面阵CMOS感光芯片包括排列为矩形的多个感光单元，矩形的长边沿着水平方向(弧矢方向)延伸，短边沿着竖直方向(子午方向)延伸，其长边的延伸方向即为感光单元的主要排列方向。这样，长条形光斑同样更加容易地被面阵CCD感光芯片或CMOS感光芯片接收到。国内激光位移传感器24小时服务
