在半导体微芯片封装中，微波等离子体清洗和活化技术被应用于提高封装模料的附着力。这包括“顶部”和“倒装芯片底部填充”过程。高活性微波等离子体利用氧自由基的化学功率来修饰各种基底表面：焊料掩模材料、模具钝化层、焊盘以及引线框架表面。这样就消除了模具分层问题，并且通过使用聚乙烯醇的等离子体，不存在静电放电或其他潜在有害副作用的风险。封装器件（如集成电路（ic）和印刷电路板（pcb））的去封装暴露了封装的内部组件。通过解封装打开设备，可以检查模具、互连和其他通常在故障分析期间检查的特征。器件失效分析通常依赖于聚合物封装材料的选择性腐蚀，而不损害金属丝和器件层的完整性。这是通过使用微波等离子体清洁去除封装材料实现的。等离子体的刻蚀性能是高选择性的，不受等离子体刻蚀工艺的影响。等离子表面处理也叫等离子清洗机(plasma cleaner)，或者等离子表面处理仪，是一种全新的高科技技术。贵州半导体封装等离子清洗机技术指导
大气等离子清洗机，适用于各种平面材料清洗，广泛应用于3C消费电子行业，有效提高增强产品表面附着力，提高粘接、点胶、贴合质量，提高产品良率。SPV-100 真空等离子清洗机，气体通过激励电源离化成等离子态，等离子体作用于产品表面，有效提高产品表面活性，增强附着性能。✅产品冶具灵活多变，适应不规则产品✅水平电极设计，满足软性产品处理需求✅低耗能、耗气产品✅真空系统集成，占地面积小✅合理的等离子反应空间，处理更均匀✅集成的控制系统设计，使操作更方便北京国产等离子清洗机生产企业等离子表面处理技术主要应用于手机组装粘接前、中框粘接前、摄像头模组封装前、手机触摸屏等工艺中。
等离子清洗机原理：通过化学或物理作用对物体表面进行处理，实现分子水平的污染物去除（一般厚度为3-30nm），从而提高物体表面活性。污染物可能会是有机物、环氧树脂、光刻胶、氧化物、微颗粒污染物等。对应不同的污染物，应采用不同的清洗工艺，根据选择的工艺气体不同，等离子清洗分为：化学清洗：表面反应以化学反应为主的等离子体清洗，又称PE。物理清洗：表面反应以物理反应为主的等离子体清洗，也叫溅射腐蚀（SPE）。物理化学清洗：表面反应中物理反应与化学反应均起重要作用。
等离子清洗能否去除杂质和污染？原则上等离子清洗是不能去除大量的杂质的污染物。低压等离子清洗机是一种经济的表面处理方式，一致性好,完全安全,干净。只从处理部分去除表面的污染物，不影响其它部分材料属性。等离子体处理过程在电路板行业被广使用,。等离子体处理比其他表面清洗技术提供了重要的优势。它适用于大范围的材料(金属、塑料、玻璃、陶瓷等)。它是环保的选择。等离子体清洗不需要有害化学溶剂。节约成本，可不需要解决其他处理方法对环境危害的问题。氧气体通常是一个合适的气体。溶剂处理后会留下剩余物，等离子清洗能够提供一个完全无残留的产品。处理消除了脱模剂、抗氧化剂、碳残留物,油,和所有种类的有机化合物。汽车LED灯经过等离子清洗机表面处理后，其粘接力会得到提升。
封装过程中的污染物，可以通过离子清洗机处理，它主要是通过活性等离子体对材料表面进行物理轰击或化学反应来去除材料表面污染，但射频等离子技术因处理温度、等离子密度等技术因素，已无法满足先进封装的技术需求，因此，更推荐大家使用微波等离子清洗技术~微波等离子清洗机的优势处理温度低于45℃：避免对芯片产生热损害等离子体不带电：对精密电路无电破坏。在芯片封装工艺中，芯片粘接/共晶→引线焊接→封装→Mark等工艺环节，均推荐使用微波等离子清洗机，无损精密器件、不影响上道工艺性能，助力芯片封装质量有效提升。在线式等离子清洗机的清洗过程是在真空环境中进行的，不会对人体和环境产生污染。四川晶圆等离子清洗机技术参数
等离子体是物质的一种状态，也叫做物质的第四态，并不属于常见的固液气三态。贵州半导体封装等离子清洗机技术指导
小型等离子清洗机，作为一种高效且环保的表面处理技术设备，在现代工业生产中越来越受到青睐。它采用等离子体技术，通过激发气体产生大量高能粒子，这些粒子与材料表面发生物理和化学反应，从而有效去除表面的有机物、无机物及微粒等污染物。与传统的大型清洗设备相比，小型等离子清洗机具有体积小、重量轻、便于携带和移动的优点。同时，它还具有清洗速度快、效果好、对材料表面无损伤等特点。此外，小型等离子清洗机在操作过程中无需使用化学溶剂，因此不会产生有害物质，符合绿色环保的生产要求。小型等离子清洗机的主要技术在于等离子体的产生和控制。通过优化电极结构、调整气体成分和比例、控制电源参数等手段，可以实现等离子体的稳定产生和高效清洗。同时，设备还配备了先进的控制系统和监测装置，确保清洗过程的稳定性和可靠性。贵州半导体封装等离子清洗机技术指导
