在芯片封装技术中,等离子体清洗已成为提高成品率的必由之路。先进的倒装芯片设备在市场上越来越突出,微波等离子体工艺在穿透模具下面的微小间隙方面。所有表面,无论模具下的体积大小,都被完全调节。达因特生产的等离子体清洗机都能很好的处理,提供粘合性和显著提高的粘附速度。适用范围远远超出20x20毫米和50微米凸起的模具尺寸。用于显示器制造的大型基板的均匀等离子体清洗需要一个可扩展的系统概念。等离子体系统正是为这类应用而设计的,能够提供快速、均匀的清洗或剥离效果。等离子体过程得益于高的自由基浓度和等离子体密度以及低的过程诱导加热。良好的均匀性对于在单个基板上保持良好的过程控制以及运行到运行的重复性至关重要。封装过程中的污染物,可以通过等离子清洗机处理。江苏半导体封装等离子清洗机技术指导
半导体芯片作为现代电子设备的组成部分,其质量和可靠性对整个电子行业至关重要。Die Bonding是将芯片装配到基板或者框架上去,基板或框架表面是否存在有机物污染和氧化膜,芯片背面硅晶体的浸润性等均会对粘接效果产生影响,传统的清洗方法已经无法满足对芯片质量的要求。使用微波plasma等离子清洗机处理芯片表面能有效地清洁并改善表面的浸润性,从而提升芯片粘接的效果。微波是指频率在300MHz-300GHz之间的电磁波,波长约1mm-1m,具有机动性高、工作频宽大的特性,使用微波发生器配1.25KW电源产生微波将微波能量馈入等离子腔室内,使微波能量在低压环境下形成等离子体。安徽低温等离子清洗机性能射频电源的频率直接决定了电场变化的速率,进而影响等离子体的生成和特性。
相较于其他表面处理技术,等离子粉体表面改性技术有优势有:表面活化改性投入较小,处理温度低,操作简单,经济实用,不污染环境,可连续生产,操作简单。什么是低温等离子体:低温等离子体包含热等离子体和冷等离子体。高温等离子体主要利用等离子体的物理特征,由于高温等离子体的电子温度和气体温度达到平衡,不仅电子温度高,重粒子温度也很高。低温等离子体技术则利用其中的高能电子参与形成的物理,化学反应过程,通过这些物理化学过程可以完成许多普通气体及高温等离子体难以解决的问题。等离子对物体表面作用主要包括两个方面:一是对物体表面的撞击作用;另一方面是通过大量的电子撞击引起化学反应。大气环境下获得均匀稳定的低温等离子体处理且能够连续生产。目前,在粉体改性领域应用较多的是低温等离子体技术。等离子体处理是利用表面产生的活性自由基引发表面化学反应,使材料表面具有短时间的可粘接性。改变粉体材料表面结构,改善粉体的分散性和润湿性,亲水性,表面能等。
芯片在引线框架基板上粘贴后,要经过高温使之固化。如果芯片表面存在污染物,就会影响引线与芯片及基板间的焊接效果,使键合不完全或粘附性差、强度低。在WB工艺前使用等离子处理,可以显著提高其表面附着力,从而提高键合强度及键合引线的拉力均匀性,提升WB工艺质量。在FlipChip(FC)倒装工艺中,将称为“焊球(SolderBall)”的小凸块附着在芯片焊盘上。其次,将芯片顶面朝下放置在基板上,完成芯片与基板的连接后,通常需要在在芯片与基板之间使用填充胶进行加固,以提高倒装工艺的稳定性。通过等离子清洗可以改善芯片和基板表面润湿性,提高其表面附着力,进而影响底部填充胶的流动性,使填充胶可以更好地与基板和芯片粘结,从而达到加固的目的,提高倒装工艺可靠性。等离子处理可以有效地去除内饰件表面的有机污染物,并生成活性基团,达到清洁和活化的双重效果。
随着半导体技术的不断发展和市场需求的不断增长,半导体封装等离子清洗机在未来将迎来更加广阔的发展前景。首先,在技术方面,随着等离子体物理、化学和工程等学科的深入研究和发展,等离子清洗机的技术性能将得到进一步提升。例如,通过优化等离子体发生器的结构和参数,可以提高等离子体的稳定性和均匀性;通过引入先进的控制系统和算法,可以实现更精确的清洗过程控制。其次,在应用方面,随着半导体封装技术的不断进步和新产品的不断涌现,等离子清洗机的应用领域将进一步扩大。例如,在先进封装技术中,等离子清洗机将发挥更加重要的作用;在新兴领域如物联网、人工智能等中,等离子清洗机也将有更广泛的应用空间。等离子清洗机是解决PECVD工艺石墨舟残留氮化硅问题的有效手段。福建宽幅等离子清洗机生产企业
等离子表面处理技术可以活化材料表面,提高材料的附着力,使电镀、喷涂、印刷、点胶等工艺,效果更加优异。江苏半导体封装等离子清洗机技术指导