光刻胶的去除在IC制造工艺流程中占非常重要的地位,其成本约占IC制造工艺的20-30%,光刻胶去胶效果太弱影响生产效率,去胶效果太强容易造成基底损伤,影响整个产品的成品率。传统主流去胶方法采用湿法去胶,成本低效率高,但随着技术不断选代更新,越来越多IC制造商开始采用干法式去胶,干法式去胶工艺不同于传统的湿法式去胶工艺,它不需要浸泡化学溶剂,也不用烘干,去胶过程更容易控制,避免过多算上基底,提高产品成品率。干法式去胶又被称为等离子去胶,其原理同等离子清洗类似,主要通过氧原子核和光刻胶在等离子体环境中发生反应来去除光刻胶,由于光刻胶的基本成分是碳氢有机物,在射频或微波作用下,氧气电离成氧原子并与光刻胶发生化学反应,生成一氧化碳,二氧化碳和水等,再通过泵被真空抽走,完成光刻胶的去除。等离子物理去胶过程:主要是物理作用对清洗物件进行轰击达到去胶的目的,主要的气体为氧气、氩气等,通过射频产生氧离子,轰击清洗物件,以获得表面光滑的较大化,并且结果是亲水性增大。等离子清洗机可以用于活化不锈钢片表面,提高材料表面活性,提高润湿性和表面附着力,解决粘接不良的问题。重庆低温等离子清洗机生产企业
随着科技的进步和市场需求的变化,Plasma封装等离子清洗机也在不断进行技术创新和升级。一方面,为了提高处理效率和效果,研究人员正在探索更高频率、更高能量的等离子体产生技术,以及更优化的工艺气体组合和反应条件。另一方面,为了满足不同行业、不同材料的需求,Plasma封装等离子清洗机正在向多功能化、智能化方向发展。例如,通过集成传感器和控制系统,实现对清洗过程的实时监测和自动调节;通过开发软件和算法,实现对不同材料、不同污染物的准确识别和高效处理。此外,随着环保意识的提高和绿色生产理念的普及,Plasma封装等离子清洗机在设计和制造过程中也将更加注重环保性能,采用低能耗、低排放的设计理念和技术手段。贵州宽幅等离子清洗机产品介绍大气等离子清洗机,适用于各种平面材料清洗,在动力电池领域,可搭配旋转头使用。
随着集成电路技术的发展,半导体封装技术也在不断创新和改进,以满足高性能、小型化、高频化、低功耗、以及低成本的要求。等离子处理技术作为一种高效、环保的解决方案,能够满足先进半导体封装的要求,被广泛应用于半导体芯片DB/WB工艺、Flip Chip (FC)倒装工艺中。芯片键合(DieBonding)是指将晶圆上切割下来的单个芯片固定到封装基板上的过程。其目的在于为芯片提供一个稳定的支撑,并确保芯片与外部电路之间的电气和机械连接。常用的方法有树脂粘结、共晶焊接、铅锡合金焊接等。在点胶装片前,基板上如果存在污染物,银胶容易形成圆球状,降低芯片粘结度。因此,在DB工艺前,需要进行等离子处理,提高基板表面的亲水性和粗糙度,有利于银胶的平铺及芯片粘贴,提高封装的可靠性和耐久性。在提升点胶质量的同时可以节省银胶使用量,降低成本。
塑料制品基本材料主要为聚丙烯(PP)、聚已烯(PE)、聚氣乙烯(PVC)、聚酯(PET)等,其表面特性因分子结构基材的极性基团,结晶程度和塑料的化学稳定性等不同而有很大的差异,这些因素对印刷油墨层的粘附牢度影响很大。对属于极性结构的PS(聚苯乙烯)、PVC,印刷前不雪要做表面预处理,但对于其表面结构是非极性的PP、PE、PET等,其化学稳定性极高,不易被大多数油墨溶剂所渗透和溶解,与油墨印刷的结合牢度很低,所以在印刷之前必须经过等离子体表面处理,使塑料表层活化生成新的化学键使表面粗化,从而提高油墨与塑料表面的结合粘附牢度;同时制造某些粒料过程中,按不同要求掺入了一定数量的助剂,附加剂,下开口剂,当吸膜定型后,这些助剂就浮在材料表面,形成肉眼看不见油层,这些油层对印刷是完全不利的,它使塑料表面不易粘合,附着力下降,当等离子体与塑料表面相遇时,产生了清洁、活化、刻蚀作用,表面得到了清洁,去除了碳化氢类污物,如油脂、辅助添加剂等,根据材料成分,其表面分子链结构得到了改变。建立了羟基、羧基等自由基团,这些基团对各种涂敷材料具有促进其粘合的作用,在粘合和油漆应用时得到了优化。等离子清洗机能够有效地清洁涤纶织物表面,去除污渍和残留物,保证印花色彩的清晰度和鲜艳度。
片式真空等离子清洗机针对半导体行业,DB/WB工艺、RDL工艺、Molding工艺、FlipChip(FC)倒装工艺等,能够大幅提高其表面润湿性,保证后续工艺质量,从而提高封装工艺的可靠性。设备优势:1.一体式电极板结构设计,等离子体密度高,均匀性好,处理效果佳2.双工位处理平台,四轨道同时上料,有效提升产能3.可兼容多种弹匣尺寸,可自动调节宽度,提升效率并具备弹匣有无或装满报警提示功能4.工控系统控制,一键式操作,自动化程度高。行业应用:1.金属键合前处理:去除金属焊盘上的有机污染物,提高焊接工艺的强度和可靠性2.LED行业:点银胶、固晶、引线键合前、LED封装等工序中可提高粘和强度,减少气泡,提高发光率3.PCB/FPC行业:金属键合前、塑封前、底部填充前处理、光刻胶去除、基板表面活化、镀膜,去除静电及有机污染物等离子清洗机是一种环保高效的表面处理设备,通过激发气体产生等离子态,去除材料表面污染物。安徽宽幅等离子清洗机作用
等离子清洗机还可以改善密封性和隔音效果,降低后序加工难度和成本,为汽车制造业带来明显的效益。重庆低温等离子清洗机生产企业
操作等离子清洗机时,首先需要根据待处理材料的性质和清洁要求,选择合适的清洗气体和工艺参数。接下来,将待处理材料放置在清洗室内,并关闭室门以确保清洗环境的密闭性。随后,启动电源,使清洗室内产生等离子体。在等离子体的作用下,材料表面逐渐被清洁和改性。此过程中,需要密切监控清洗室内的温度、压力、气体流量等参数,以确保清洗效果的稳定性和一致性。清洗完成后,关闭电源,待清洗室内恢复常温常压后,方可打开室门取出材料。在操作过程中,还需注意以下几点:一是确保清洗室内的清洁度,避免引入新的污染源;二是选择合适的清洗时间和功率,避免过度清洗导致材料表面损伤;三是注意操作安全,避免直接接触高压电源和高温部件。重庆低温等离子清洗机生产企业