光刻胶的去除在IC制造工艺流程中占非常重要的地位，其成本约占IC制造工艺的20-30%，光刻胶去胶效果太弱影响生产效率，去胶效果太强容易造成基底损伤，影响整个产品的成品率。传统主流去胶方法采用湿法去胶，成本低效率高，但随着技术不断选代更新，越来越多IC制造商开始采用干法式去胶，干法式去胶工艺不同于传统的湿法式去胶工艺，它不需要浸泡化学溶剂，也不用烘干，去胶过程更容易控制，避免过多算上基底，提高产品成品率。干法式去胶又被称为等离子去胶，其原理同等离子清洗类似，主要通过氧原子核和光刻胶在等离子体环境中发生反应来去除光刻胶，由于光刻胶的基本成分是碳氢有机物，在射频或微波作用下，氧气电离成氧原子并与光刻胶发生化学反应，生成一氧化碳，二氧化碳和水等，再通过泵被真空抽走，完成光刻胶的去除。等离子物理去胶过程:主要是物理作用对清洗物件进行轰击达到去胶的目的，主要的气体为氧气、氩气等，通过射频产生氧离子，轰击清洗物件，以获得表面光滑的较大化，并且结果是亲水性增大。利用等离子体反应特性能够高效去除表面污染层，包括有机物、无机物、氧化物等，同时不会对表面造成损伤。福建低温等离子清洗机服务电话
片式真空等离子清洗机针对半导体行业，DB/WB工艺、RDL工艺、Molding工艺、FlipChip(FC)倒装工艺等，能够大幅提高其表面润湿性，保证后续工艺质量，从而提高封装工艺的可靠性。设备优势：1.一体式电极板结构设计，等离子体密度高，均匀性好，处理效果佳2.双工位处理平台，四轨道同时上料，有效提升产能3.可兼容多种弹匣尺寸，可自动调节宽度，提升效率并具备弹匣有无或装满报警提示功能4.工控系统控制，一键式操作，自动化程度高。行业应用：1.金属键合前处理：去除金属焊盘上的有机污染物，提高焊接工艺的强度和可靠性2.LED行业：点银胶、固晶、引线键合前、LED封装等工序中可提高粘和强度，减少气泡，提高发光率3.PCB/FPC行业：金属键合前、塑封前、底部填充前处理、光刻胶去除、基板表面活化、镀膜，去除静电及有机污染物山西低温等离子清洗机用途等离子表面处理技术可以保障处理面效果均匀，从而提高材料的表面质量和一致性。
目前，在汽车发动机领域，油底壳与曲轴箱、曲轴箱与缸体等密封面通常采用硅胶密封，这些硅胶密封面常因残留有机物(如珩磨油、切削液、清洗液等)造成硅胶的附着力不足，从而导致密封失效，发动机漏油。目前的常规工艺为涂胶前对涂胶面进行人工擦拭，而人工擦拭存在诸多缺点，无法达到清洁的要求。等离子清洗机的应用能够很好地解决这些问题，目前已经应用到光学行业、航空工业、半导体业等领域，并成为关键技术，变得越来越重要。等离子清洗机发动机涂胶面上的应用：发动机涂胶面残留的有机物薄膜，通常为碳氢氧化合物(CHO,);等离子清洗的过程如下:将压缩空气电离成低温等离子体，通过喷枪喷射到涂胶表面，利用等离子体(主要利用压缩空气中的氧气作为反应气体)对有机物的分解作用，将涂胶表面残留的有机物进行分解，以达到清洁目的。反应过程主要有两种:第一种化学反应，将压缩空气电离后获得大量氧等离子体:氧等离子体与有机物作用，把有机物(CHO,)分解成二氧化碳和水,CHyOz+O*→H20+CO2,二种是物理反应，压缩空气电离成等离子体后，等离子体内的高能粒子以高能量、高速度轰击涂胶面表面，使分子分解。
等离子清洗机通过使用物理或化学方法，可以有效地清洁、活化或改性材料表面。对于陶瓷基板，等离子清洗的主要作用是去除表面的污垢、氧化物、层间介质等杂质，同时通过活化表面，提高其润湿性和粘合性。陶瓷基板处理后的主要优势：1. 增强耐高温性能：等离子清洗处理能够去除陶瓷基板表面的污染物和氧化物，从而减少在高温环境下的热应力，提高耐高温性能。2. 提高导电性：通过等离子清洗处理，可以在陶瓷基板表面引入导电物质，从而使其具有一定的导电性。这在需要电磁屏蔽或电绝缘的场合具有重要应用。3. 增加生物相容性：通过等离子清洗处理，可以在陶瓷基板表面引入生物活性物质，使其具有更好的生物相容性，可用于生物医学领域，如人工关节、牙种植体等等离子体在处理固体物质的时候，会与固体物质发生两种发应：物理反应、化学反应。
随着汽车行业标准的逐渐提高，消费者购车时对车辆的外观、内饰、智能化的要求也随之提高。新的需求推动了新技术和新材料的应用，目前，等离子处理技术正被积极应用在汽车内外饰行业中，该技术通过高密度的等离子体对材料表面进行表面清洗活化和改性处理，提升材料的表面性能，从而提高内外饰件粘接、贴合、植绒等工艺段质量，汽车内外饰件品质与技术的双重飞跃。汽车大尺寸内饰塑胶件普遍呈弯曲、凹凸等非平面造型，火焰法处理与常压等离子均处理时会存在无法处理到的死角，使用大腔体真空等离子可高效、均匀进行表面活化处理，提高润湿性，从而提高粘接强度，不同规格的内饰件可定制相应尺寸的腔体。等离子表面处理机常用的气体为:空气、氧气、氩气、氩氢混合气体、CF4等。安徽晟鼎等离子清洗机功能
全自动等离子表面处理机结合了自动化优势，可以搭载生产线进行工作，带来稳定持续的处理效果。福建低温等离子清洗机服务电话
相较于传统的清洗方法，如化学清洗、机械清洗等，等离子清洗机具有明显的技术优势。首先，等离子清洗过程无需使用溶剂或水，因此不会产生废液或废水，减少了环境污染，符合现代工业的绿色生产要求。其次，等离子清洗能够深入到材料表面的微细孔隙和凹陷处，实现、无死角的清洁，有效去除传统方法难以触及的污染物。再者，等离子清洗过程温和且可控，不会对材料基体造成损伤，尤其适合处理精密、脆弱的部件。此外，等离子清洗还能通过调整气体种类和工艺参数，实现对材料表面性质的精确调控，如提高表面润湿性、促进化学反应等。这些技术优势使得等离子清洗机在微电子制造、光学元件清洁、医疗器械消毒、航空航天材料预处理等多个应用场景中展现出强大的竞争力。福建低温等离子清洗机服务电话
