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影像测量仪精度的因素主要有精度指示、结构原理、测量方法、日常不注意维护等。中国1994年实行了国际《坐标测量的验收检测和复检测量》的实施。具体内容如下:第1部分:测量线性尺寸的坐标测量机;第2部分:配置转台轴线为第四轴的坐标测量机;第3部分:扫描测量型坐标测量机;第4部分:多探针探测系统的坐标测量机;第5部分:计算高斯辅助要素的误差评定。在测量空间的任意7种不同的方位,测量一组5种尺寸的量块,每种量块长度分别测量3次所有测量结果必须在规定的MPEE值范围内。比较大允许探测误差(MPEP):25点测量精密标准球,探测点分布均匀。比较大允许探测误差MPEP值为所有测量半径的比较大值。
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