光刻胶的去除在IC制造工艺流程中占非常重要的地位，其成本约占IC制造工艺的20-30%，光刻胶去胶效果太弱影响生产效率，去胶效果太强容易造成基底损伤，影响整个产品的成品率。传统主流去胶方法采用湿法去胶，成本低效率高，但随着技术不断选代更新，越来越多IC制造商开始采用干法式去胶，干法式去胶工艺不同于传统的湿法式去胶工艺，它不需要浸泡化学溶剂，也不用烘干，去胶过程更容易控制，避免过多算上基底，提高产品成品率。干法式去胶又被称为等离子去胶，其原理同等离子清洗类似，主要通过氧原子核和光刻胶在等离子体环境中发生反应来去除光刻胶，由于光刻胶的基本成分是碳氢有机物，在射频或微波作用下，氧气电离成氧原子并与光刻胶发生化学反应，生成一氧化碳，二氧化碳和水等，再通过泵被真空抽走，完成光刻胶的去除。等离子物理去胶过程:主要是物理作用对清洗物件进行轰击达到去胶的目的，主要的气体为氧气、氩气等，通过射频产生氧离子，轰击清洗物件，以获得表面光滑的较大化，并且结果是亲水性增**气等离子清洗机是等离子清洗设备的一种，应用非常广，设备兼容性非常不错。北京等离子清洗机品牌
大气射流等离子清洗机结构简单，安装方便，可对塑料、橡胶、金属、玻璃、陶瓷、纸质等材料进行表面处理，已经广泛应用于印刷、包装、电子、汽车等行业。大气射流等离子清洗机分为大气射流直喷式等离子清洗机和大气射流旋转式等离子清洗机。大气射流直喷式等离子清洗机射出的等离子体能量集中，温度偏高，比较适合处理点状和线状，对温度不是非常敏感的材料表面，根据其喷头大小可以处理的宽度为2-15mm。大气射流旋转式等离子清洗机射出的等离子体比较分散，温度适中，比较适合处理面状，对温度有点敏感的材料表面，根据其旋转喷头大小可以处理的宽度为20-90mm。江西晶圆等离子清洗机品牌利用等离子体反应特性能够高效去除表面污染层，包括有机物、无机物、氧化物等，同时不会对表面造成损伤。
真空等离子清洗机在表面处理领域具有以下优势和特点：高效清洗：等离子体产生的活性物质具有较高的能量和化学活性，能够快速、彻底地清洗材料表面，去除污染物和沉积物。无介质清洗：凭借真空环境和等离子体的物理效应，真空等离子清洗机可以在无需使用溶剂、液体或固体介质的情况下进行清洗，避免了对环境和材料的二次污染。可选择性清洗：通过调节工艺参数和气体种类，可以实现对不同材料的定制化清洗，避免对材料性能的损害。表面改性：除了清洗功能，真空等离子清洗机还可以通过调节处理条件，实现对材料表面的改性，如增加粘接性、提高耐磨性和防氧化性等。自动化操作：现代真空等离子清洗机配备了先进的自动化控制系统，可以实现参数设定、处理过程监控和数据记录等功能，提高工作效率和稳定性。
等离子清洗机对氮化硅的处理效果是十分明显的，在未处理前，石墨舟表面的氮化硅残质颜色清晰，与石墨舟本质具有明显的差别，且氮化硅残质遍布舟片内外；经等离子体处理后，凭目视观测，石墨舟内外表面已无明显的氮化硅残质，原先残留的部分其颜色已恢复为本质颜色。等离子清洗机处理石墨舟氮化硅残质具有以下优势：1.高效去除：等离子清洗机能够利用高能离子束有效地去除石墨舟表面的氮化硅薄膜。与传统的湿法清洗相比，等离子清洗的去除效率更高，可以缩短清洗时间。2.不损伤表面：等离子清洗过程是一个物理和化学相结合的过程，可以精确控制对石墨舟表面的作用力度，因此不会对石墨舟表面造成损伤。3.环保安全：等离子清洗机在清洗过程中不使用任何有害的化学物质，避免了废液的产生和处理问题，对环境友好，且操作安全，还可以降低清洗成本。4.易于自动化和集成：等离子清洗机可以与生产线上的其他设备集成，实现自动化生产，提高生产效率。5.广泛的应用前景：随着全球对绿色能源的需求不断增加，光伏行业正在快速发展。等离子清洗机作为一种高效、环保的清洗技术，将在光伏行业的石墨舟清洗领域发挥更大的作用。关于plasma清洗机处理的时效性，在常规下是有时效性的，而且根据产品的不同，时效性也不同。
真空等离子处理是如何进行?要进行等离子处理产品,首先我们产生等离子体。首先，单一气体或者混合气体被引入密封的低压真空等离子体室。随后这些气体被两个电极板之间产生的射频（RF）jihuo，这些气体中被jihuo的离子加速,开始震动。这种振动“用力擦洗”需要清洗材料表面的污染物。在处理过程中,等离子体中被jihuo的分子和原子会发出紫外光，从而产生等离子体辉光。温度控制系统常用于控制刻蚀速率。60-90摄氏度温度之间刻蚀，是室温刻蚀速度的四倍。对温度敏感的部件或组件,等离子体蚀刻温度可以控制在15摄氏度。我们所有的温度控制系统已经预编程并集成到等离子体系统的软件中间。设置保存每个等离子处理的程序能轻松复制处理过程。可以通过向等离子体室中引入不同气体，改变处理过程。常用的气体包括O2、N2,Ar,H2和CF4。世界各地的大多数实验室，基本上都使用这五种气体单独或者混合使用，进行等离子体处理。等离子体处理过程通常需要大约两到十分钟。当等离子体处理过程完成时,真空泵去除等离子室中的污染物，室里面的材料是清洁,消过毒的,可以进行粘接或下一步程序。线性等离子清洗机适应多种材料，能够解决薄膜表面处理的难题，是处理薄膜等扁平且较宽材料的不错的设备。重庆国产等离子清洗机功能
等离子表面处理也叫等离子清洗机(plasma cleaner)，或者等离子表面处理仪，是一种全新的高科技技术。北京等离子清洗机品牌
封装过程中的污染物，可以通过离子清洗机处理，它主要是通过活性等离子体对材料表面进行物理轰击或化学反应来去除材料表面污染，但射频等离子技术因处理温度、等离子密度等技术因素，已无法满足先进封装的技术需求，因此，更推荐大家使用微波等离子清洗技术~微波等离子清洗机的优势处理温度低于45℃：避免对芯片产生热损害等离子体不带电：对精密电路无电破坏。在芯片封装工艺中，芯片粘接/共晶→引线焊接→封装→Mark等工艺环节，均推荐使用微波等离子清洗机，无损精密器件、不影响上道工艺性能，助力芯片封装质量有效提升。北京等离子清洗机品牌
