真空计是用于测量真空度的设备，其工作原理及测量范围对于了解真空技术至关重要。在真空镀膜机的腔体内，真空测量是指利用专门的仪器和装置来测定某一封闭空间内的真空度。这些仪器或装置被称为真空计（或规管），种类繁多，常见的分类方式是根据其测量原理。直接通过测定物理参数来获取气体压强的真空计被称为***真空计，例如U型压力计和压缩式真空计。***真空计测量气体压强较为准确，不受气体成分影响。而相对真空计则通过测量与压强相关的物理量，再与***真空计对比来得出压强值，例如放电真空计、热传导真空计和电离真空计。相对真空计的测量准确度略逊于***真空计，且测量结果与气体种类相关。在实际生产中，除了真空校准外，相对真空计的应用更为***。 尽可能扩展每一种方法的量程，是真空计科学研究的重要内容之一。泵吸式真空计技术参数
在真空镀膜机腔体内，真空计测量是一项关键技术，它涉及使用专为这一目的设计的仪器和装置，即真空计，来测定特定空间内的真空度。真空测量分为***真空计和相对真空计。***真空计直接测量物理参数以确定气体压强，如U型压力计和压缩式真空计，它们不受气体成分影响，测量准确度高，但在极低气体压强下直接测量变得困难。相对真空计则通过测量与压强相关的物理量，再与***真空计对比得出压强值，如放电真空计、热传导真空计和电离真空计等。这类真空计的测量准确度稍逊于***真空计，且结果可能受气体种类影响。在实际应用中，特别是在非校准场合，相对真空计更为常见。泵吸式真空计技术参数随着真空技术的普及，大量应用于单晶炉设备，真空计满足光伏行业基础单晶硅生产。
工作原理与分类 根据物理效应差异，真空计可分为以下三大类： 力学性能类 原理：利用气体压力引起的机械形变或电容变化。 典型仪器：波尔登规（Bourdon）、薄膜电容规（测量范围：101325~133.32Pa）。 特点：适用于腐蚀性气体和可凝蒸汽。 热交换类（气体动力学效应） 原理：基于气体热导率随压力变化的特性，如皮拉尼真空计通过加热丝电阻变化推断压力（测量范围：5×10⁻⁴~1000Pa）。 典型仪器：皮拉尼电阻规、热电偶规。 带电粒子效应类 原理：利用气体电离产生的电流与压力成正比的关系。 典型仪器：热阴极/冷阴极电离规（测量范围：10⁻⁵~10⁻¹⁴Pa）。 特点：高精度但易受污染，需避免油蒸气。
小结如果你能看到这里，那么恭喜你，你已经对真空计有了相当多的了解。一句话总结一下，真空要一级一级抽，抽真空的仪器为真空泵，测量真空度实际是在测量压强，用的设备为真空计。那么，在真空的海洋里饱餐一顿之后，也不要忘记你手中的鹅腿，你的胃还在等着饱餐一顿呢。参考文献：[1]赵宝升，《真空技术》，科学出版社[2]郭方准，《实用真空技术》，大连理工大学出版社本文来自微信公众号：中科院物理所（ID：cas-iop），作者：阿白广告声明：文内含有的对外跳转链接（包括不限于超链接、二维码、口令等形式），用于传递更多信息，节省甄选时间，结果*供参考，IT之家所有文章均包含本声明。薄膜真空计原理根据弹性薄膜在压差作用下产生应变而引起电容变化的原理制成的真空计称为电容式薄膜真空计。
1.安装前确认a.实际供电电压确保与压力变送器标牌上供电电压相匹配b.实际测量点的压力范围确保在本产品量程范围内c.实际需要的输出信号确保与变送器标牌上的输出相匹配d.现场过程连接与变送器提供的相匹配。2.安装说明a.变送供电电源确保为24VDC，应避免与大功率电缆近距离平行走线。b.用户不需要对真空计进行任何调整即可投入运行。在运行前检查安装、电气连接是否正确，检查无误后，接通电源投入运行。注意事项：NC610AS真空计属于压阻硅类真空计利用力学性能、利用气体动力学效应和利用带电粒子效应的真空计。泵吸式真空计技术参数
真空计是从真空计本身测得的物理量直接计算出(或得出)压力的仪器。泵吸式真空计技术参数
结构组成播报编辑复合真空计包含热偶规管与电离规管两个**组件：热偶规管采用玻璃外壳，内部设有V形加热丝和倒V形镍铬-镍硅热电偶，通过测量加热丝温度变化推算压强电离规管为三极管结构，包含钨制灯丝、螺旋栅极和筒状收集极，灯丝发射电子经栅极加速后电离气体分子 [4]部分型号（如ZDF-1A/B）还集成金属电阻规，形成三通道测量系统。设备控制系统内置微处理器，实现AD高速转换和误差修正功能 [1]。复合真空计是将热偶真空计和热阴极电离真空计组合而成的宽量程真空测量设备，测量范围覆盖大气压至10⁻⁵Pa泵吸式真空计技术参数
