洁净室基本参数
  • 品牌
  • 中源绿净
  • 型号
  • IOTMETA
  • 类别
  • 其他
  • 加工定制
洁净室企业商机

中源绿净经过 1500 + 场景实测验证,其 FFU 与洁净度联动系统可实时捕捉洁净室微粒浓度数据(检测频率 1 次 / 秒),当浓度超出预设阈值时,自动向对应区域 FFU 发送风速调节指令,实现从低速运行(0.3m/s)到高速运行(0.6m/s)的无级调速,快速降低微粒浓度至合格范围。系统内置风速调节算法,可根据超标幅度智能匹配调节幅度,轻微超标时小幅提升风速,避免能耗浪费;严重超标时全额提速,确保快速达标。在半导体晶圆制造车间,当光刻区域洁净度超标时,系统可调节该区域 FFU 风速,30 秒内即可将 0.1μm 微粒浓度降至 ISO 1 级标准;在无菌制药 A 级洁净区,系统通过风速动态调节,维持区域内微粒浓度稳定,避免人工干预不及时导致的生产中断。适用场景包括对洁净度响应速度要求高的电子、制药、医疗等行业,系统风速调节精度达 ±0.02m/s,可根据洁净等级需求预设风速阈值范围,同时记录每次调节的时间、原因、效果等数据,便于追溯分析,联动过程无需人工操作,既提升管控效率,又减少人为失误。​中源绿净的模块化洁净室,门体密封性能达 10Pa 压力下泄漏率≤0.5m³/h,保障洁净度!十万级洁净室颗粒物

十万级洁净室颗粒物,洁净室

中源绿净的洁净室环境监测系统,针对电子半导体行业对洁净环境的严苛要求,开发了多项定制功能,重点解决晶圆制造、芯片封装等环节的微粒污染防控与环境稳定性管控问题,为电子半导体企业提供贴合生产需求的监测解决方案。该系统的定制功能之一是超小粒径微粒监测,电子半导体行业的晶圆光刻工艺对 0.1μm 及以下粒径的微粒极为敏感,普通监测设备难以捕捉,而中源绿净的系统搭载了定制化的激光散射传感器,可实现 0.1μm、0.2μm、0.3μm、0.5μm 多粒径段微粒的同步监测,监测分辨率达 0.1 粒 /m³,能及时发现车间内的微小微粒污染,避免因微粒附着导致晶圆电路短路或光刻缺陷。深圳洁净室计数器校准规范中源绿净模块化洁净室,可集成 FFU 数量达 100+,为 15 + 微电子产品车间均匀送风!

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中源绿净的洁净室环境监测系统,具备环境模拟预测功能,基于历史监测数据与机器学习算法,预测未来一段时间内(12 小时 - 7 天)的洁净环境变化趋势,帮助用户提前采取防控措施,避免洁净度超标,提升管理主动性。系统的预测模型通过分析历史数据(如过去 3 个月的微粒浓度、温湿度、生产活动、天气变化),识别影响洁净环境的关键因素(如人员活动高峰、设备启动时段、湿度变化),进而预测未来指标变化。例如通过分析发现,每天上午 9 点 - 11 点因人员返工、设备启动,微粒浓度会上升 15%,系统会预测次日该时段的浓度变化,并标注可能超标的风险。

中源绿净洁净度在线监测系统,可根据 ISO 14644-1 标准中不同洁净度等级(如 Class 5、Class 6、Class 7、Class 8)的要求,灵活配置监测参数,系统对 Class 5 洁净区(0.5μm 粒子浓度≤1200 PCS/m³)的监测误差控制在 ±5% 以内,对 Class 8 洁净区(0.5μm 粒子浓度≤3520000 PCS/m³)的监测误差≤±3%。电子厂生产芯片、精密电子元件时,对洁净度等级要求极高,若监测系统无法匹配等级标准,可能导致产品良率波动 —— 某电子厂生产 7nm 芯片时,因原监测系统未达到 Class 5 级监测精度,误判洁净区合格,导致某批次芯片良率为 75%,低于正常水平 10 个百分点。该系统通过监测不同等级洁净区的粒子浓度,实时显示当前区域洁净度等级是否达标,当浓度接近等级上限时,自动触发预警,例如 Class 6 洁净区 0.5μm 粒子浓度达到 24000 PCS/m³(等级上限为 35200 PCS/m³)时,系统推送预警信息,提醒管理人员及时干预。中源绿净为 25 + 血液制品车间建模块化洁净室,符合 GMP 附录要求,产品安全性提升!

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中源绿净的洁净室环境监测系统,针对微生物污染防控需求进行专项优化,提升微生物监测的准确性与及时性,满足制药、医疗、食品等行业对微生物管控的严苛要求。系统的微生物监测优化体现在三个方面:一是采样效率提升,浮游菌采样器采用双泵设计,采样流量达 28.3L/min,相比传统采样器提升 50%,10 分钟即可完成 1m³ 空气采样,减少采样时间;二是检测精度优化,传感器采用阻抗法与荧光染色结合的技术,可识别细菌、、酵母菌等常见微生物,小检测浓度达 1CFU/m³,避免低浓度污染遗漏;三是数据处理升级,系统支持微生物数据与微粒数据联动分析,当两者同时上升时,优先判定为外部污染(如滤网破损),若微生物上升,则判定为局部滋生(如设备清洁不彻底),帮助快速定位污染来源。中源绿净模块化洁净室,空调过滤系统容尘量达 800g/m²,为 20 + 企业延长更换周期!十万级洁净室计数器使用步骤

中源绿净为 25 + 航天材料实验室打造模块化洁净室,洁净度 Class 3 级,满足材料研发需求!十万级洁净室颗粒物

中源绿净洁净度在线监测系统,内置设备自诊断模块,可实时监测系统硬件(传感器、数据采集器、通讯模块)与软件(数据处理程序、报警程序)的运行状态,自诊断覆盖率达 100%,当出现硬件故障(如传感器损坏)或软件异常(如数据处理错误)时,系统诊断响应时间≤10 秒,并自动推送故障类型与排查建议。医院手术部洁净度监测系统若出现故障未及时发现,可能导致手术期间无法有效监测洁净度,增加患者风险 —— 某医院曾因监测系统传感器故障未及时察觉,某 I 级手术间在手术过程中浮游菌浓度超标,术后 1 名患者出现切口。该系统的自诊断模块可定期对传感器进行精度检测,例如每 24 小时自动将传感器监测数据与标准值对比,若误差超过 ±5%,判定为传感器精度异常,推送校准提醒;当通讯模块出现数据传输中断时,系统自动尝试重新连接,若连接失败,提示检查网络线路或通讯模块硬件。十万级洁净室颗粒物

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