RPS基本参数
  • 品牌
  • 晟鼎精密
  • 型号
  • SPR-08
  • 用途
  • 工业用
  • 清洗方式
  • 远程等离子
  • 外形尺寸
  • 467*241*270
  • 产地
  • 广东
  • 厂家
  • 晟鼎
  • 制程气体
  • NF3、O₂、CF4
  • 点火气体/流量/压力
  • 氩气(Ar)/1-6AR sIm/1-8 torr
  • 制程气体流量
  • 8NF3sLm
  • 工作气压
  • 1-10torr
  • 离化率
  • ≥95%
  • 进水温度
  • 30℃
RPS企业商机

东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 远程等离子体源,通过灵活的参数调控实现多场景工艺适配。RPS 设备可调节射频功率、气体配比、反应时间等关键参数,针对不同材料与加工需求定制工艺方案。在半导体刻蚀工艺中,RPS 通过优化 CF₄/O₂气体配比,实现 SiO₂与 SiN 的高选择性刻蚀;在工艺腔体清洁中,RPS 调节 NF3/O2 比例,确保污染物彻底去除且不损伤腔室表面。RPS 配备智能控制系统,可实时监测等离子体密度、自由基浓度等关键指标,根据反馈自动调整参数,维持工艺稳定性。通过大量实验数据积累,晟鼎精密建立了完善的 RPS 工艺参数数据库,客户可快速调用适配方案。该 RPS 设备的参数调控精度高、响应速度快,能够满足半导体、电子制造等领域的复杂工艺需求,成为高精度加工的中心 RPS 装备。适用于化合物半导体工艺的低温低损伤表面处理。上海半导体设备RPS石墨舟处理

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东莞市晟鼎精密仪器有限公司的RPS三维光学扫描设备,为模具修复提供了精细的数字化数据支撑,大幅提升修复效率与质量。模具在长期使用中易出现型腔磨损、裂纹等问题,传统修复依赖人工经验判断,精度难以保证,而RPS可快速扫描受损模具,生成高精度三维数据,与原始设计模型进行比对,自动识别损伤区域与损伤程度。RPS扫描的点云数据密度可达每平方毫米1000个点,能清晰呈现0.01mm级的细微磨损痕迹,为修复方案制定提供精确依据。在修复过程中,RPS可实时扫描修复区域,监控修复进度与尺寸精度,避免过度修复或修复不足。该RPS模具修复方案已应用于注塑模、压铸模等多种模具的修复场景,使模具修复周期缩短50%,修复后模具寿命恢复至新模的90%以上,成为模具维修领域的中心RPS工具。河南半导体设备RPS等离子源处理cvd腔室在生物传感器制造中提升检测灵敏度。

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东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 检具具备优良的温度适应性与环境稳定性,可在复杂环境下保持高精度检测。RPS 检具采用温度补偿技术,可在 - 10℃~50℃的温度范围内正常工作,检测精度不受环境温度变化的明显影响。在湿度、振动等复杂环境条件下,RPS 检具的结构设计与材料选择确保了设备的稳定性,定位元件不易磨损,检测数据可靠。该 RPS 检具已通过严格的环境适应性测试,能够满足汽车、电子、机械等行业的车间生产环境需求。无论是高温的铸造车间,还是潮湿的装配车间,RPS 检具都能稳定发挥检测功能,为企业提供准确的质量检测数据,成为恶劣环境下高精度检测的可靠 RPS 设备。

东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 定位技术,为工业物联网提供了精细的数据采集支撑,助力工业智能化升级。在工业生产场景中,RPS 可实时定位生产设备、物料、人员的位置信息,将数据上传至工业物联网平台,实现生产过程的可视化管理。RPS 定位数据与生产数据融合分析,可优化生产流程,提高生产效率;通过监测设备位置与状态,可实现设备的预防性维护,减少故障停机时间。RPS 定位系统具备低功耗、广覆盖的特点,可适应工业车间的复杂环境;支持多设备同时定位,满足大规模工业场景的应用需求。该 RPS 工业物联网解决方案已应用于智能工厂、智能制造园区等场景,成为工业物联网数据采集的中心 RPS 技术工具。在文化遗产保护中实现文物无损清洁。

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东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 三维光学扫描设备,凭借多维度技术突破成为精密测量领域的榜样产品。该 RPS 设备搭载双目 500 万像素工业相机,配合 3 组 9 个高分辨率镜头,可通过镜头切换实现 420×240mm² 至 90×52mm² 的多范围扫描,无需调节工作距离即可保证比较好扫描效果。RPS 采用蓝光窄带光源与格雷码、多频外差法双光栅模式,抗干扰能力强,即使在复杂环境下也能精细捕捉细节。在扫描效率上,RPS 单幅测量时间≤1.5 秒,结合多核多线程高速算法与 GPU 加速,数据三维重建速度大幅提升。RPS 支持标志点全自动拼接、特征拼接等多种拼接模式,拼接后自动报告精度,全局误差控制能力突出。该 RPS 设备可兼容 CATIA、Geomagic 等主流三维软件,数据输出格式丰富,广泛应用于智能装备、机器人、医疗设备等领域的精密测量需求。在柔性电子制造中实现低温基板表面活化。山东远程等离子源处理cvd腔室RPS石墨舟处理

在微透镜阵列制造中实现精确图形化。上海半导体设备RPS石墨舟处理

东莞市晟鼎精密仪器有限公司的RPS远程等离子体源,针对柔性电子器件易受损伤的特性,打造了专属低损伤加工方案。柔性电子器件采用聚合物基底,传统加工方式易导致基底褶皱、破裂,而RPS通过远程传输设计,使高能离子在传输过程中被有效过滤,只让中性自由基作用于器件表面,从根本上避免物理损伤。在柔性OLED屏封装工艺中,RPS可精细活化基底表面,提升封装胶的附着强度,同时将基底温度控制在40℃以下,确保器件性能不受影响。RPS支持连续化生产模式,处理速度可达10米/分钟,且加工均匀性控制在±3%以内,完全适配柔性电子的量产需求。目前,该RPS方案已应用于柔性传感器、可穿戴设备等产品的制造,成为柔性电子行业高质量加工的中心RPS装备。上海半导体设备RPS石墨舟处理

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