RPS基本参数
  • 品牌
  • 晟鼎精密
  • 型号
  • SPR-08
  • 用途
  • 工业用
  • 清洗方式
  • 远程等离子
  • 外形尺寸
  • 467*241*270
  • 产地
  • 广东
  • 厂家
  • 晟鼎
  • 制程气体
  • NF3、O₂、CF4
  • 点火气体/流量/压力
  • 氩气(Ar)/1-6AR sIm/1-8 torr
  • 制程气体流量
  • 8NF3sLm
  • 工作气压
  • 1-10torr
  • 离化率
  • ≥95%
  • 进水温度
  • 30℃
RPS企业商机

东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 三维光学扫描设备,凭借超高精度成为医疗设备制造的中心检测工具。医疗设备零部件对尺寸精度与表面质量要求严苛,RPS 设备的测量精度可达 0.005mm,平均采样点距低至 0.03mm,能够精细捕捉复杂曲面的细微特征。RPS 采用蓝光窄带光源,抗干扰能力强,可有效避免环境光线对扫描结果的影响,确保数据真实性。在医疗设备研发阶段,RPS 可快速扫描样品,生成三维数据用于设计优化与功能性测试;在量产环节,RPS 通过快速批量扫描实现零部件质量筛查,及时发现尺寸偏差。该 RPS 设备支持多种数据格式输出,可与医疗设备设计软件无缝对接,加速产品研发周期。目前,RPS 已应用于手术器械、植入体等关键医疗部件的制造检测,为医疗设备的安全性与可靠性提供了有力的 RPS 技术保障。为功率模块封装提供优化的界面散热处理方案。广东半导体RPS腔室远程等离子源

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东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 快速模具技术,具备快速响应产品迭代的中心优势,帮助企业适应市场变化。当产品设计需要修改时,RPS 可快速调整模具参数,重新制作模具,相比传统模具大幅缩短迭代周期。在产品迭代测试阶段,RPS 可快速生产多版本样品,供企业进行对比测试,优化产品设计;在市场需求发生变化时,RPS 可快速切换生产方案,满足新的市场需求。RPS 的 ERP 系统支持多项目并行管理,可同时处理多个产品迭代项目,确保生产有序进行。通过 RPS 快速模具技术,企业能够快速响应市场反馈,加速产品迭代速度,提升市场竞争力。目前,RPS 已成为消费电子、智能装备等快速迭代行业的中心 RPS 支撑方案。安徽远程等离子体源RPS等离子体电源在微透镜阵列制造中实现精确图形化。

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东莞市晟鼎精密仪器有限公司研发的 RPS 远程等离子源 SPR-08,为半导体设备工艺腔体清洁提供原子级解决方案。该 RPS 设备基于电感耦合等离子体技术,通过交变电场和磁场作用解离 NF3/O2 等工艺气体,释放出高活性自由基,与工艺腔室内沉积的 SIO/SIN 污染材料及 H2O、O2 等残余气体发生化学反应,聚合为气态分子后经真空泵组抽出。RPS 的中心优势在于实现等离子体生成区与主工艺腔的物理隔离,避免离子轰击造成的腔室损伤,同时保证清洁彻底性。在 5nm 以下先进制程中,RPS 清洁技术可有效去除光刻胶残留与微小污染物,确保腔室洁净度满足高精度加工要求。RPS 设备操作便捷,维护简单,运行稳定性强,可适配不同规格半导体工艺腔体,目前已成为半导体制造企业提升产能与产品良率的关键 RPS 设备。

东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 基准点系统,是保障汽车零部件装配一致性的中心技术。在汽车生产过程中,不同批次、不同供应商的零部件需实现精细装配,RPS 通过统一的定位点标准,确保零部件在装配环节的定位统一。RPS 定位点由 3 个主定位点和若干辅助定位点组成,通过 “3-2-1 定位原则” 限制零部件的 6 个自由度,避免因定位误差导致的装配偏差。在总装车间,RPS 检测设备可快速验证零部件的定位精度,及时发现超差产品,避免不合格零部件流入装配环节。晟鼎精密的 RPS 系统可与汽车生产线上的自动化设备联动,实现零部件装配的自动化定位与检测,提升装配效率。通过 RPS 技术的应用,汽车车身间隙均匀性明显提升,零部件干涉问题大幅减少,成为汽车制造企业提升产品品质的中心 RPS 解决方案。远程等离子体源RPS的主要优点在于它可以实现对表面的均匀处理,因此减少了对表面的热和化学损伤。

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东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 三维光学扫描设备,凭借多维度技术突破成为精密测量领域的榜样产品。该 RPS 设备搭载双目 500 万像素工业相机,配合 3 组 9 个高分辨率镜头,可通过镜头切换实现 420×240mm² 至 90×52mm² 的多范围扫描,无需调节工作距离即可保证比较好扫描效果。RPS 采用蓝光窄带光源与格雷码、多频外差法双光栅模式,抗干扰能力强,即使在复杂环境下也能精细捕捉细节。在扫描效率上,RPS 单幅测量时间≤1.5 秒,结合多核多线程高速算法与 GPU 加速,数据三维重建速度大幅提升。RPS 支持标志点全自动拼接、特征拼接等多种拼接模式,拼接后自动报告精度,全局误差控制能力突出。该 RPS 设备可兼容 CATIA、Geomagic 等主流三维软件,数据输出格式丰富,广泛应用于智能装备、机器人、医疗设备等领域的精密测量需求。适用于特种材料科研开发的超真空表面处理。河北晟鼎RPS等离子体电源

用于太赫兹器件的超精密清洗。广东半导体RPS腔室远程等离子源

在汽车制造业中,RPS(基准点系统)是保障零部件装配一致性的中心标准,东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 检测方案已广泛应用于行业。RPS 遵循 “3-2-1 定位原则”,通过 3 个主定位点和若干辅助定位点限制零部件 6 个自由度,确保设计、制造、检测全流程定位统一。晟鼎精密的 RPS 检测设备支持接触式与非接触式双重检测模式,接触式通过三坐标测量机获取 RPS 定位点实际坐标,非接触式则利用激光扫描快速采集三维数据,两种方式均能精细输出偏差报告。该 RPS 方案的检具定位元件制造精度达到零部件公差的 1/3~1/5,销钉间距公差≤±0.03mm,定位面平面度≤0.02mm。通过 RPS 系统检测,可有效避免车身间隙不均匀、零部件干涉等问题,目前已成功应用于车身骨架、底盘件、车门等关键零部件生产,成为汽车行业高精度检测的中心 RPS 技术支撑。广东半导体RPS腔室远程等离子源

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