RPS基本参数
  • 品牌
  • 晟鼎精密
  • 型号
  • SPR-08
  • 用途
  • 工业用
  • 清洗方式
  • 远程等离子
  • 外形尺寸
  • 467*241*270
  • 产地
  • 广东
  • 厂家
  • 晟鼎
  • 制程气体
  • NF3、O₂、CF4
  • 点火气体/流量/压力
  • 氩气(Ar)/1-6AR sIm/1-8 torr
  • 制程气体流量
  • 8NF3sLm
  • 工作气压
  • 1-10torr
  • 离化率
  • ≥95%
  • 进水温度
  • 30℃
RPS企业商机

东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 快速模具技术,在航空航天小批量零部件生产中展现出独特优势。航空航天领域的部分零部件需求量小、结构复杂、精度要求高,传统模具生产成本高、周期长,而 RPS 快速模具可快速制造模具并生产零件,大幅缩短生产周期,降低成本。RPS 快速模具的加工精度可达 0.01mm,能够满足航空航天零部件的高精度要求;采用的材料具备强度、耐高温等特性,适配航空航天的特殊使用环境。在生产过程中,RPS 通过 ERP 系统进行全流程管控,确保生产进度与质量;严格的保密措施保障了航空航天技术的安全性。目前,RPS 快速模具已应用于航空航天领域的多种小批量零部件生产,成为该领域高效生产的中心 RPS 解决方案。为量子计算超导电路提供无损伤表面清洁。湖南国内RPS石墨舟腔体清洗

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东莞市晟鼎精密仪器有限公司研发的 RPS 远程等离子源 SPR-08,为半导体设备工艺腔体清洁提供原子级解决方案。该 RPS 设备基于电感耦合等离子体技术,通过交变电场和磁场作用解离 NF3/O2 等工艺气体,释放出高活性自由基,与工艺腔室内沉积的 SIO/SIN 污染材料及 H2O、O2 等残余气体发生化学反应,聚合为气态分子后经真空泵组抽出。RPS 的中心优势在于实现等离子体生成区与主工艺腔的物理隔离,避免离子轰击造成的腔室损伤,同时保证清洁彻底性。在 5nm 以下先进制程中,RPS 清洁技术可有效去除光刻胶残留与微小污染物,确保腔室洁净度满足高精度加工要求。RPS 设备操作便捷,维护简单,运行稳定性强,可适配不同规格半导体工艺腔体,目前已成为半导体制造企业提升产能与产品良率的关键 RPS 设备。上海推荐RPS工厂直销RPS远程等离子源在半导体晶圆清洗中实现纳米级无损清洁。

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东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 快速模具技术,具备快速响应产品迭代的中心优势,帮助企业适应市场变化。当产品设计需要修改时,RPS 可快速调整模具参数,重新制作模具,相比传统模具大幅缩短迭代周期。在产品迭代测试阶段,RPS 可快速生产多版本样品,供企业进行对比测试,优化产品设计;在市场需求发生变化时,RPS 可快速切换生产方案,满足新的市场需求。RPS 的 ERP 系统支持多项目并行管理,可同时处理多个产品迭代项目,确保生产有序进行。通过 RPS 快速模具技术,企业能够快速响应市场反馈,加速产品迭代速度,提升市场竞争力。目前,RPS 已成为消费电子、智能装备等快速迭代行业的中心 RPS 支撑方案。

东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 快速模具技术,成为新产品研发的 “加速器”,帮助企业缩短研发周期、降低研发成本。在产品设计初级阶段,RPS 通过 3D 打印或 CNC 加工快速制作样品,供设计团队进行外观与结构检验;在功能性测试阶段,RPS 采用与设计材料一致的 CNC 加工试制零件,确保测试结果的准确性;在小批量试产阶段,RPS 快速模具可快速生产接近量产标准的零件,验证市场反馈。RPS 的 ERP 特用软件实现了研发项目的全流程管控,从数据接收、工艺规划到生产交付,每个环节都可实时追踪。通过 RPS 快速模具技术,新产品从研发到上市的时间可缩短 30% 以上,研发成本降低 20% 左右。目前,RPS 已服务于智能装备、机器人等多个领域的新产品研发,成为企业提升市场竞争力的中心 RPS 解决方案。远程等离子的处理作用,是非常轻微的刻蚀,有一定的活性作用,主要与腔室内部的残余气体发生作用。

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东莞市晟鼎精密仪器有限公司推动 RPS 检具向智能化升级,引入数字孪生技术,实现检测流程的全面优化。RPS 数字孪生模型可在虚拟环境中模拟检具与零部件的定位检测过程,预测定位偏差,优化检具设计方案。在实际检测中,RPS 检具内置位移传感器,可实时采集定位点的位移数据,采样频率≥100Hz,通过智能算法分析检测结果,生成详细的偏差报告。RPS 智能化检具支持与工厂 MES 系统联动,实现检测数据的实时上传与分析,帮助管理人员掌握生产质量状况。通过机器学习算法,RPS 检具可分析历史检测数据,建立定位偏差预测模型,实现预防性质量控制。该 RPS 智能化检具已应用于汽车、智能装备等行业的生产线,大幅提升了检测效率与质量控制水平。晟鼎RPS拥有高可靠点火方式。上海推荐RPS工厂直销

RPS避免了传统等离子体源直接接触处理表面可能带来的热和化学损伤。湖南国内RPS石墨舟腔体清洗

东莞市晟鼎精密仪器有限公司为 RPS 远程等离子体源客户提供多方位的售后技术支持与服务保障,解除客户使用顾虑。公司建立了专业的售后服务团队,通过电话、在线咨询等多种方式为客户提供及时的技术指导,解决设备使用过程中遇到的问题。对于需要现场服务的情况,RPS 售后服务工程师可快速响应,上门进行设备安装调试、维护维修等服务。晟鼎精密提供 RPS 设备的定期维护保养服务,根据设备使用情况制定维护计划,延长设备使用寿命;同时提供设备备件供应服务,确保备件及时到位,减少设备停机时间。该 RPS 售后技术支持与服务保障体系已获得客户的宽泛认可,成为客户长期合作的重要保障。湖南国内RPS石墨舟腔体清洗

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