东莞市晟鼎精密仪器有限公司针对新能源汽车电池壳体检测需求，定制开发了RPS特用检具方案，保障电池包的装配安全性与密封性。新能源汽车电池壳体尺寸大、结构复杂，对平面度、孔位精度要求极高，RPS检具采用模块化设计，通过多个RPS定位基准点实现壳体的稳定支撑与精细定位。检具配备高精度接触式探针与激光传感器，可同时检测壳体的平面度、孔位坐标、壁厚等20余项关键参数，检测精度达0.01mm。RPS检具支持全自动检测流程，机器人自动上下料、自动完成检测，检测节拍只需45秒/件，满足新能源汽车生产线的高效需求。检测数据可实时上传至MES系统，生成追溯报告，为电池壳体质量控制提供数据支撑。该RPS检具方案已应用于多家新能源车企，有效降低了电池包泄漏风险，成为电池安全保障的中心RPS检测工具。RPS远程等离子源的功能是用于半导体设备工艺腔体原子级别的清洁。远程等离子体源RPS定制
东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 远程等离子体源，通过灵活的参数调控实现多场景工艺适配。RPS 设备可调节射频功率、气体配比、反应时间等关键参数，针对不同材料与加工需求定制工艺方案。在半导体刻蚀工艺中，RPS 通过优化 CF₄/O₂气体配比，实现 SiO₂与 SiN 的高选择性刻蚀；在工艺腔体清洁中，RPS 调节 NF3/O2 比例，确保污染物彻底去除且不损伤腔室表面。RPS 配备智能控制系统，可实时监测等离子体密度、自由基浓度等关键指标，根据反馈自动调整参数，维持工艺稳定性。通过大量实验数据积累，晟鼎精密建立了完善的 RPS 工艺参数数据库，客户可快速调用适配方案。该 RPS 设备的参数调控精度高、响应速度快，能够满足半导体、电子制造等领域的复杂工艺需求，成为高精度加工的中心 RPS 装备。江西国内RPS等离子体电源用于太空电子器件的抗辐射处理。
东莞市晟鼎精密仪器有限公司推出的 RPS 远程等离子源，是半导体先进制程中的关键中心设备。RPS 采用电感耦合等离子体技术，通过单独腔室生成高密度等离子体，经远程传输区筛选后，只让中性自由基进入主工艺腔，从根源避免离子轰击对晶圆的物理损伤。在 5nm 以下节点芯片制造中，RPS 展现出优越的工艺适配性，无论是 FinFET 还是 GAA 晶体管加工，都能精细控制侧壁粗糙度与晶格缺陷。RPS 支持 Ar、O₂、NF₃等多种工艺气体配比调节，可实现 SiO₂与 SiN 的刻蚀选择比超过 100:1，满足高深宽比通孔的均匀加工需求。晟鼎精密的 RPS 设备在 300mm 晶圆处理中，能将刻蚀均匀性控制在 ±2% 以内，长时间运行稳定性强，为半导体量产提供可靠保障，成为逻辑芯片、存储器件制造中的推荐 RPS 解决方案。
东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 远程等离子体源，在技术创新的同时注重环保与节能设计，符合绿色制造发展趋势。RPS 设备采用高效的气体利用技术，减少工艺气体的消耗与浪费，降低污染物排放；在等离子体生成过程中，通过精细的能量控制，提高能源利用效率，降低运行能耗。RPS 设备的工艺气体可根据加工需求精细配比，避免过量气体使用导致的环境污染；设备运行过程中产生的废气经过专门处理后再排放，符合环保标准。在节能方面，RPS 设备具备智能休眠功能，在闲置时自动降低能耗；中心部件的低功耗设计进一步减少了能源消耗。该 RPS 设备通过了多项环保与节能认证，成为半导体、电子制造等领域绿色生产的推荐 RPS 装备。RPS与材料和腔室表面发生反应，以去除污染物并充当有助于材料沉积的前提。
东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 检具具备强大的多场景适配能力，并提供专业的定制化服务，满足不同行业的检测需求。RPS 检具可根据零部件的结构特点、尺寸规格定制设计，适配汽车、智能装备、机器人等多个行业的检测场景。针对复杂曲面零部件，RPS 检具采用非接触式检测方案；针对高精度孔位检测，RPS 检具配备特用接触式探针；针对生产线在线检测，RPS 检具设计为快速装夹结构，满足高效检测需求。晟鼎精密的工程师团队可根据客户提供的零部件 CAD 模型，快速完成 RPS 检具的设计与制造，并提供安装调试、操作人员培训等一站式服务。该 RPS 检具定制化方案周期短、适配性强，已为多家企业解决了特殊检测需求，成为行业内定制化检测方案的质量 RPS 供应商。在微透镜阵列制造中实现精确图形化。远程等离子体源RPS定制
晟鼎RPS有主动网络匹配技术:可对不同气体进行阻抗匹配，使得等离子腔室获得能量。远程等离子体源RPS定制
东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 三维光学扫描设备，凭借超高精度成为医疗设备制造的中心检测工具。医疗设备零部件对尺寸精度与表面质量要求严苛，RPS 设备的测量精度可达 0.005mm，平均采样点距低至 0.03mm，能够精细捕捉复杂曲面的细微特征。RPS 采用蓝光窄带光源，抗干扰能力强，可有效避免环境光线对扫描结果的影响，确保数据真实性。在医疗设备研发阶段，RPS 可快速扫描样品，生成三维数据用于设计优化与功能性测试；在量产环节，RPS 通过快速批量扫描实现零部件质量筛查，及时发现尺寸偏差。该 RPS 设备支持多种数据格式输出，可与医疗设备设计软件无缝对接，加速产品研发周期。目前，RPS 已应用于手术器械、植入体等关键医疗部件的制造检测，为医疗设备的安全性与可靠性提供了有力的 RPS 技术保障。远程等离子体源RPS定制
