TESCAN MAIA3辨场发射扫描电镜TriSETM技术具有三个SE探测器，对所有工作模式下采集二次电子信号都进行了优化。位于镜简内部的In-BeamSE探测器能在短工作距离下采集二次电子。用于电子束减速模式下的SE(BDM)探测器用于分辨成像。In-Chamber SE探测器能提供形貌衬度电子束减速技术(BDT)能在低至50eV的低电压下，也仍具有出色的分辨率(选配)电子束实时追踪技术可对电子束实现实时优化扩展的低真空模式样品室气压能达到500Pa，可用于不导电样品的成像分辨率0.7@15keV, 1.0nm@ 1keV浸没式物镜系统和无交叉电子束模式结合在一起，可在低能量下实现超辨成像。浸没式物镜能在样品周围产生强磁场，降低了像差。而无交叉电子束模式则降低了Boersch效应，对电子束进行进一步的优化，终达到1.0nm@1keV的分辨率。低电压成像电子束减速技术(BDT)包括了电子束减速模式(BDM)，以及在这个模式下可同步获取二次电子和背散射电子信号的高质量的透镜内探头。在电子束减速模式下，通过加在样品台，上的负偏压使得电子束在作用到样品表面前降低能量。比较低的着陆电压可以降低到50eV(在手动控制"下可以降到0eV)。
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金属中的自由电子在特定条件下可以发射出来，若用金属构成阴极并做成极细的针尖状（曲率半径为10－4—10－6厘米），在超高真空中（1.3×10－7帕以下）施以数千伏电压，金属中的电子即可从阴极冷金属中发射，这种发射电子的方法称为场发射。由于金属的不同晶面发射电子的能力不同，当金属表面上吸附有其他物质时，也使电子发射能力有变化，因而由荧光屏上观察到的图样会有不同。利用场发射可制成场发射显微镜（FEM），用于研究气体原子在针尖表面的吸附、分解和扩散等过程，是表面物理研究的一种方法。场发射也是形成气体放电的一种方式，稀薄气体放电管中，阴极在强电场作用下释放出的电子被加速，撞击气体分子，使之电离产生正负离子，维持气体放电。在产生强脉冲高能电子束的装置中，通常也使用场发射阴极，能在极短的时间内产生大量的电子。
在透射电镜中，对电子束的控制主要通过两种物理效应来实现。运动的电子在磁场中将会根据右手定则受到洛伦兹力的作用，因此可以使用磁场来控制电子束。使用磁场可以形成不同聚焦能力的磁透镜，透镜的形状根据磁通量的分布确定。另外，电场可以使电子偏斜固定的角度。通过对电子束进行连续两次相反的偏斜操作，可以使电子束发生平移。这种作用在TEM中被用作电子束移动的方式，而在扫描电子显微镜中起到了非常重要的作用。通过这两种效应以及使用电子成像系统，可以对电子束通路进行足够的控制。与光学显微镜不同，对TEM的光学配置可以非常快，这是由于位于电子束通路上的透镜可以通过快速的电子开关进行打开、改变和关闭。改变的速度**受到透镜的磁滞效应的影响。
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透射电镜的总体工作原理是：由电子* 发射出来的电子束，在真空通道中沿着镜体光轴穿越聚光镜，通过聚光镜将之会聚成一束尖细、明亮而又均匀的光斑，照射在样品室内的样品上；透过样品后的电子束携带有样品内部的结构信息，样品内致密处透过的电子量少，稀疏处透过的电子量多；经过物镜的会聚调焦和初级放大后，电子束进入下级的中间透镜和第1、第2投影镜进行综合放大成像，较终被放大了的电子影像投射在观察室内的荧光屏板上；荧光屏将电子影像转化为可见光影像以供使用者观察。本节将分别对各系统中的主要结构和原理予以介绍。
扫描电子显微镜是一种大型分析仪器, 它广泛应用于观察各种固态物质的表面超微结构的形态和组成。绵阳场发射电镜解决方案
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