光散射粒子计数法:1.光散射粒子计数器采样量100级:每次采样量大于或等于1升。1,000级-10,000级:每次采样量大于或等于。100,000级:每次采样量大于或等于。对于100级洁净室,宜采用大流量粒子计数器进行测试;如果条件不具备时,可采用每次采样量不小于1升的粒子计数器。2.采样注意事项:①采样管必须干净,连接处严禁渗漏。②采样管的长度,应根据仪器的允许长度。当无规定时,不宜大于。③采样管口的流速,宜与洁净室断面平均风速相接近。测试人员应在采样口的下风侧。④采样顺序应按含尘浓度从低到高进行。3.测点布置:①检测在洁净工作区内进行。当生产工艺无特殊要求时,取样高度宜为离地面1米。②层流洁净室测点总数不小于20点,测点间距为,粒径大于或等于μm的尘粒数允许有一个点超过。水平层流洁净室测点*布置在***洁净工作区内。③乱流洁净室可按洁净面积小于或等于50平方米布置5个测点(附图2)。每增加20-50平方米,增加3-5个测点。4.数据整理:①每个测点的数据整理应在测试仪器稳定运行的条件下连续三次采样,取其平均值,即为该点的实测数值。②对于大于或等于μm的尘粒数确定:层流洁净室取各测定点比较大值,乱流洁净室取各测点的平均值。。 洁净室的厂家?找上海中沃。安徽百万级洁净室
应将机组内壁的灰尘清擦干净,较后用消毒液清擦,消毒。J.每二到三个月清洗或更换中效过滤器。K.高效过滤器一般使用半年后报废更换新的。L、每季度给风机轴承加油一次,调整风机皮带张紧度,紧固螺丝,防止松动。N、每半年将机组内表冷器用清水冲洗,排水口处用抹布擦干净,并消毒。M、冷凝水排水口不得有污物,死水。O、配电箱、控制箱是机房的心脏,每半年清扫灰尘一次,对烧蚀的开关、接触器及时更换,并防止鼠虫咬坏线缆。P、风冷水循环机组在夏季来临前,一定关闭热水给回水的阀门,开启室外空调机组的给回水阀门,检查试运行循环水泵和备用水泵,严禁在室外机组工作状态下,循环水泵处于停机状态,避免压缩机和交换器冻坏。Q、风冷水循环机组在冬季来临前,一定做好防冻工作,室外机组管道内的水一定放干净,可以拆开一节阀门开春再组装。巡视水管各阀门的开闭状态,室外机组的管道阀门一定要关闭,热水给回水阀门一定要开启。Z、空调管道内的水,较好在每年过度季节更换一次,避免水中杂质沉积。 喷油洁净室净化设备嘉定洁净室厂家哪家好?找上海中沃。
洁净室分类 编辑 洁净室按气流的流动状态分 根据气流的流动状态分,主要有以下三种气流分布的洁净室 [1] : (1) 非单向流洁净室:以前常称为乱流型洁净室,室内的气流并不都按单一方向流动。非单向流洁净室有几个共同的特点:终端过滤器(高效或亚高效)尽量接近洁净室,它可以就是送风口或直接连送风口,也可以接到房间的送风静压箱上; 回风口均设在洁净室的下部,目的是避免出现“扬灰”现象。非单向流洁净室中都有涡流存在,不适宜用于高洁净度的洁净室中,宜用于6~9级的洁净室中。上海中沃电子科技有限公司供
洁净室噪声标准一般均严于保护健康的标准,目的在于保障操作正常进行,满足必要的谈话联系及安全舒适的工作环境。因此衡量洁净室的噪声主要指标是:1.烦恼的效应由于噪声,使人感到不安宁而产生烦恼情绪,一般分为极安静、很安静、较安静、稍嫌吵闹,比较吵闹和极吵闹7个烦恼等级。凡反应水平属于很吵闹和极吵闹者,即为高烦恼,高烦恼人数在总人数中的百分比即为高烦恼率。2.对工作效率的影响这主要看三方面的反应水平,这三个方面是:集中精神,动作准确性,工作速度;3.对综合通讯的干扰这主要分为:清楚或满意,稍困难,困难,不可能对以上三方面指标都用A声级来评价。在50年代曾提出用一条频谱曲线作为评价标准即各频带中心频率的声压级不得超过该曲线。后来了解到刷A等级来计量噪声与噪声的语音干扰和烦恼程度更为台适,可以代替倍频带声压级作为评价标准的指标。根据中国建筑科学研究院建筑物理研究所1981年为编制《洁净厂房设计规范》而进行的测定资料,在65dB(A)以下时,只有30%的人感到高烦恼。在65—70dB(A)时,其影响对工作效率的三方面反应表现出较低水平;在60dB(A)以下说话清楚满意.60~75dB(A)时有一定困难,犬于75dB很困难。 苏州洁净室厂家?找上海中沃。
洁净空间的温湿度主要是根据工艺要求来确定,但在满足工艺要求的条件下,应考虑到人的舒适度感。随着空气洁净度要求的提高,出现了工艺对温湿度的要求也越来越严的趋势。具体工艺对温度的要求以后还要列举,但作为总的原则看,由于加工精度越来越精细,所以对温度波动范围的要求越来越小。例如在大规模集成电路生产的光刻曝光工艺中,作为掩膜板材料的玻璃与硅片的热膨胀系数的差要求越来越小。直径100um的硅片,温度上升1度,就引起了,所以必须有±,同时要求湿度值一般较低,因为人出汗以后,对产品将有污染,特别是怕钠的半导体车间,这种车间不宜超过25度。湿度过高产生的问题更多。相对湿度超过55%时,冷却水管壁上会结露,如果发生在精密装置或电路中,就会引起各种事故。相对湿度在50%时易生锈。此外,湿度太高时将通过空气中的水分子把硅片表面粘着的灰尘化学吸附在表面耐难以***。相对湿度越高,粘附的难去掉,但当相对湿度低于30%时,又由于静电力的作用使粒子也容易吸附于表面,同时大量半导体器件容易发生击穿。对于硅片生产比较好温度范围为35—45%。气压规定对于大部分洁净空间,为了防止外界污染侵入,需要保持内部的压力(静压)高于外部的压力(静压)。 洁净室的厂家上海哪家好?找上海中沃。洁净室车间
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要求其必须采用不燃烧体材料,且耐火极限要达到相应技术规范的要求。2、安全疏散鉴于洁净室自身的特点,我们在设计中应充分考虑人员安全疏散的要求,综合分析疏散人流、疏散路线、疏散距离等因素,通过科学计算,选出比较好疏散线路,合理布置安全出口和疏散通道,建立起一个安全的疏散结构体系,使之满足从生产地点到安全出口不经过曲折的净化路线。此外,由于洁净室多处于密闭状态,自然采光条件差,必须在厂房内设置火灾事故照明和应急疏散照明,并应在安全出口、疏散口和疏散通道转角处设置明显的疏散指示标志以便人员认清方向,迅速撤离事故现场。3、采暖通风和防排烟洁净室内通常都布置有通风空调系统,其目的是为了保障洁净室内各洁净室的空气洁净度,但同时也带来了一潜在的火灾隐患,如果对通风空调系统防火处理不当,就会使烟火通过通风空调管网四处蔓延,造成火势扩大。因此,我们在设计时要按规范要求在通风空调管网的适当部位合理设置防火阀,并按要求选好管网材料,做好管网穿墙、穿楼板的防火封堵工作,防止火势随通风空调系统蔓延。同时,由于洁净室相对密闭,不利于自然排烟。应在厂房内设置事故排烟系统,在疏散走道上设置正压送风的机械排烟系统。 安徽百万级洁净室