在一些实施例中，衬底302是玻璃衬底(例如，pyrex衬底或硼硅玻璃衬底)或蓝宝石衬底(al2o3)。根据实施例，横跨衬底302的表面的每个vcsel结构304彼此各不相同。每个vcsel结构304包括具有多个镜像层(例如，布拉格反射器)的层堆叠，这些镜像层将多个量子阱层夹在中间，以生成从每个vcsel结构304的顶部传导出来并且沿衬底302的表面的法线的激光辐射。每个vcsel304可以按顺序布置在衬底302的整个表面。在一个示例中，vcsel304被布置在2d阵列图案中，每个vcsel在横跨衬底302的表面的x方向和y方向上相隔相同的距离。也可以按照其他顺序模式布置vcsel304，或者可以将其被布置在伪随机图案中。尽管衬底302被示出为具有圆形，但这不是限制性的，并且衬底302可以具有任何形状和大小。在一些实施例中，衬底302是来自在x方向和y方向上具有毫米或厘米级的尺寸的较大衬底的冲模(die)。另外，在一些实施例中，从数百个vcsel到数百万个vcsel甚至更多的任意数目的vcsel304可以被布置在衬底302上。图4示出了根据实施例的具有***多个vcsel402和第二多个vcsel404的衬底302的侧视图。***多个vcsel402和第二多个vcsel404中的每个vcsel单独地从衬底302的表面向外延伸。菲涅尔透镜生产厂家订制价格。福建微型红外透镜设计
壳材806可以具有小于10nm、小于5nm、小于1nm的厚度或单层原子。图9a至9c示出了根据一些实施例的图案化在vcsel结构的顶层802上的元原子的不同示例。图9a示出了***元结构902，其中，壳材806围绕用于每个元原子的芯材804，但是不覆盖顶层802在每个元原子之间的区域。在蚀刻工艺期间，使用例如光刻胶或硬掩模来保护壳材806的围绕芯材804的部分，以移除壳材806在顶层802的表面上的暴露部分。图9b示出了第二元结构904，其中，壳材906共形地覆盖包括芯材804的所有表面和顶层802的表面。图9c示出了第三元结构906，其中，壳材806*覆盖芯材804的一个或多个侧壁。在沉积壳材806后，可以执行包层各向异性干法蚀刻工艺，以移除壳材806的所有水平平面部分，*留下芯材804的侧壁上的那些部分。图10示出了根据实施例的包括不止一种类型的元原子的元结构1000(这里称为“元分子(metamolecule)”)的另一示例。根据实施例，***元原子1002包括具有基部1006和顶部1008的芯材。基部1006可以比顶部1008更宽或更窄。第二元原子1004包括芯材1010，并且***元原子1002和第二元原子1004二者被壳材1012环绕。山东微型红外透镜定制价格小菲涅尔透镜常见问题有哪些？
用于降低来自激光源的斑点噪声的方法1100开始于操作1102，在操作1102从***多个vcsel结构发射辐射。辐射可以包括可见光或红外辐射。辐射可以具有大约935nm到大约945nm之间的峰值波长。根据实施例，***多个vcsel结构中的每个vcsel结构具有相同的孔径宽度，使得从***多个vcsel结构发射的辐射在对物体进行照射时产生***斑点图案。从***多个vcsel结构发射的辐射包括部分地取决于孔径宽度的***数目的横向模式。接着，在操作1104，从第二多个vcsel结构发射辐射。第二多个vcsel结构可以被布置在与***多个vcsel结构相同的衬底上。辐射可以包括可见光或红外辐射。辐射可以具有大约935nm到大约945nm之间的峰值波长。根据实施例，第二多个vcsel结构中的每个vcsel结构具有不同于***多个vcsel结构的孔径宽度的相同孔径宽度，使得从第二多个vcsel结构发射的辐射在对物体进行照射时产生第二斑点图案。从第二多个vcsel结构发射的辐射包括部分地取决于孔径宽度第二数目的横向模式。第二数目的横向模式不同于***数目的横向模式。例如，从***多个vcsel结构发射的辐射包括两个或更多个横向模式，而从具有较小孔径宽度的第二多个vcsel结构发射的辐射*包括单个横向模式。
集成电路(ic)、**集成电路(asic)、片上系统(soc)、桌面型计算机、膝上型计算机、平板计算机、服务器、智能电话等。其他实施例可以被实现为由可编程控制设备执行的软件。如本文描述的，各种实施例可以使用硬件元件、软件元件、或它们的任意组合实现。硬件元件的示例可以包括处理器、微处理器、电路、电路元件(例如，晶体管、电阻器、电容器、电感器等)、集成电路、**集成电路(asic)、可编程逻辑器件(pld)、数字信号处理器(dsp)、现场可编程门阵列(fpga)、逻辑门、寄存器、半导体器件、芯片、微芯片、芯片集等。本文提出了很多具体细节，以提供对实施例的透彻理解。但是，将明白的是，可以在没有这些具体细节的条件下实施实施例。另外，尽管以特定于结构特征和/或方法动作的语言描述了主题，但是将理解的是，所附权利要求中限定的主题不一定局限于本文描述的具体特征或动作。相反，本文描述的具体特征和动作被作为实现权利要求的示例形式公开。另外的示例实施例下面的示例涉及另外的实施例，根据这些实施例多种排列和配置将是明显的。示例1是一种激光源。该激光源包括衬底、一个或多个***vscel结构、以及一个或多个第二vcsel结构。一个或多个***vcsel结构在衬底的表面上。菲涅尔透镜缩小材料分类。
一个或多个vcsel结构具有顶层，并且激光源进一步包括在一个或多个vcsel结构中的至少一个vcsel结构的顶层上的多个亚波长结构。示例9包括示例8的主题，其中，一个或多个亚波长结构包括芯材和壳材，该壳材被放置在芯材的一个或多个表面上，该壳材具有比芯材高的折射率。示例10是一种光投影仪系统。该光投影仪系统包括：激光源，被配置为生成向物体发送的辐射；以及图像传感器，被配置为接收从物体反射的辐射。激光源包括衬底、一个或多个***vscel结构、以及一个或多个第二vcsel结构。一个或多个***vcsel结构在衬底的表面上，每个***vcsel结构具有***孔径宽度并且单独地在衬底的表面上方延伸。一个或多个第二vcsel结构在衬底表面上，每个第二vcsel结构具有不同于***孔径宽度的第二孔径宽度并且单独地在衬底的表面上方延伸。示例11包括示例10的主题，其中，一个或多个***vcsel在衬底的表面上的***区域中，一个或多个第二vcsel在衬底的表面上的不同于***区域的第二区域中。示例12包括示例10或11的主题，其中，一个或多个***vcsel和一个或多个第二vcsel在衬底的表面上的伪随机图案中。示例13包括示例10至12中任一项的主题，其中。菲涅尔透镜淘宝常见问题有哪些？山东微型红外透镜定制价格
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一个或多个***vcsel和一个或多个第二vcsel被配置为发射红外辐射。示例14包括示例10至13中任一项的主题，其中，一个或多个***vcsel中的每个***vcsel被配置为发射具有两个或更多个横向模式的辐射。示例15包括示例14的主题，其中，一个或多个第二vcsel中的每个第二vcsel被配置为发射具有单个横向模式的辐射。示例16包括示例10至15中任一项的主题，其中，激光源还包括在衬底的表面上的一个或多个第三垂直腔面发射激光器(vcsel)结构，每个第三vcsel结构具有不同于***孔径宽度和第二孔径宽度的第三孔径宽度并且单独地在衬底的表面上方延伸。示例17包括一种降低来自激光源的斑点噪声的方法。该方法包括：从布置在衬底上的一个或多个***vcsel结构发射具有***波长的辐射；以及从布置在衬底上的一个或多个第二vcsel结构发射具有第二波长的辐射，其中，第二波长不同于***波长。具有***波长的辐射包括***数目的横向模式，具有第二波长的辐射包括第二数目的横向模式，第二数目的横向模式不同于***数目的横向模式。示例18包括示例17的主题，其中，发射具有***波长的辐射包括发射红外辐射，并且其中，发射具有第二波长的辐射包括发射红外辐射。示例19包括示例17或18的主题，其中。福建微型红外透镜设计
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