来自具有不同波长的两个波束的斑点图案变得不相关。这意味着应该设计各种vcsel的孔径宽度以使得vcsel之间的发射波长差由下式给出:δλ≥λ2/2z(1)其中,z是物体的照明表面的表面剖面高度变化。对于940nm的示例峰值发射波长和z=,波长差应≥。图5是示出根据实施例的具有不同孔径宽度的两个不同vcsel阵列的激光光谱的图表。顶部的光谱是从***vcsel阵列测得的,其中每个vcsel结构具有4μm的孔径宽度。底部的光谱是从第二vcsel阵列测得的,其中每个vcsel结构具有2μm的孔径宽度。从光谱可以看出,具有较大孔径大小的***vcsel阵列包括两种横向激光模式和具有973nm左右的峰值波长的主导模式。与之对照,第二vcsel阵列*包括其峰值波长在972nm左右的单个激光模式。通过改变孔径大小,可以改变横向激光模式的数目和发射的峰值波长,从而产生不同的斑点图案。图6示出了根据实施例的具有衬底302的光源的另一示例,其中,该衬底包括具有不同孔径宽度的vcsel结构的各种区域。衬底302包括具有***孔径宽度(d1)的多个vcsel的***区域602、具有第二孔径宽度(d2)的多个vcsel的第二区域604、具有第三孔径宽度(d3)的多个vcsel的第三区域606、以及具有第四孔径宽度。菲涅尔透镜厚度检测技术。湖南人体红外透镜结构
面部识别、从图像的特征提取等)、以及改善机器人及其环境之间的交互的机器人学在内的很多领域有用。但是,仍然有很多与sli相关联的未解决的问题。技术实现要素:本申请一方面提供了一种激光源。该激光源包括:衬底;一个或多个***垂直腔面发射激光器(vcsel)结构,一个或多个***vcsel结构在衬底的表面上,其中每个***vcsel结构具有***孔径宽度,并且每个***vcsel结构单独地在衬底的表面上方延伸;以及一个或多个第二vcsel结构,一个或多个第二vcsel结构在衬底的表面上,其中每个第二vcsel结构具有不同于***孔径宽度的第二孔径宽度,并且每个第二vcsel结构单独地在衬底的表面上方延伸。本申请另一方面提供了一种光投影仪系统。该光投影仪系统包括:激光源,被配置为生成向物体发送的辐射,以及图像传感器,被配置为接收从物体反射的辐射。该激光源包括:衬底,一个或多个***vcsel结构,一个或多个***vcsel结构在衬底的表面上,其中每个***vcsel结构具有***孔径宽度,并且每个***vcsel结构单独地在衬底的表面上方延伸,以及一个或多个第二vcsel结构,一个或多个第二vcsel结构在衬底的表面上,其中每个第二vcsel结构具有不同于***孔径宽度的第二孔径宽度。河北人体红外透镜生产企业菲涅尔透镜聚光原理技术指导。
d4)的多个vcsel的第四区域608。孔径宽度d1-d4中的每个孔径宽度可以彼此相差相同的数量。例如,孔径宽度d1-d4中的每个孔径宽度可以相差500nm、1μm、2μm、或3μm。在另一示例中,孔径宽度d1-d4可以是给定范围(例如,1μm到10μm)内的任意值。在所示出的具有不同孔径宽度的vcsel阵列的四个区域的示例中(产生四个不同的斑点图案),总斑点噪声降低大约50%尽管图6示出了*四个区域,但是衬底302的表面上可包括分别具有给定孔径宽度的vcsel阵列的任意数目的区域。另外,每个区域可以具有任何形状或大小。在一些实施例中,任意区域可以部分或完全地与任何其他区域重叠。亚波长结构集成与几何光学相比,亚波长结构(sws)提供了在更小的尺度上实现几乎平坦的无相差光学的可能。sws可以由操纵光的波阵面、极化、或强度的亚波长散射器阵列构成。像大多数基于衍射的光学设备一样,sws通常被设计为比较好在一个波长或窄波长范围内操作。sws的一个示例包括电介质传输阵列,该电介质传输阵列提供偏振和相位的亚波长空间控制和高发射。这些设备基于制造在平面衬底上的具有不同几何形状的高折射率介电纳米谐振器(散射器)的亚波长阵列。具有各种几何形状的散射器向所发送的光赋予不同的相位。
将其波阵面形成为期望的形式。当诸如柱体或圆柱之类的中心对称亚波长特征被用作散射器时,sws设备可以利用非偏振光(像来自vcsel一样)进行操作。图7示出了具有衬底302的示例光源,其中,该衬底302具有多个vcsel结构702。根据实施例,多个sws704被图案化在一个或多个vcsel结构702的上表面上或其附近。提供sws704以改变从给定vcsel结构702的上表面发射的光的相位。可以横跨vcsel结构702的表面不同地改变相位,以使得一些区域创建发射光的相长干涉同时其他区域创建发射光的相消干涉。通过控制相长/相消干涉的区域所在的位置,还可以控制发射光的波束形状(例如,图案)。可以例外地使用高折射率材料(>)来形成sws704。例如,用于波束成形的sws已经被开发用于使用诸如硅之类的高折射率材料的近红外光。下面的表1提供了不同可见光波长(460nm-蓝、550nm-绿、以及650nm-红)下的各种材料的折射率。诸如硅之类的材料可以具有高折射率,但是这些材料还可以吸收可见范围(例如,红、绿、蓝)中的不期望的大百分比的入射光(例如,40%或更多)。一直认为可见波长透明材料(例如,折射率大约为(si3n4))不具有足够高的折射率来支持有效地操纵光学波振面所需要的光学谐振。诸如氧化钛。菲涅尔透镜阵列价格咨询。
焦点和光线在同一侧,通常在其表面进行涂层,作为**反射面使用。1)圆形菲涅尔透镜2)菲涅尔透镜阵列3)柱状菲涅尔透镜4)线性菲涅尔透镜5)衍射菲涅尔透镜6)菲涅尔反射透镜7)菲涅尔光束分离器和菲涅尔棱镜。菲涅尔透镜的作用,简单的说就是在透镜的一侧有等距的齿纹。通过这些齿纹,可以达到对指定光谱范围的光带通(反射或者折射)的作用。传统的打磨光学器材的带通光学滤镜造价昂贵,菲涅尔透镜可以极大的降低成本。典型的例子就是PIR(被动红外线探测器)。PIR普遍的用在警报器上,每个PIR上都有个塑料的小帽,此即菲涅尔透镜。小帽的内部都刻上了齿纹,这种菲涅尔透镜可以将入射光的频率峰值限制到10微米左右(人体红外线辐射的峰值)。菲涅尔透镜型号价格咨询。河北微型红外透镜结构
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图10示出了根据本公开的实施例的使用亚波长结构的元分子的示例。图11是示出根据本文公开的某些实施例的从用在光投影仪系统中的光源发射辐射的方法的流程图。尽管将参考说明性实施例继续下面的详细描述,但是根据本公开,很多替代、修改、和变形将是明显的。具体实施方式用在结构化光投影仪中的激光源包括衬底、衬底上的一个或多个***vcsel、以及衬底上的一个或多个第二vcsel。一个或多个***vcsel各自具有***孔径宽度并且各自单独地在衬底的表面上延伸。一个或多个第二vcsel各自具有不同于***孔径宽度的第二孔径宽度并且各自单独地在衬底的表面上延伸。根据一些实施例,可以使用光刻技术对***vcsel和第二vcsel进行图案化。使用具有不同孔径宽度的vcsel的阵列提供了具有不同波长的发射辐射,从而提供了不同的斑点图案。当在检测器上被接收时不同的斑点图案被平均,此时斑点噪声减小。vcsel还可以包括多个亚波长结构以操控光输出。这种亚波长结构还可以用在包括标准vcsel在内的其他vcsel的表面上。在任意这些情况中,激光源可以与图像传感器结合在一起,以提供光投影仪系统。总体概述如上所述,仍然有与结构化光照明(sli)相关联的很多未解决的问题。更具体地。湖南人体红外透镜结构
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