有机物浓度)理想的是20ppb以下，且理想的是进行了脱气处理。另外，通过提高液浸液的折射率，而可提高微影性能。就此种观点而言，可将如提高折射率的添加剂添加至水中、或使用重水(d2o)来代替水。在温度23±3℃、湿度45±5％下，使用本发明中的感光化射线性或感放射线性树脂组合物所形成的抗蚀剂膜的后退接触角为70°以上，适合于经由液浸介质进行曝光的情况，抗蚀剂膜的后退接触角推荐为75°以上，更推荐为75°～85°。若上述后退接触角过小，则无法适宜地用于经由液浸介质进行曝光的情况，且无法充分地发挥减少水痕(水印)缺陷的效果。为了实现推荐的后退接触角，推荐为在上述感光化射线性或感放射线性组合物中含有后述的疏水性树脂(d)。或者，也可在抗蚀剂膜上形成由疏水性的树脂组合物所形成的涂布层(所谓的“顶涂层”)，由此提升后退接触角。在液浸曝光步骤中，需要液浸液追随曝光头高速地在晶片上进行扫描并形成曝光图案的动作而在晶片上移动，因此，动态的状态下的液浸液对于抗蚀剂膜的接触角变得重要，而对抗蚀剂要求液滴不会残存、且追随曝光头的高速的扫描的性能。作为步骤(6)中的有机系显影液。上海海谷电子有限公司致力于提供电子料回收，有想法的可以来电咨询！湖南废旧电子料回收网
在直至通过载荷测定装置200测定的载荷收敛于目标扭矩t为止所需要的时间较长的情况下，判定部180判定为元件保持装置30存在异常。这样，马达控制装置440基于元件保持装置30的实际位置与元件保持装置30的指令位置的位置偏差来运算扭矩指令值，并将基于该运算出的扭矩指令值而得到的电流(电流指令)向z2轴马达71供给。而且，马达信息获取部470将马达控制装置440用于z2轴马达71的位置控制的扭矩指令值获取为马达信息，判定部180对基于扭矩指令值得到的马达信息与载荷进行比较，进行元件保持装置30的异常判定。即，元件安装机1将与z2轴马达71的反馈控制所使用的扭矩指令值相关的数据用于元件保持装置30的异常判定，因此不需要追加获取用于异常判定的数据，与此对应地能够减少控制装置100的控制负担。3.其他以上，基于上述实施方式对本公开进行了说明，但本公开未被上述实施方式作任何限定，可容易推断出能够在不脱离本公开的主旨的范围内进行各种变形改进。例如，在上述各实施方式中，列举元件安装机1通过搬运机构11搬运载荷测定装置200并进行定位的情况为例子进行了说明，但也可以将载荷测定装置200设置于元件安装机1的机内。另外，在第二实施方式中。陕西报废电子料回收行情上海海谷电子有限公司为您提供电子料回收，欢迎您的来电哦！
本实施方式的马达信息是与元件保持装置30对载荷测定装置200进行一系列的安装动作时z2轴马达71产生的实际扭矩的推移相关的信息。具体而言，马达信息获取部170将由电流检测器142检测到的z2轴马达71的实际电流的推移数据换算为实际扭矩的推移数据，并将换算出的实际扭矩的推移数据存储于存储装置110。判定部180获取存储于载荷存储器220的载荷的推移数据和存储于存储装置110的实际扭矩的推移数据，并对两者进行比较。而且，在由载荷传感器210测定出的载荷低于基于实际扭矩计算的阈值的情况下，判定部180判定为元件保持装置30存在异常。此外，图5示出表示扭矩指令值的推移与由载荷测定装置200测定出的载荷的推移的比较的坐标图。如图5所示，z2轴马达71基于实际扭矩与扭矩指令值被反馈控制，因此实际扭矩的推移与扭矩指令值的推移大体一致。另外，实际扭矩在吸嘴55与载荷测定装置200接触时暂时变大，与扭矩指令值之差变大，但马达控制装置140通过进行反馈控制，控制实际扭矩，使其与扭矩指令值近似。马达控制装置140对设置于头驱动装置31的各种马达进行控制，使安装头33移动至载荷测定装置200的上方后，对z1轴马达57及z2轴马达71进行控制，使吸嘴55下降。此时。
本发明涉及电子元件安装方法及电子元件安装机。背景技术：已知有一种电子元件安装机，具备：安装头，具有绕着与铅垂方向平行的旋转轴线旋转的旋转头及能够保持元件的多个元件保持部；及元件相机，从下方拍摄旋转头及保持于多个元件保持部的电子元件。在专利文献1中公开了如下的技术：在使吸附于吸嘴的电子元件向电路基板上的安装位置移动的中途，利用元件相机来拍摄所吸附的电子元件，并对该拍摄到的图像进行处理，来判定电子元件的吸附位置偏差量或吸附姿势等。在此，在进行电子元件的安装作业之前，在元件保持部未保持电子元件的状态下通过元件相机拍摄旋转头，基于通过拍摄而得到的准备图像数据来掌握元件保持部的位置。电子元件安装机在元件的安装作业时，通过元件相机拍摄保持于多个元件保持部的电子元件，测定基于通过拍摄而得到的元件图像数据所掌握的电子元件的位置与根据准备图像数据而掌握的元件保持部的位置之间的位置偏差量。对于这一点，在进行安装头的更换时，有时以安装头的旋转轴线未与铅垂方向严格地平行的状态安装安装头。在该情况下，在通过基于元件相机的拍摄而得到的图像中，元件保持部的位置因旋转头的分度角度而不同。因此，以往。上海海谷电子有限公司是一家专业提供电子料回收的公司。
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与马达控制装置对马达的驱动相关的马达信息与马达将元件保持装置向按压载荷测定装置的方向驱动的力对应。换句话说，马达信息不是与元件保持装置对于基板实际赋予的载荷相当，而是与该载荷的推定值相当。假设，若元件保持装置正常，则载荷测定装置测定出的载荷与马达信息一致或者具有相关性。另一方面，若元件保持装置异常，则载荷测定装置测定出的载荷与马达信息不一致，或者不具有相关性。因此，判定部通过对载荷测定装置测定出的载荷与马达信息进行比较，能够发现元件保持装置的异常。附图说明图1是本说明书的实施方式的电子元件安装机的立体图。图2是表示安装头的结构的图。图3是控制装置的框图。图4是马达控制装置的框图。图5是表示由载荷测定装置测定出的载荷的推移和z2轴马达产生的实际扭矩的推移的对比的坐标图。图6是第二实施方式的马达控制装置的框图。图7是表示由载荷测定装置测定出的载荷的推移和针对z2轴马达的扭矩指令值的推移的对比的坐标图。具体实施方式1.实施方式1-1：电子元件安装机1的结构电子元件安装机1是向电路基板90安装电子元件并生产基板产品的生产装置。以下，将“电子元件安装机”称为“元件安装机”，将电子元件*称为“元件”。如图1所示。湖南废旧电子料回收网
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