包括：在衬底上方形成互连层；在所述互连层正上方形成多个mtj器件，其中，所述多个mtj器件包括工作mtj器件和一个或多个调节mtj器件，所述一个或多个调节mtj器件被配置为选择性地控制流至所述工作mtj器件的电流；以及在所述多个mtj器件上方形成第二互连层，其中，所述互连层和所述第二互连层中的一个或两个限定位线和一条或多条字线。附图说明当结合附图进行阅读时，从以下详细描述可佳理解本发明的各个方面。应该指出，根据工业中的标准实践，各个部件未按比例绘制。实际上，为了清楚的讨论，各个部件的尺寸可以任意地增大或减小。图1示出了具有调节访问装置的存储器电路的一些实施例的示意图，该调节访问装置被配置为选择性地对操作磁隧道结(mtj)器件提供访问。图2示出了具有调节访问装置的存储器电路的一些额外实施例的示意图，该调节访问装置包括调节mtj器件，该调节mtj器件被配置为选择性地对工作mtj器件提供访问。图3a至图3c示出了图2的公开的存储器电路的读取和写入操作的一些实施例的示意图。图4a至图4b示出了对应于图2的公开的存储器电路的集成芯片的截面图的一些实施例。图5a至图5b示出了具有调节访问装置的存储器电路的一些额外实施例。上海海谷电子有限公司致力于提供电子元器件，电子物料回收，欢迎新老客户来电！安徽呆滞料回收中心
电脑显示工作状态及数据，与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：本实用新型所述集成电路软件快速录入装置,可随时查看工作状态及各项监测数据，方便操作者使用，使得产品调试快捷。附图说明图1是本实用新型集成电路软件快速录入装置的原理结构示意图。具体实施方式下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。如图1所示，一种集成电路软件快速录入装置,包括远程后台服务器、录入终端装置和显示器，其中：所述录入终端装置包括微处理器、高频读卡模块、数据监测模块和通讯模块，所述录入终端装置通过数据线与远程后台服务器连接。所述数据监测模块包括下载判断模块、校准综测模块、开机模块、拍照模块、声音模块和按键模块。其中，下载判断模块、开机模块、拍照模块、声音模块和按键模块均为手机监测的常用模块，采用现有的技术。校准综测模块包括对主板的校准，主板校准主要包括发射机和接收机的射频指标校准。江苏集成电路回收处理上海海谷电子有限公司为您提供电子元器件，电子物料回收，有需求可以来电咨询！
位线bl1连接至布置在存储器阵列102的一列内的存储单元内的工作mtj器件106。例如，位线bl1连接至图2的存储器阵列102的列内的工作mtj器件106。在一些实施例中，工作mtj器件106通过包括多个导电互连层406a至406c并且不延伸穿过衬底402的连续导电路径连接在位线blz(z＝1,2)和字线wlx(x＝1,3)之间。在一些实施例中，工作mtj器件106不位于被配置为控制对工作mtj器件106的访问的存取晶体管器件正上方。在一些实施例中，调节访问装置108包括调节mtj器件204和第二调节mtj器件206。调节mtj器件204、第二调节mtj器件206和工作mtj器件106分别包括垂直布置在底电极通孔408和顶电极通孔410之间的mtj。在一些实施例中，顶电极通孔410可以通过通孔412(例如，铜通孔)连接至上面的互连层。在一些实施例中，底电极通孔408和顶电极通孔410可以包括金属，诸如氮化钛(tin)、氮化钽(tan)、钛(ti)、钽(ta)等。在一些实施例中，第二互连层406b从调节mtj器件204正上方连续延伸至第二调节mtj器件206正上方。调节mtj器件204、第二调节mtj器件206和工作mtj器件106分别包括由介电遂穿阻挡层112分隔开的自由层114和固定层110。自由层114具有被配置为响应于电信号(例如，电流)而改变的磁矩。
可以使用侧壁间隔件261至266作为第二心轴图案在比抗蚀剂图案pr1、pr2和pr3低的层中形成具有抗蚀剂图案pr1、pr2和pr3的1/4平均节距的目标图案。图5至图10是示出应用于集成电路的单元线路结构的示例实施例的示图。为了便于描述，在层中形成的图案dpm、qpm、dpg和qpg附加示出在图5至图10中。图案dpm、qpm、dpg和qpg可以与参照图4a至图4i描述的心轴图案对应，并且可以在中间过程期间被去除以被排除在终集成电路中。在下文中，将参照图5、图6和图7描述通过sadp形成多条列金属线的示例实施例。参照图5、图6和图7，单元线路结构uws1、uws2和uws3中的每个可以包括分别布置在方向x上的六条列金属线ml1至ml6和四条栅极线gl1至gl4。如参照图4a至图4i所述，可以在列导电层ccl上方形成双倍心轴图案dpm1、dpm2和dpm3。标签“dpm”可以理解如下：“d”表示双倍，“p”表示图案，“m”表示金属。例如，双倍心轴图案dpm1、dpm2和dpm3可以布置为在方向x上具有相同的双倍心轴节距pdm并且双倍心轴节距pdm可以与抗蚀剂图案的节距相同。针对单元线路结构uws1、uws2和uws3中的每个，可以使用三个双倍心轴图案dpm1、dpm2和dpm3在列导电层ccl中形成六条列金属线ml1至ml6。上海海谷电子有限公司为您提供电子元器件，电子物料回收，期待您的光临！
同样的附图标记始终表示同样的元件。可以省略重复的描述。在下文中，在三维空间中使用方向x、第二方向y和第三方向z描述根据示例实施例的集成电路的结构。方向x可以是行方向，第二方向y可以是列方向，第三方向z可以是竖直方向。方向x、第二方向y和第三方向z可以交叉，例如，可以彼此正交或垂直。图1是示出制造集成电路的方法的流程图。参照图1，在半导体基底上方的栅极层中形成多条栅极线，其中，所述多条栅极线布置在方向上并且在垂直于方向的第二方向上延伸(s100)。在栅极层上方的导电层中形成多条金属线，其中，所述多条金属线布置在方向上并且在第二方向上延伸，使得6n条金属线和4n条栅极线形成单元线路结构，其中，n是正整数，并且多个单元线路结构布置在方向上(s200)。根据示例实施例，可以通过自对准双倍图案化(sadp)或自对准四倍图案化(saqp)形成多条金属线。sadp和saqp是制造技术。此外，根据示例实施例，可以通过单图案化(即，直接图案化)、sadp或saqp形成多条栅极线。单图案化也是制造技术。下面将参照图4a至图4i描述单图案化、sadp和saqp。在一些实施例中，单元线路结构对应于未被划分为至少两个相等的子线路结构的小单元结构。在一些示例实施例中。上海海谷电子有限公司致力于提供电子元器件，电子物料回收，有想法可以来我司咨询！江西收购电子元器件回收行情
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其中形成线路图案的至少一个导电层可以插入在栅极层gtl与列导电层ccl之间，和/或至少一个导电层可以设置在列导电层ccl上方。在一些示例实施例中，集成电路还可以包括形成在栅极层gtl与列导电层ccl之间的行导电层中的多条行金属线，使得行金属线布置在第二方向y上并且在方向x上延伸。在栅极层gtl上方依次设置的导电层可以称为m1层、m2层、m3层、m4层等。行导电层可以对应于m1层或m2层，列导电层ccl可以对应于m2层或m3层。图4a至图4i是用于描述根据示例实施例的用于制造集成电路的图案化工艺的示图。可以参照图4a至图4i描述与单图案化、sadp和saqp相关联的单元线路结构的节距。参照图4a至图4i描述心轴间隔件图案化(themandrelspacerpatterning)作为示例，但是示例实施例不限于特定的图案化工艺。在本公开中，单图案化、sadp和saqp定义如下。单图案化或直接图案化表示形成与光刻工艺中的曝光图案具有相同的平均节距的目标图案。这里，目标图案包括根据示例实施例的单元线路结构中所包含的栅极线和列金属线。sadp表示形成具有与所述曝光图案的1/2平均节距对应的平均节距的目标图案。saqp表示形成具有与所述曝光图案的1/4平均节距对应的平均节距的目标图案。参照图4a。安徽呆滞料回收中心
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