江苏氙气超高纯气体新能源

上海弥正超高纯三氟化氮（5N 级纯度），是半导体等离子体刻蚀工艺的关键清洗气体，以 “高纯度 + 低污染” 助力芯片制程精细化。采用低温吸附与精馏提纯工艺，将杂质含量控制在 1ppb 以内，其中金属杂质与颗粒物杂质均≤0.1ppb，能准确匹配 7nm 及以下先进制程的刻蚀需求。其强氧化性可高效去除晶圆表面的硅化物、金属氧化物等残留沉积物，且反应产物易挥发，无需额外复杂清洗步骤，有效提升刻蚀工艺效率。配备特用环保处理系统，气体使用后可通过回收装置实现 67% 的再利用率，降低环境排放与使用成本，符合亚洲芯片代工厂的生态合规要求。某半导体代工厂应用后，晶圆刻蚀残留率从 0.8% 降至 0.05%，刻蚀工艺效率提升 15%，单晶圆制造成本降低 3%，同时满足 SEMI 国际半导体产业协会的环保与纯度标准，成为先进制程刻蚀工艺的推荐清洗气体。超高纯甲烷（杂质≤0.5ppm）是半导体刻蚀工艺的关键气体。江苏氙气超高纯气体新能源

上海弥正超高纯乙硼烷（5N 级纯度），专为 FinFET、GAA（全环绕栅极）等先进晶体管结构的超浅结掺杂工艺设计，以 “超高纯度 + 准确控制” 突破芯片制程瓶颈。采用低温合成与精密吸附提纯技术，将杂质含量控制在极低水平，其中磷、砷等杂质含量≤5ppt，水分含量≤10ppb，满足 5nm 及以下先进制程对超浅结掺杂的严苛要求。在超浅结掺杂中，它能提供高浓度的硼离子，实现对半导体材料的准确、浅度掺杂，形成高性能的 P 型半导体层，其纯度与稳定性直接影响结深控制精度与器件的阈值电压，对提升晶体管开关性能至关重要。提供定制化的稀释与输送方案，可根据客户工艺需求，将乙硼烷准确稀释至 1-100ppm 的标准混合气，采用不锈钢管道输送，配备在线浓度监测与自动报警系统，确保掺杂过程准确可控。某专注于先进制程的芯片设计与制造企业应用后，GAA 晶体管的阈值电压波动范围缩小至 ±0.02V，开关电流提升 20%，成功实现 5nm 制程芯片的稳定量产。硼烷超高纯气体核磁共振成像超高纯二氧化碳用于超临界萃取，提取食品与医药中的有效成分。

上海弥正构建超高纯气体全生命周期合规管理体系，从生产、销售、使用到回收处置全程符合环保、安全、职业健康相关法规标准，助力客户提升 ESG（环境、社会、治理）绩效。在环境合规方面，公司生产过程实现废气、废水零超标排放，获得 ISO 14001 环境管理体系认证；在安全与职业健康方面，建立严格的安全生产流程与员工健康保护制度，通过 ISO 45001 职业健康安全管理体系认证。为客户提供完整的产品合规文件包，包括质量检测报告、安全技术说明书（SDS）、碳足迹报告、合规性声明等，协助客户完善 ESG 报告中的材料合规与供应链管理部分。定期为客户提供合规培训，内容涵盖气体安全使用、应急处置、废弃物回收等，帮助客户提升自身合规管理水平。某注重 ESG 绩效的上市公司采购该公司气体后，其供应链的环境与安全合规性评分明显提升，在年度 ESG 报告中获得评级机构的正面评价，投资者信心与品牌价值进一步增强。

上海弥正针对不同芯片制程需求，提供电子级超高纯气体定制服务，从纯度等级、杂质控制到供应方式均实现准确适配。可根据客户工艺要求，定制 5N-9N 级不同纯度的气体产品，其中 7N 级以上超高纯气体金属杂质含量可控制在 0.001ppb 以下，完全满足 7nm 及以下先进制程的严苛要求。针对特定工艺环节，准确控制目标杂质含量，如光刻工艺用气体可将碳氢化合物杂质控制在 0.05ppb 以下，避免影响光刻精度；掺杂工艺用气体可准确调控掺杂元素浓度，确保芯片电性能稳定。提供 “瓶装 + 管道” 双供应模式，小批量生产采用高压气瓶供应，大批量连续生产采用管道输送，输送系统可与客户生产设备无缝对接。配备专业技术团队，提供工艺适配咨询、气体使用培训与设备调试服务，帮助客户优化气体使用方案。某先进制程芯片企业应用定制化气体后，芯片制程良率提升 3.5%，工艺调整周期缩短 40%，成为客户工艺升级的重心合作伙伴。超高纯氩气与氢气混合气，适配金属热处理，提升材料韧性。

上海弥正率先采用 100% 绿电（光伏与风电）驱动的电解水制氢工艺，生产超高纯氢气（6N 级纯度），实现从生产源头的低碳化，助力客户达成 “双碳” 目标。该工艺以纯水为原料，通过可再生能源发电进行电解，全程无化石燃料消耗，每立方米氢气的碳足迹较传统工艺降低 95% 以上，完全符合清洁能源发展趋势。经膜分离与催化脱氧组合提纯后，氢气纯度稳定在 99.9999%，杂质含量≤1ppb，不仅可作为燃料电池汽车的重心燃料，为氢能交通提供动力，也可广泛应用于光伏、半导体等行业的绿色制造流程。建立 “生产 - 使用 - 回收” 的闭环体系，为使用客户配套氢气回收与纯化装置，回收率可达 85%，回收后的气体经处理可再次达到超高纯标准循环使用。某新能源汽车企业应用该绿电制氢产品后，其燃料电池系统的碳排放量降低 60%，获得欧盟 “绿色氢能” 认证；某光伏企业将其用于多晶硅还原，年碳排放减少 1.2 万吨，成功入选绿色工厂名单。超高纯六氟化硫用于电力设备灭弧，保障电网安全运行。氯乙烷超高纯气体厂家供应

超高纯氙气纯度达 99.999%，用作医疗成像与激光技术的发光气体。江苏氙气超高纯气体新能源

上海弥正针对碳化硅（SiC）、氮化镓（GaN）等第三代半导体制造，打造专属超高纯气体解决方案，以 “适配宽禁带特性 + 准确工艺控制” 助力功率器件与射频器件量产。方案涵盖超高纯氨气、硅烷、氢气、氩气等重心气体，其中用于 GaN 外延生长的超高纯氨气纯度达 7N 级，金属杂质含量≤0.01ppb；用于 SiC 刻蚀的超高纯氟化物气体纯度达 6N 级，确保材料刻蚀的准确度与表面质量。第三代半导体材料具有耐高温、耐高压、高频的特性，对气体纯度与杂质控制要求远高于传统硅基半导体，该方案通过准确控制氧、碳、金属等杂质含量，有效减少外延层缺陷，提升器件的击穿电压与可靠性。提供外延生长、离子注入、刻蚀、退火等全工艺环节的气体组合，并配备工艺适配团队，协助客户优化气体流量、压力等工艺参数。某专注于 SiC 功率器件的企业应用该方案后，外延片的缺陷密度从 10³cm⁻² 降至 10²cm⁻² 以下，器件的击穿电压提升 20%，成功实现车规级 SiC MOSFET 的稳定量产。江苏氙气超高纯气体新能源

上海弥正气体有限公司在同行业领域中，一直处在一个不断锐意进取，不断制造创新的市场高度，多年以来致力于发展富有创新价值理念的产品标准，在上海市等地区的电工电气中始终保持良好的商业口碑，成绩让我们喜悦，但不会让我们止步，残酷的市场磨炼了我们坚强不屈的意志，和谐温馨的工作环境，富有营养的公司土壤滋养着我们不断开拓创新，勇于进取的无限潜力，上海弥正气体供应携手大家一起走向共同辉煌的未来，回首过去，我们不会因为取得了一点点成绩而沾沾自喜，相反的是面对竞争越来越激烈的市场氛围，我们更要明确自己的不足，做好迎接新挑战的准备，要不畏困难，激流勇进，以一个更崭新的精神面貌迎接大家，共同走向辉煌回来！