上海三氟甲烷超高纯气体半导体制造

上海弥正超高纯硅烷（5N 级纯度），是半导体化学气相沉积（CVD）与光伏薄膜电池制造的**原料，以 “高纯度 + 高稳定性” 助力薄膜制备。采用络合反应与吸附提纯工艺，将杂质含量控制在 1ppb 以内，其中金属杂质与颗粒物杂质均≤0.1ppb，避免影响薄膜沉积质量。在半导体制造中，用于制备多晶硅、二氧化硅等薄膜，薄膜均匀性与致密度优异；在光伏产业中，用于薄膜太阳能电池的硅基薄膜沉积，提升电池转换效率。采用特用耐腐蚀气瓶包装，配备防爆阀门与压力监测装置，储存与运输过程中严格控制温度与压力，避免气体分解。某半导体企业应用后，薄膜沉积均匀性提升 4%，芯片电性能稳定性改善；某光伏企业使用后，薄膜电池转换效率提升 0.6%，薄膜附着力增强，完全满足半导体与光伏产业的先进制程要求。超高纯甲烷用作燃气传感器校准气，确保检测数据准确。上海三氟甲烷超高纯气体半导体制造

上海弥正超高纯乙硼烷（5N 级纯度），专为 FinFET、GAA（全环绕栅极）等先进晶体管结构的超浅结掺杂工艺设计，以 “超高纯度 + 准确控制” 突破芯片制程瓶颈。采用低温合成与精密吸附提纯技术，将杂质含量控制在极低水平，其中磷、砷等杂质含量≤5ppt，水分含量≤10ppb，满足 5nm 及以下先进制程对超浅结掺杂的严苛要求。在超浅结掺杂中，它能提供高浓度的硼离子，实现对半导体材料的准确、浅度掺杂，形成高性能的 P 型半导体层，其纯度与稳定性直接影响结深控制精度与器件的阈值电压，对提升晶体管开关性能至关重要。提供定制化的稀释与输送方案，可根据客户工艺需求，将乙硼烷准确稀释至 1-100ppm 的标准混合气，采用不锈钢管道输送，配备在线浓度监测与自动报警系统，确保掺杂过程准确可控。某专注于先进制程的芯片设计与制造企业应用后，GAA 晶体管的阈值电压波动范围缩小至 ±0.02V，开关电流提升 20%，成功实现 5nm 制程芯片的稳定量产。四氟化硅超高纯气体生产厂家超高纯氩气用作溅射镀膜保护气，保障薄膜沉积均匀性。

上海弥正凭借低温精馏、吸附分离、膜分离、催化脱氧等多工艺集成提纯技术，实现超高纯气体 5N-9N 级纯度的稳定量产，技术水平对标国际先进标准。针对不同气体特性定制专属提纯方案：惰性气体采用 “低温精馏 + 吸附” 组合工艺，有效去除微量杂质；活性气体通过 “催化净化 + 膜分离” 技术，精细控制有害杂质含量；特种气体则采用 “低温吸附 + 精馏” 工艺，确保纯度与稳定性双达标。配备国际先进的痕量杂质检测设备，包括 GC-MS 气相色谱 - 质谱联用仪、ICP-MS 电感耦合等离子体质谱仪等，可检测出 ppb-ppt 级别的微量杂质，每批次产品均经过至少 3 次全项检测，确保纯度达标。建立 1000㎡超洁净生产车间，车间洁净度达 Class 100 级，避免生产过程中气体污染，提纯设备采用自动化控制系统，操作精度达 ±0.01%，实现全年 365 天连续稳定生产，气体纯度波动范围≤0.05%，为下游制造行业提供可靠的纯度保障。

上海弥正超高纯氨气（6N 级纯度），专为 OLED、Micro-LED 等新一代显示技术打造，是显示面板化学气相沉积（CVD）工艺的重心原料。通过催化分解与吸附提纯工艺，将水、油、颗粒物等杂质含量控制在 0.5ppb 以下，其中金属杂质（铁、铜、钾等）含量≤0.01ppb，避免影响面板像素发光效率与寿命。在 OLED 面板制造中，超高纯氨气作为氮源，参与有机发光层与电子传输层的沉积过程，直接影响像素点的发光均匀性；在 LCD 面板生产中，可用于硅 nitride 薄膜制备，提升面板抗划伤性能与稳定性。采用耐腐蚀特用气瓶包装，配备高精度流量控制系统，支持连续 24 小时稳定输送，流量调节范围 1-50L/min。某显示面板企业应用后，OLED 面板像素发光均匀度提升 3%，不良品率从 1.2% 降至 0.15%，面板使用寿命延长 10%，完全适配 8.6 代及以上高世代线的大规模生产需求，助力显示产业向高清化、柔性化升级。超高纯氩气（杂质含量≤1ppm）适配激光切割，提升金属加工切口光滑度。

上海弥正超高纯氮气（纯度达 6N 级），专为半导体晶圆加工设计，以 “杂质 + 稳定供应” 成为芯片制造的关键基础材料。采用低温精馏与吸附分离双重提纯工艺，将氧气、水分、碳氢化合物等杂质含量控制在 0.1ppb 以下，完全满足半导体刻蚀、沉积等重心工艺对气体纯度的严苛要求。作为惰性保护气体，它能有效隔绝空气与工艺环境接触，防止晶圆表面氧化或污染，保障光刻胶涂覆、等离子体刻蚀等环节的工艺稳定性。配备特用超洁净包装与输送系统，气瓶内壁经电解抛光处理，避免二次污染，气体输送过程中纯度衰减率低于 0.01%。某芯片制造企业应用后，晶圆氧化缺陷率从 0.3% 降至 0.02%，芯片良率提升 2.8%，连续供应 12 个月无纯度波动问题，完全适配 5G 芯片、人工智能芯片等制程的生产需求，成为半导体产业不可或缺的惰性保护解决方案。

超高纯氯气（纯度 99.99%）适配半导体刻蚀，准确去除硅基材料。上海三氟甲烷超高纯气体半导体制造

超高纯氪气（纯度 99.999%）适配红外探测器制造，提升传感灵敏度。上海三氟甲烷超高纯气体半导体制造

上海弥正严格遵循欧盟 REACH 法规（《化学品注册、评估、授权和限制法规》）要求，确保所有出口欧盟的超高纯气体产品完全合规，为客户进入欧盟市场扫清法规障碍。公司建立了完善的化学品安全信息管理体系，对每款出口产品进行多面的物质特性评估与注册，完成了超过 20 种超高纯气体的 REACH 注册，涵盖氟化物、硅烷等关键品类，并编制符合要求的 SDS（安全技术说明书）与标签。在生产过程中，严格控制 REACH 法规限制的高关注度物质（SVHC）含量，确保产品中 SVHC 含量远低于法规限值。配备专业的合规团队，实时跟踪欧盟法规更新，为客户提供法规咨询与合规性证明文件，协助客户顺利通过欧盟海关检验与市场准入审核。某跨境电子元件企业使用其 REACH 合规超高纯气体生产的产品，顺利进入欧盟市场，未发生任何因化学品合规问题导致的贸易壁垒或处罚，产品在欧洲市场的占有率逐年提升。上海三氟甲烷超高纯气体半导体制造

上海弥正气体有限公司在同行业领域中，一直处在一个不断锐意进取，不断制造创新的市场高度，多年以来致力于发展富有创新价值理念的产品标准，在上海市等地区的电工电气中始终保持良好的商业口碑，成绩让我们喜悦，但不会让我们止步，残酷的市场磨炼了我们坚强不屈的意志，和谐温馨的工作环境，富有营养的公司土壤滋养着我们不断开拓创新，勇于进取的无限潜力，上海弥正气体供应携手大家一起走向共同辉煌的未来，回首过去，我们不会因为取得了一点点成绩而沾沾自喜，相反的是面对竞争越来越激烈的市场氛围，我们更要明确自己的不足，做好迎接新挑战的准备，要不畏困难，激流勇进，以一个更崭新的精神面貌迎接大家，共同走向辉煌回来！