上海硅烷超高纯气体

上海弥正率先采用 100% 绿电（光伏与风电）驱动的电解水制氢工艺，生产超高纯氢气（6N 级纯度），实现从生产源头的低碳化，助力客户达成 “双碳” 目标。该工艺以纯水为原料，通过可再生能源发电进行电解，全程无化石燃料消耗，每立方米氢气的碳足迹较传统工艺降低 95% 以上，完全符合清洁能源发展趋势。经膜分离与催化脱氧组合提纯后，氢气纯度稳定在 99.9999%，杂质含量≤1ppb，不仅可作为燃料电池汽车的重心燃料，为氢能交通提供动力，也可广泛应用于光伏、半导体等行业的绿色制造流程。建立 “生产 - 使用 - 回收” 的闭环体系，为使用客户配套氢气回收与纯化装置，回收率可达 85%，回收后的气体经处理可再次达到超高纯标准循环使用。某新能源汽车企业应用该绿电制氢产品后，其燃料电池系统的碳排放量降低 60%，获得欧盟 “绿色氢能” 认证；某光伏企业将其用于多晶硅还原，年碳排放减少 1.2 万吨，成功入选绿色工厂名单。超高纯氘气（纯度 99.999%）用作核磁共振成像的造影气体。上海硅烷超高纯气体

上海弥正针对 Chiplet（芯粒）先进封装技术，推出全流程超高纯气体解决方案，以 “低颗粒 + 高稳定性” 支撑芯片异构集成的精密工艺需求。方案覆盖倒装焊、键合、再分布层（RDL）制备等重心环节，提供的超高纯氮气、氩气、氢气等气体，颗粒物（≥0.1μm）含量≤10 个 /m³，纯度达 6N 级以上，完全满足封装工艺对微污染控制的严苛要求。在倒装焊工艺中，超高纯氮气作为保护气，能有效防止焊料氧化，提升焊接良率；在 RDL 制备的电镀与蚀刻环节，高纯度气体确保金属布线的精细度与导电性，助力实现高密度互联。提供 “瓶装 + 管道” 结合的灵活供应模式，适配 Chiplet 封装多批次、高精度的生产特点，并配备在线颗粒计数器与纯度监测仪，实时监控气体品质。某的先进封装企业应用该方案后，Chiplet 产品的键合良率从 95% 提升至 99.2%，RDL 线宽精度控制在 ±0.1μm 以内，封装密度提升 30%，有力推动了国产 Chiplet 技术的商业化落地。上海硅烷超高纯气体超高纯氟化氢（杂质≤0.1ppm）用于半导体晶圆清洗，去除表面污染物。

上海弥正深耕国产超高纯气体研发与生产，打破国际巨头在品类的垄断，为半导体产业链自主可控提供关键材料支撑。针对国内高度依赖进口的 7N 级电子级氟化物、硅烷等品类，公司通过自主研发攻克重心提纯技术，实现规模化量产，产品纯度达到国际先进水平，杂质控制精度进入 ppt 级别，并成功通过中芯国际、长江存储等头部晶圆厂的验证认证。相较于进口产品，公司产品在供应响应速度、成本控制及技术服务方面更具优势，可实现订单 48 小时内快速响应，交货周期缩短 50%，成本降低 20-30%。积极参与国家 “十四五” 新材料产业发展规划重点项目，推动超高纯气体国家标准的修订与完善，目前已主导或参与 3 项行业标准的制定。某半导体企业使用其国产替代型超高纯三氟化氮后，不仅摆脱了对进口气体的依赖，还将相关工艺的材料成本降低 25%，供应链稳定性明显增强，为实现芯片国产化提供了有力保障。

上海弥正针对 OLED、LCD 显示面板制造，推出包含超高纯氨气、硅烷、氮气、氢气的特用气体组合，适配高世代线与新型显示技术的生产需求。组合内气体纯度均达到 5N-6N 级别，其中用于 ITO 薄膜溅射沉积的超高纯氧气纯度达 99.999%，杂质含量≤0.5ppb；用于退火工艺的超高纯氢气纯度达 6N 级，确保薄膜沉积质量与器件性能稳定。提供定制化的供气压力与流量配置，支持根据不同生产环节（如 CVD 沉积、蚀刻、退火）的工艺参数准确适配，输送系统采用无死腔设计，避免气体残留与污染。配备实时在线监测系统，可远程监控气体纯度、压力、流量等参数，故障响应时间≤1 小时。某显示面板企业应用该组合后，8.6 代线面板良品率提升 2.2%，OLED 面板发光寿命延长 15%，年节约生产成本超 800 万元，且完全满足 DSCC（Display Supply Chain Consultants）的行业标准，适配中国大陆地区显示面板产业 41% 的全球市场占比需求。超高纯氮气（纯度≥99.999%）用作半导体制造保护气，防止芯片加工时氧化。

上海弥正超高纯氧气（5N 级纯度），兼具医疗与电子制造双重适配性，以 “高纯度 + 低杂质” 满足多元场景需求。采用深度冷冻与吸附提纯工艺，将水分、二氧化碳、一氧化碳等杂质含量控制在 0.5ppb 以下，无异味、无有害污染物，符合医用气体 GB 8982-2024 标准与电子行业 SEMI 标准。在医疗领域，可用于重症患者呼吸疗愈、麻醉辅助与高压氧舱疗愈，提高血氧饱和度，促进患者康复；在电子制造领域，用于 ITO 薄膜溅射沉积，提升显示面板与触摸屏的导电性能与透光率。采用医用与工业特用气瓶分类包装，医用气瓶经无菌处理，工业气瓶配备高精度流量控制装置，支持连续稳定输送。某综合医院应用后，重症患者率提升 10%，氧疗不良反应发生率下降 60%；某电子企业使用后，ITO 薄膜透光率提升 2%，导电性能稳定，完全满足医疗与电子行业的严苛要求。超高纯六氟化硫用于电力设备灭弧，保障电网安全运行。江苏硼烷超高纯气体生物医药

超高纯氖气纯度≥99.999%，用于霓虹灯填充与低温制冷领域。上海硅烷超高纯气体

上海弥正创新推出 “现场制气 + 纯化” 一体化服务模式，为半导体、光伏等大规模连续生产企业提供高效、节能、稳定的超高纯气体供应，颠覆传统瓶装运输模式。根据客户的气体需求量与纯度要求，在客户厂区内搭建小型化、模块化的制气与纯化装置，可现场生产氮气、氩气、氢气等基础气体，并通过集成的提纯系统将其升级至 5N-7N 级超高纯标准，实现气体的 “即产即用”。该模式省去了气瓶运输、存储与更换的繁琐流程，不仅大幅降低了运输成本与碳排放，还彻底避免了长途运输可能导致的气体污染与纯度衰减风险。配备远程监控与智能运维系统，实时监测设备运行状态与气体纯度，确保 24 小时稳定供应，运维响应时间≤2 小时。某大型光伏企业应用该模式后，超高纯氢气的供应成本降低 35%，气体纯度稳定性提升至 99.99%，年减少运输相关碳排放超 2000 吨，生产连续性得到有力保障。上海硅烷超高纯气体

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