上海氦气气体管道设计连接图

阀门的选用。高纯气体对系统所用阀门的严密性有十分严格的要求，目前国内洁净厂房的高纯气体管道的阀门基本都采用SS304或SS316L不锈钢材质，阀门型式有隔膜阀、波纹管阀和球阀。波纹管阀的严密性比球阀好，在气体流过阀门时没有与外环境接触的填料，所以没有渗漏现象：隔膜阀除了严密性与波纹管阀相当以外，还具有阀体死体积小，易吹除且污染少，所以适用于对气体纯度和生产工艺要求极严格或者危险性大的气体。为确保输送至用气设备的气体质量，高纯气体管道与用气设备之间应用不锈钢金属软管连接，不宜采用非金属软管。系统布线应尽量减少接缝以降低泄漏的可能性。上海氦气气体管道设计连接图

气体管道设计规范：1、按标准单元组合设计的通用实验室，各种气体管道也应按标准单元组合设计。2、穿过实验室墙体或楼板的气体管道应敷在预埋套管内，套管内的管段不应有焊缝。管道与套管之间应采用非燃烧材料严密封堵。3、氢气、氧气管道的末端和较高点宜设放空管。放空管应高出层顶2m以上，并应设在防雷保护区内。氢气管道上还应设取样口和吹扫口。放空管、取样口和吹扫口的位置应能满足管道内气体吹扫置换的要求。4、氢气、氧气管道应有导除静电的接地装置。有接地要求的气体管道其接地和跨接措施应按国家现行有关规定执行。湖州气体管道设计市场价格气体管道宜采用无缝钢管。

日本把微电子生产中所采用的气体，按其不同的品位，具体分为下列几个不同的档次：1.超高纯气体，气体中杂质总含量控制在1ppm以下，水份含量控制在0.2~1ppm。2.高纯气体，气体中杂质总含量控制在5ppm以下，水份含量控制在3 ppm以内。3.洁净气体，气体中杂质总含量控制在10 ppm以下,对水份含量未作严格规定。 上述规定，都未涉及洁净度。我们知道集成电路的生产，几乎都是在洁净环境中进行，是防止尘埃粒子污染微电子产品所必需的。所以，对洁净的生产环境绝不允许采用不洁净的气体来破坏，必须使气体的洁净度与洁净环境保持一致，根据相关资料以及近些年公司相关工程的经验进行了一些归纳。

气路的布线：1. 管道穿过障碍物时须使用管套并采用不可燃材料填充间隙。2. 管道之间采用先进的美国全自动定位轨道式氩弧焊机进行内外保护氩弧焊（TIG）方式连接，其优点是泄漏率可到1X10-9s.c.c./sec.He,且不会再内表面产生氧化层或褶皱等焊接缺陷。3. 管路上的三通全部采用焊接三通来实现连接，可更有效保证气体的传输质量。4. 管道需用固定卡具固定在管道支架上。管道支架为槽钢结构美观大方。与墙体和管道固定牢固。且为耐火材料（铝合金）制成。5. 气体管路在铺设过程中要做到横平竖直，为保证管道走线的直线度和管道间的间距，每间隔一定距离应设置一组管卡。卡具应由不燃材料制作而成，美观大方。氢气管道不得用螺纹连接。

医用气体的基本种类及用途，医用气体的基本种类为医用氧气、负压吸引、压缩空气、氮气、笑气（N2O）及二氧化碳等气体。氧气主要用于一般病人吸氧，危急病人吸氧（呼吸机）及用于药物的雾化等；负压吸引主要吸痰、脓及血液之用；压缩空气用于口腔设备及作为呼吸机动力（混合气体用）；氮气作为手术气动工具的动力；笑气（N2O）用作为手术时的麻醉气体。二氧化碳气用于腹腔充气及试验室培养细菌。通过医疗气体中心管道系统工程的公道设计，使医院能以较低的投资获得一个功效强大的供气系统，确保医院的医疗系统高效运行。管道系统应有维护保养的方便性，包括检修口、阀门的可访问性和更换部件的便捷性。杭州气体管道设计施工

应有可靠的泄漏检测系统和应急预案，确保在气体泄漏时能够迅速采取措施。上海氦气气体管道设计连接图

气体管道设计规范：1.氢气、氧气和煤气管道以及引入实验室的各种气体管道支管宜明敷。当管道井、管道技术层内敷设有氢气、氧气和煤气管道时，应有换气1 - 3 次/h 的通风措拖。2.按标准单元组合设计的通用实验空，各种气体管道也应按标准单元组合设计。3.穿过实验室墙体或楼板的气体管道应敷在预埋套管内，套管内的管段不应有焊缝。管道与套管之间应采用非燃烧材料严密封堵。4.氢气、氧气管道的末端和较高点宜设放空管。放空管应高出层顶2m以上，并应设在防雷保护区内。氢气管道上还应设取样口和吹扫口。放空管、取样口和吹扫口的位置应能满足管道内气体吹扫置换的要求。5.氢气、氧气管道应有导除静电的接地装置。有接地要求的气体管道其接地和跨接措施应按国家现行有关规定执行。上海氦气气体管道设计连接图