苏州大口径特气管道安装规范

硅烷特气柜设计要求：1、因为硅烷（SiH4）的危险性，所以整套系统应该配备惰性吹扫装置，而且应该设置单独的惰性气体钢瓶（比如高压N2）进行吹扫，不得采用管道氮气吹扫。2、硅烷（SiH4）与空气会自燃，柜内应配备气体泄露侦测器、火焰探测器等，当发生泄漏时，能及时报警处理，避免更大事故的发生。3、硅烷系统的排气管不得接入排风系统，硅烷和硅烷混合物排气系统应该单独于其它气体排气系统。4、如果排气的硅烷（SiH4）浓度较高时，应采用燃烧式尾气处理装置处理后排入大气。5、由于存在通过系统的固定惯性气流，要设有防止回流装置。6、排气管应采用惰性气体连续吹扫，吹扫气体流速不得小于0.3m/s。对管道进行吹扫和清洗，以去除残留的杂质和污染物，确保管道的干净和卫生。苏州大口径特气管道安装规范

特气管道安装：（1）在管线两侧各设置1个及以上控制阀以控制气流方向，（一般采用球阀控制）。当管线较长时宜分段设阀以避免因阀门损坏造成停供事故的发生。（一般用球阀控制）。当管线较短且无分段时可在主管道端部设一个阀门以方便操作人员维修维护工作，（一般可采用蝶阀或闸阀等开关式阀门）。（2）对需要经常拆卸清洗的部件应在现场设置专门使用工具箱存放拆下的部件以备更换使用。（一般为专门使用工具车存放拆下的部件以备更换时使用。）同时需配备必要的防护用品以免发生意外事故伤害到工作人员及财产损失。（一般为专门使用工具车放置拆卸后的部件以备更换时使用。苏州大口径特气管道安装规范管道开封前应做好管内冲氮的准备工作。

施工管理和现场施工的注意点：（1）项目管理人员和施工人员都要进行施工安全和施工质量的培训,了解特种管道的施工作业要求和规范,了解特种气体的基本知识,从而加深对特种管道施工质量重要性的认识。（2）特气管道一般采用小管道输送，为了降低成本，管道采用直接用弯管器煨弯的方式，弯管器一般采用5-10倍的，但不小于5倍。因此对管道施工人员要进行各种角度下的弯管培训，对焊工也必须进行焊接程序的培训，熟悉各种焊接参数的调整，然后管工和焊工都必须经过考试，由专门的质量管理人员确认合格后，发给作业许可证后方可施工，这也是QA/QC保证程序的组成部分。也是施工程序中人员培训的重点。

特气输送系统是指：将特种气体从气源端、根据工艺设备的工艺需求、通过对流量和压力等参数的控制，通过管道、无二次污染、稳定的输送到工艺设备的用气点。其基本流程是：气源→控制柜→管道传输→VMB→用气点。分类，特种气体根据气体性质不同一般分为：惰性气体、易燃易爆气体、有毒气体和腐蚀性气体；根据供应包装的不同分为：特种气体和大宗特种气体。常规供气系统，常规供气系统主要应用于4-6英寸 大规模集成电路厂，50MW以下的太阳能电池生产线，发光二极管的芯片工序线以及其它用气量中等规模的电子行业。对气体纯度控制的要求不苛刻，系统配备在满足安全的前提下尽量简单，节省投资。特气管道安装的时候，管子对口时应检查平直度，距离接口中心200mm处测量。

特种气体管道配管应符合下列规定：1 管外径大于1/2”的管道弯头应采用成品弯头；管外径小于或等于1/2”的弯头可在现场使用专门使用弯管器揻制，BA级管道弯头弯曲半径不应小于管外径的3倍，EP级管道弯头弯曲半径不应小于管外径的5倍，公、英制弯管器不应混用；2不锈钢管道密封接头的密封垫片应根据气体的性质采用不锈钢垫片或镍垫片，严禁采用非金属垫片、有划伤的垫片以及将使用过的垫片，在同一密封面应采用一个垫片；3特种气体管道与用气生产工艺设备之间的连接应采用不锈钢管道面密封接头或自动轨道氩弧焊机焊接，不得采用非金属软管；管道穿墙部位应设套管，并应以难燃材料填充套管与管道之间的间隙：同时应对穿墙部位加以密封。施工中，可通过设计使用弯管装置，现场制作弯头，解决此加工问题。上海大楼特气管道安装公司

特气管道一般采用小管道输送，为了降低成本，管道采用直接用弯管器煨弯的方式。苏州大口径特气管道安装规范

硅烷管道要求：1.硅烷特气管道安装一般好选择管道系统是316或316L无缝EP级不锈钢，其内、外表面极其光亮，且具有焊接结构，额定压力为较大运转压力的1.5倍，在三倍的正常传输压力到较大额定压力之间用氦检漏，理想的系统应该全部是焊接的。2.洁净管道的焊接除了要达到常规工业管道对焊缝的要求外，还要求焊接时管内、外表面不受污染，焊缝内、外表面必须与母材光亮度基本一致。3.硅烷特气管道系统上不允许使用衬垫阀。只能使用无衬垫膈膜阀或波纹管阀。在所有的配送系统上都应安装流量控制阀或流量开关，以便在流线型破裂的情况下切断气流。这个切断阀应该尽可能接近气源。4.在硅烷设施中，所有的气体管道、阀门和功能性组件都要贴上标签，说明它们的用途。管道上的标签应当说明气流方向和气体类型。苏州大口径特气管道安装规范