嘉兴医院特气管道安装规范

管道系统的设计：材料的选择，特气管路系统普遍采用316L不锈钢电解抛光（EP）管道，阀门一般采用高纯调压阀、隔膜阀、高精密过滤器、（＜0.003微米）、VCR接头等。接触气体的管路部件表面粗糙度可控制在5uin。对于某些高腐蚀性的气体如CL2等，采用经过特殊处理的耐腐蚀强的EP管 。2.主管路系统的设计，在确定好气体房和用气点以后,主管路系统一般遵循管道线路较短,拐弯较少,布置紧凑合理,给人简单美观的感觉。输送系统的数量和管径的大小一般根据机台用气点的多少和流量大小确定，基本都采用小管径输送（1/4-3/4）而且多设计了备用系统。由于气体本身的危险性，许多地方采用把管道铺设在电缆桥架里，对于穿墙或穿过夹道的地方，周围有危险源和经常有危险作业的地方，露天的地方管道一般布置在全封闭的桥架里。管材或管件在粘合前应将承口和插口的粘结面擦拭干净，确保无异物。嘉兴医院特气管道安装规范

特气管道安装：（1）在管线两侧各设置1个及以上控制阀以控制气流方向，（一般采用球阀控制）。当管线较长时宜分段设阀以避免因阀门损坏造成停供事故的发生。（一般用球阀控制）。当管线较短且无分段时可在主管道端部设一个阀门以方便操作人员维修维护工作，（一般可采用蝶阀或闸阀等开关式阀门）。（2）对需要经常拆卸清洗的部件应在现场设置专门使用工具箱存放拆下的部件以备更换使用。（一般为专门使用工具车存放拆下的部件以备更换时使用。）同时需配备必要的防护用品以免发生意外事故伤害到工作人员及财产损失。（一般为专门使用工具车放置拆卸后的部件以备更换时使用。舟山化验室特气管道安装解决方案特气管道安装可以家庭设备的安全使用，正确的管道安装可以管道系统的流畅运作，防止漏水、渗漏等问题。

施工管理和现场施工的注意点：现场的质量管理人员要做好材料的质量检查记录和每天的施工质量检查记录，包括管工弯管的质量，尺寸是否准确，管道是否有划伤，弯头是不是压得太扁;拆除包装的管道，预制好的管道，管口是不是封好;(管道封口应套上管帽，再采用EP管完好的内包装袋割下15-20公分长套在管口折回后用洁净胶带缠好;如果没有管帽，则采用套一层内包装袋用胶带封好，然后外面再套一层，也用胶带封好。)焊工的焊缝是否符合质量要求，每个焊缝都必须仔细检查，并作好焊接作业者和焊接数量记录。

特气管道安装特点，它的特点主要体现在四个方面:安全、经济、纯度和人体工程学。安全:使用者可以通过配备的远程切断系统在紧急状况下切断气体供应。钢瓶储存区的合理布置可以保持可燃性容器和助燃性容器间的安全间距。经济性:使用者只需管理较少的钢瓶，支付较少的钢瓶租金，因为使用同一气体的所有使用点来自于同一个气源。此种供应方式较终会减少运输费用，减少退还给气体公司的空瓶中的余气量，以及良好的钢瓶管理。纯度:减压器面板可以保持气体的指定纯度，钢瓶更换频率的减少导致杂质进入系统的机率降低。焊接时，按要求进行内充氩保护，控制氩气流量大小。

大宗特气供气系统，大规模供气系统主要针对大规模量产的8-12英寸（1英寸=25.4毫米）超大规模集成电路厂（气体种类包括SiH 4 、N 2 O、 2 、 C 2 F 6 、 NH 3 等），100MW以上的太阳能电池生产线（气体种类包括NH3），发光二极管的磊晶工序线（气体种类包括NH3）、5代以上液晶显示器工厂（气体种类包括SIH4、CL2、NH3、NF 3 ）等、光纤（气体种类包括SiCl 4 ）、硅材料外延生产线（气体种类包括HCL）等行业。它们的投资规模巨大，采用先进的工艺制程设备，用气需求量大，对稳定和不间断供应、纯度控制和安全生产提出较严格的要求。特气管道施工结束后都需要进行压力检测，氦检漏，颗粒度和水分、氧分测试。嘉兴医院特气管道安装规范

管道支架或管卡应固定在楼板上或承重结构上。嘉兴医院特气管道安装规范

这些工厂的特种气体的供给，除了普通钢瓶（50L及以下）包装的特种气体外，还有多种类的特种气体都普遍采用大包装容器，由此它们被称为大宗特气，包括Y-钢瓶（450L），T-钢瓶（980L），集装格（940L），ISO罐（22,500L），鱼雷车（13,400L）等。大宗特气供应系统（BSGS）采用全自动PLC控制器，彩色触摸屏；气体面板采用气动阀门和压力传感器，可实现自动切换，自动氮气吹扫，自动真空辅助放空；多重安全防护措施，泄漏侦测，远程紧急切断；专门使用氮气吹扫起源等等。特种气体采用单独气源，多用点采用VMB或VMP分路供应，VMB或VMP采用支路气动阀，氮气吹扫，真空辅助排空等。由于BSGS气源总量大，多采用单独的气体房，单独的抽风系统嘉兴医院特气管道安装规范