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《从硅片切割加工副产物中回收碳化硅的方法》涉及太阳能级硅片和电子级硅片切割加工过程中产生的副产物回收碳化硅的方法。具体地说,硅片切割加工过程中为了降低机械应力、热应力,保障线切割过程成为稳定的过程,需要加入大量的浆状切割液,从而产生大量的副产物,这种副产物中含有大量有机物、碳化硅和多晶硅(单晶硅);从这种副产物中回收可以用于硅片切割加工的碳化硅微粉。按照该发明提供的技术方案,硅片切割加工副产物加入分离剂后,进行机械分离,得到富含碳化硅的浆料,对其再进行机械分离,得到的湿态固体进行碱洗、酸洗及水洗后,经机械分离、干燥及粒径分级获得可回用于硅片切割加工过程的碳化硅微粉。

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