江苏半导体车间层流罩

负压称量罩,负压称量室的结构特征

1、负压称量罩,负压称量室由工作区、回风箱体、风机箱体、出风箱体及外箱体几大部分拼装而成。

2、控制面板位于设备内部工作区正面，控制面板采用轻触型LED控制面板；

3、可以控制风机起停，调节风机工况，调整工作区需要的风速（当设备安装使用后，需由专门人员调节工况）。

4、配有压差计，测试过滤器的阻力。

5、在送风箱体的内部还有排风调节板；可以调节设备的排风量在合理的范围内

6、注意设备安装就位后，由人员设试，请勿擅自调整。

统钜净化设备（上海）有限公司专业从事洁净室的设计施工、各类净化设备、空气过滤器的研发生产销售近十五年，技术团队有18年行业工作经验负责人，上海守合同重信用AAA级企业，多次获得A级纳税信用等级，通过ISO9001认证。欢迎来电咨询选购。 液槽FFU厂家-咨询统钜净化设备成立近十五年，技术18年经验，信用AAA级企业，通过ISO9001认证。江苏半导体车间层流罩

洁净层流罩材质采用**覆铝锌板或304不锈钢制作，不生锈，耐腐蚀，轻巧坚固，箱体采用黄金分割比例点设计，层流罩美观大方，超薄机身厚度*为20cm，加上高效过滤器总厚度不超过29cm；重量*约为25kg，节约空间，方便施工安装和日常维护，层流罩风机采用**多翼式涡轮节能风机，**噪音，风压扩散均匀，出风面风速均匀稳定，功耗低运行成本低，工作寿命长达6万小时以上，风机控制采用三档调速，电路均采用电器开关控制，控制安全平稳；并预设集中控制功能无尘车间FFU选什么品牌FFU风机过滤机组品牌-咨询统钜净化设备成立近十五年，技术18年经验，信用AAA级企业，通过ISO9001认证。

FFU系统控制在无尘室、洁净室、净化工程中的设计方式

无尘室、洁净室、净化工程由静压层、工艺层、工艺辅助层和回风通道组成，由提供循环空气的动力，将新风、循环风混合后通过高效过滤器送入工艺层和工艺辅助层，静压层相对于工艺层为负压。FFU集成电路设计优点：洁净室面积可扩大、洁净等级高、温湿度控制精度高等多数洁净室要求环境洁净度、温湿度、振动、ESD、AMC控制等。FFU集成电路系统可以很好满足这些要求。洁净室按照回风特点分为三个系统：

1.FFU循环系统;

2.循环空调机配合高效送风口系统;

3.循环风机配合湿式密封系统和。

FFU集成电路系统的三种类型

1.适合半导体制造业。FFU循环系统不仅节省运行空间、洁净度安全性高、运行成本低，而且操作灵活性很高，可以在不影响生产的情况下随时进行系统升级和调整，这些都能很好地满足半导体制造的需求。

2.适合小规模洁净室的FFU循环系统在小规模低等级要求的洁净室设计中被广泛应用，对于大面积高等级的洁净室则存在运行成本过高、占用空间过大等缺点。

3.全能型FFU循环系统这种形式的设计可以满足集成电路制造洁净室大面积高等级的要求，但运行成本较高，并且洁净室风速、风量调节困难，系统升级改造困难，因此操作灵活性很低。

负压称量罩性能确认之洁净度、噪声/照度：

因为操作室内有操作人员进行操作，一定的噪声和照度水平有利于工作人员的舒适度，从而降低出错几率。从EHS角度来说，噪声也是应该控制的一个指标。判断标准：噪声：75分贝或双方协商；

照度：500lx或双方协商。

洁净度：负压称量罩一定程度上类似于GMP中C+A中的A级送风，其洁净度必须在静态下达到A级要求。在测量时根据出风面面积计算需要的取样点。在离地0.8米处均匀布置取样点进行测试。判断标准：达到A级静态要求。

另外注意事项及建议除了以上性能外，微生物的控制也至关重要，但因微生物控制更多的是靠企业空调和洁净室的整个软硬件管理水平，而不是只靠负压称量罩本身，故此项通常是在空调和洁净室性能确认时进行，不在此展开。 PAO层流罩品牌-咨询统钜净化设备成立近十五年，技术18年经验，信用AAA级企业，通过ISO9001认证。

FFU风机过滤单元控制计算机群控方式的优缺点分析：

这种方法是基于设备的总线设计，采用主机转换接口，从主路由器至从路由器，再到FFU控制模块的四层结构，其中主控可控制多台主路由器，每个主路由器则可以管理三十台从路由器，而从路由器的数量不能超过两百台，每个从路由器可控制三十台的FFU控制模块。这种控制方式的优点是容易控制、可以进行调速、能实现比较复杂的应用，同时还能实现对FFU的集中控制和监管，能实现分区、分系统的控制，并且这种方法还具有节能的效果。而它的缺点是结构比较复杂、调试难度大、成本大。 FFU净化单元厂家-咨询统钜净化设备成立近十五年，技术18年经验，信用AAA级企业，通过ISO9001认证。无尘车间FFU选什么品牌

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层流罩是能将操作员与产品屏蔽隔离的设备之一，其主要用途是避免产品污染。从洁净室吸取的空气，然后采用顶部增压舱里安装的风扇通过HEPA过滤垂直穿过操作区域，为关键区域提供ISO 5(级别100)的单向流空气。废气从下面排出，返回洁净室区域。它主要由箱体、风机、高效空气过滤器、阻尼层、灯具等组成。

洁净层流罩是将空气以一定地风速通过高效过滤器后，形成均流层，使洁净空气呈垂直单向流，从而保证了工作区内达到工艺要求的高洁净度。

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