桌面探针系统之射频探针:把传统探针台的体积大、待测物规格限制等一系列缺点改进。我们把探针台的两个探针臂直接分离出来,使用磁吸开关固定在配重块上,装配我们自行研发GS/SG/GSG/GSSG和差分间距可调射频探针,高频率40GHz和67GHz(质量的阻抗控制50欧±2/100欧±2,探针的pitch可...
探针台的探针的清洗,1、毛刷清洁法:适用范围为5微米以上探针,微波探针。不适用于针尖直径在5微米以下的软针。清洗方法是拿一张A4白纸,撕成细长条的形状,撕成细长的三角形形状(大概5cm高左右)。将待清洁探针装好到探针夹具上并置于显微镜**视显微镜即可,放大倍数太高无法操作),利用撕下的纸片作为毛刷,轻轻地将探针沾污物刷下。2、压针清洁法:适用范围是所有探针,灰尘比较靠近探针的情况。清洗方法是拿一张A4白纸,裁成样品台大小(或适当的尺寸),固定于样品台上。将待清洁探针装好到探针夹具上并置于显微镜下,慢慢下压探针,待探针接触到白纸后,向后移动探针。多尝试几次走到探针上的灰尘脱落。3、超声清洁法:适用范围是所有探针,清洗方法是取适量的蒸馏水置于烧杯内(烧杯大小以适合用户操作为宜),并放到超声波清洗机内。打开超声波清洗机,然后手捏住探针(注意戴丁腈手套),将针尖放入蒸馏水内,让震动把灰尘震落,可以隔一两分钟用显微镜观察一次,直到灰尘掉落为止。将探针放到适当的位置晾干后即可使用。请注意,若清洁微波探针,须将探针放置整晚晾干。超高频测试探针台系统。IGBT探针台规格尺寸
N系列探针台是一款适用于4-12英寸晶圆的精密探针台。该系列探针台采用高刚性显微镜龙门设计,结构稳定。显微镜平移台可进行X-Y-Z方向精密位移调节,显微镜放大倍率高,操作方便。同时支持多种功能的升级,非常适合晶圆级的测试应用。该产品主要应用于集成电路/芯片/MEMS器件/管芯晶圆/LED/LCD/太阳能电池等行业的测试及研究领域。在科研单位和半导体工厂都得到了运用。产品优势:显微镜具备高刚性龙门支架且搭配气动升降,保证高质量光学成像质量。卡盘同时具备快速和微调升降,便于样品和探针快速分离,也可以加载探针卡。可升级性强,比较高可升级220G高频,可集成光电流扫描成像或拉曼-瞬态荧光寿命成像系统等。武汉FINFET探针台极端环境下给样品加载电学信号的探针台设备。
探针台的分类探针台可以按照使用类型与功能来划分,也可以按照操作方式来划分成:手动探针台、半自动探针台、全自动探针台。手动探针台系统顾名思义是手动控制的,这意味着晶圆载物台、显微镜以及定位器/操纵器都是由使用者手动移动的。因此一般是在没有很多待测器件需要测量或数据需要收集的情况下使用手动探针台。该类探针台的优点之一是只需要**少的培训,易于配置环境和转换测试环境,并且不需要涉及额外培训和设置时间的电子设备、PC或软件。由于其灵活和可变性高的特点,非常适合研发人员使用。全自动探针台相比上述两种添加了晶圆材料处理搬运单元(MHU)和模式识别(自动对准)。负责晶圆的输送与定位,使晶圆上的晶粒依次与探针接触并逐个测试。可以24小时连续工作,通常用于芯片量产或有一些特殊要求如处理薄晶圆、封装基板等。全自动探针台价格也是远比手动/半自动探针台要昂贵。
无论是芯片设计的可靠性验证测试,或是晶圆量产中的WAT测试和CP测试,探针台在其中起着至关重要的作用。探针台设备主要技术壁垒在系统的精细定位、微米级运动以及高准确率通信等关键参数。目前全球主要探针台市场仍主要被美、日、韩等国所占据。近年来在国家对半导体产业的大力扶持下,国产化技术的发展进程不断加快,中国半导体设备企业将加速迎来国产替代的机会。在国内半导体设备市场中,探针台是我国目前能实现高国产化率的设备。半导体探测系统是一种成熟的工具,用于测试硅晶片,裸片和开放式微芯片上的电路和器件。
探针测试台x-y工作台的分类纵观国内外的自动探针测试台在功能及组成上大同小异,即主要由x-y向工作台,可编程承片台、探卡/探卡支架、打点器、探边器、操作手柄等组成,并配有与测试仪(TESTER)相连的通讯接口。但如果按其x-y工作台结构的不同可为两大类,即:以美国EG公司为**的平面电机型x-y工作台(又叫磁性气浮工作台)自动探针测试台和以日本及欧洲国家生产的采用精密滚珠丝杠副和直线导轨结构的x-y工作台型自动探针测试台。由于x-y工作台的结构差别很大,所以其使用维护保养不可一概而论,应区别对待。电路板各通道及载体高频高速测试。湖南PCB探针台
探针测试台x-y工作台。IGBT探针台规格尺寸
波铭科仪CH-196高低温真空探针台是我司自主研发的一款在极端环境下给样品加载电学信号的设备。可以实现器件及材料表征的IV/CV特性测试,射频测试,光电测试等。通过液氮或者压缩机制冷,可以在防辐射屏内营造一个稳定的测试环境。在特殊材料,半导体器件等研究方向具有***运用。一般用于相关单位实验室。产品优势:防辐射屏和热沉设计降温速度快,常温降至77k<25mins,提高测试效率液氮自动控制系统,液氮流量模块和温度控制模块一起联动共同控制温度。IGBT探针台规格尺寸
上海波铭科学仪器有限公司公司是一家专门从事拉曼光谱仪,电动位移台,激光器,光电探测器产品的生产和销售,是一家贸易型企业,公司成立于2013-06-03,位于望园南路1288弄80号1904、1909室。多年来为国内各行业用户提供各种产品支持。在孜孜不倦的奋斗下,公司产品业务越来越广。目前主要经营有拉曼光谱仪,电动位移台,激光器,光电探测器等产品,并多次以仪器仪表行业标准、客户需求定制多款多元化的产品。我们以客户的需求为基础,在产品设计和研发上面苦下功夫,一份份的不懈努力和付出,打造了爱特蒙特产品。我们从用户角度,对每一款产品进行多方面分析,对每一款产品都精心设计、精心制作和严格检验。上海波铭科学仪器有限公司以市场为导向,以创新为动力。不断提升管理水平及拉曼光谱仪,电动位移台,激光器,光电探测器产品质量。本公司以良好的商品品质、诚信的经营理念期待您的到来!
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