中源绿净在半导体光刻洁净室环境监测中，打造了微粒 - 温湿度 - 气压多参数协同体系。应用场景：半导体光刻工艺洁净室。针对 10 级光刻洁净区，采用每 1.5 平方米 1 个监测终端的高密度部署，实时监测 0.1μm 微粒浓度（采样流量 50L/min，数据更新周期 2 秒）、温度（23±0.1℃，精度 ±0.05℃）、湿度（45±2% RH，精度 ±1%）及相邻区域压差（≥25Pa，精度 ±1Pa）。系统搭载的激光粒子计数器 小分辨率达 0.1μm，可捕捉极细微颗粒变化。通过与空调系统联动调节，当温湿度偏离设定值时 10 秒内完成动态补偿，使光刻胶涂覆均匀度提升 30%。已在中芯国际、台积电等企业应用，符合 SEMI S2 安全标准，环境参数稳定达标率 99.96%。中源绿净的环境监测方案，助力 30 + 企业提升生产效率，降低生产成本！深圳十万级环境监测检测标准对照表
中源绿净针对航空航天部件洁净室的环境监测方案，强化了低湿度环境下的洁净度管控。依据 AS9100 航空质量管理体系要求，在航天发动机部件装配的 8 级洁净区，部署了低湿度 监测终端，可耐受 10%~30% RH 的低湿环境，监测参数包括 0.5μm 微粒浓度、 温度（测量范围 - 60~20℃，精度 ±0.5℃）、空气洁净度等级等。采用电解法湿度传感器，在低湿环境下测量精度仍保持 ±2% RH，数据刷新周期为 30 秒 / 次。系统具备与除湿机组的联动调节功能，湿度波动控制在 ±3% 以内，使航空部件表面氧化率下降 62%。已服务于中国商飞、航天科技集团等 12 家企业，助力其部件通过航天级环境验证，环境数据合规率 100%。深圳十级环境监测计数器中源绿净在环境监测领域，为 50 + 光学企业保障产品质量，镜头镀膜合格率提升！
中源绿净针对半导体湿法刻蚀洁净室的洁净度监测方案，聚焦于腐蚀性环境下的 监测。应用场景：半导体湿法刻蚀洁净车间。针对 1000 级刻蚀区，配置防腐蚀监测终端，可耐受 Cl₂、HF 等腐蚀性气体环境，实时监测 0.5μm 微粒浓度（采样流量 28.3L/min）、蚀刻液飞溅微粒及局部湿度（控制在 40%~50% RH±3%）。采用惰性材料封装传感器，检测精度在腐蚀性环境中仍保持 ±10% 以内。通过与蚀刻槽联动控制，当微粒浓度超标时自动启动局部排风，使晶圆刻蚀均匀性不良率下降 45%。已服务于华虹半导体、士兰微等企业，符合 SEMI S2 安全标准，洁净度监测准确率 99.92%。
中源绿净为精密仪器装配洁净室开发的环境监测系统，重点解决了微振动与洁净度的同步管控问题。针对光学仪器、精密量具的装配 100 级洁净区，配置了一体化监测终端，可同步采集 0.3μm 微粒浓度（采样频率 1 次 / 10 秒）、环境振动（频率范围 1~1000Hz，测量精度 ±0.001mm/s）、空气流速（0.2~0.4m/s）等参数。采用压电式振动传感器实现高精度测量，数据采样率达 1000Hz，确保捕捉细微振动信号。搭配振动源定位算法，能快速识别设备运行引发的振动超标，使精密仪器装配精度提升 40%。该系统已适配蔡司、徕卡等企业的生产标准，在 显微镜装配车间应用中，环境稳定性达标率保持在 99.92% 以上。中源绿净的环境监测系统，具备智能化分析功能，为企业提供决策支持！
中源绿净在生物疫苗冻干洁净室环境监测中，构建了温湿度 - 真空度 - 微生物多参数联动体系。应用场景：疫苗冻干生产洁净室。针对 A 级冻干 区，采用每 1 平方米 1 个监测终端的超高密度布局，实时监测冻干舱内温度（-50~30℃，精度 ±0.2℃）、真空度（0~100Pa，精度 ±1Pa）、浮游菌浓度（每 20 分钟采样 1 次，检测下限 0.5CFU/m³）及相邻区域压差（≥30Pa）。系统搭载的低温 传感器在 - 80℃环境下仍保持稳定性能，数据采样频率达 10 次 / 秒。通过与冻干机控制系统联动，当参数偏离工艺范围时 5 秒内触发调节，使疫苗冻干合格率提升 35%。已在国药中生、科兴中维等企业应用，符合 WHO 疫苗生产规范，环境数据追溯通过率 100%。中源绿净的环境监测系统，能实现 100 + 监测点数据实时传输，数据延迟小于 1 秒，助力企业快速决策！深圳芯片半导体环境监测在线监测系统
中源绿净为 30 + 罐头生产企业降低微生物污染风险，商业无菌不合格率大幅下降！深圳十万级环境监测检测标准对照表
中源绿净在生物制药发酵洁净车间环境监测中，推出了温湿度 - 氧气浓度多维度方案。应用场景：生物发酵罐洁净区。针对 发酵的 B 级洁净区，配置防爆型监测终端，同步监测发酵车间温度（25~30℃，精度 ±0.3℃）、湿度（50%~70% RH，精度 ±3%）、氧气浓度（19%~21%，精度 ±0.1%）及悬浮粒子浓度。采用电化学氧气传感器实现实时监测，响应时间≤10 秒，数据存储容量支持 180 天全量回溯。系统对接发酵控制系统，当氧气浓度偏离 范围（20.5%±0.2%）时自动调节通风量，使发酵单位产量提升 12%。通过微生物浓度趋势分析，提前 8 小时预警污染风险，使发酵染菌率下降 35%。已在华北制药、联邦制药等企业应用，符合 GMP 生物制品要求，环境监测数据准确率 100%。深圳十万级环境监测检测标准对照表
