常州思捷光电深耕红外测温领域多年,打造的 MARS-S 系列单色红外测温仪,以高精度、高稳定性成为半导体行业真空炉温度监测的关键设备。该系列测温范围 580℃~3050℃,分段适配单晶炉、多晶炉、真空炉等半导体生产场景,搭载 Si 硅光电池探测器,工作波长 (0.85~1.1)μm,测量精度 ±0.5% T℃,分辨率 0.1℃,重复精度 ±2℃,确保温度数据准确可靠。产品距离系数达 100:1 或 200:1,调焦范围覆盖 0.25m~0.65m 至无穷远,能准确锁定真空炉内小目标区域温度。响应时间 5ms 快速响应,可定制至 3ms,实时捕捉温度动态变化,搭配峰值、谷值、平均值信号处理功能,满足不同监测需求。PID 恒温控制与全量程温度补偿技术,有效抵消环境温度对测量精度的影响,特殊设计的窄带红外滤片,大幅降低发射率变化带来的误差。供电电源采用 DC (20~30) V 设计,带过压、过流、短路保护,内置 EMI 滤波器可抗 2500VDC 脉冲群干扰,适配半导体生产的复杂电磁环境。工业级 OLED 显示屏操作便捷,支持 LED 绿光源或目视瞄准,1:1 显示目标大小,定位准确。思捷光电凭借与高校及行业企业的合作优势,结合先进的 EMC 测试平台与无尘实验室,为半导体企业提供稳定可靠的测温解决方案,助力提升芯片生产良率。PID 恒温控制技术,让红外测温仪不受环境温度波动影响。石家庄非接触式高温计工作原理

以激光焊接测温为例:激光加热点温度高达 2000℃以上,且存在金属蒸汽、火花等干扰,此时 EX-SMART-FGR 系列的三模式可协同工作 —— 双色模式抵御蒸汽干扰,确保基础温度数据可靠;单色窄波段模式聚焦焊接点区域,捕捉瞬时高温峰值(响应时间 1ms),避免过烧;单色宽波段模式监测焊接点周边区域温度,防止热影响区过大。三种模式的数据可实时在 OLED 屏显示,操作人员可通过对比判断温度是否均匀,及时调整激光功率。此外,三模式测温还为故障排查提供便利:若三种模式数据偏差较小,说明测温环境稳定、设备正常;若某一模式数据异常(如单色窄波段偏差大),则可能是镜头局部污染或目标定位偏差,可针对性排查。该功能使 EX-SMART 系列不仅是测温设备,更是复杂场景下的温度状态分析工具,尤其适合科学实验、制造等对温度监控要求极高的领域。伊春双色红外高温计售后服务内置 EMI 滤波器,抗 2500VDC 脉冲群干扰。

对于更高精度要求的氮化镓(GaN)长晶或科学实验场景,EX-SMART-FGR 系列光纤双色红外测温仪更具优势。该系列测温范围 350~3300℃,响应时间 1ms,能捕捉长晶过程中温度的瞬时变化;光纤式设计使镜头可深入炉内高温区(光纤耐受 250℃),避免炉体高温影响设备部件;三模式测温(双色、单色宽波段、单色窄波段)可从不同维度验证温度数据,进一步提升精度 —— 例如双色模式确保抗干扰,单色窄波段模式准确捕捉晶体生长界面的局部温度,为长晶工艺优化提供多维度数据。此外,思捷红外测温仪的 PID 恒温控制与全量程温度补偿技术,能抵消环境温度变化对测量的影响;RS485 通讯接口可将温度数据实时上传至长晶控制系统,实现温度的自动化调节。这些技术特点,使其成为半导体行业高质量长晶的重要保障。
半导体制造对温度精度要求极高,思捷光电提供覆盖晶圆加工、薄膜沉积、长晶等环节的精密测温方案。晶圆加工阶段,蚀刻与沉积温度需控制在±1℃以内,EX-SMART系列光纤双色仪(350℃~3300℃)以1ms响应捕捉温度细微变化,三模式测温对比分析数据,抗电磁干扰设计适配光刻机等设备。第三代半导体长晶炉测温选用STRONG-SR系列双色仪(700℃~3200℃),准确监测炉内温度,形成工艺曲线,保障晶体质量;薄膜沉积环节,MARS-G系列(300℃~2500℃)监测沉积温度,确保薄膜厚度均匀。设备支持以太网通讯,与半导体自动化系统联动,实现温度闭环控制,提升产品良率。小屏显示功能,让红外测温仪可快速读取实时温度。

发射率系数是红外测温仪的关键校准参数,反映物体表面热辐射效率,不同材质、表面状态(抛光、氧化、粗糙)的发射率差异明显,如抛光未氧化钢的发射率为 0.05~0.1,严重氧化钢可达 0.8~0.95,若设置不当会导致测量偏差(发射率偏大则测温值偏低)。思捷全系列产品均支持发射率可调(单色模式 0.100~1.100,步距 0.001),校准方法实用高效:一是用 RTD 热电阻或热电偶获取物体真实温度,调整发射率至显示一致;二是利用物体表面暗黑涂料(发射率≈0.98),测量涂料区域温度,调节发射率使相邻区域显示相同温度。例如测量粗糙未氧化的铸铁(真实温度 1000℃),初始显示 950℃,可逐步增大发射率(从 0.995 调整至 1.050),直至显示准确值。STRONG 系列测温范围覆盖 250℃~3200℃。石家庄非接触式高温计工作原理
玻璃熔炉、钢化加工需用思捷玻璃行业红外测温仪。石家庄非接触式高温计工作原理
目镜瞄准适合 “远距离、封闭或强光” 的场景,如大型高炉顶部测温、室外管道测温 ——MARS 系列的目镜瞄准为正像设计,搭配可选减光片(目标温度超过 1200℃时使用),操作人员可通过目镜准确定位小目标,不受强光影响。例如在钢铁高炉顶部,操作人员通过目镜瞄准高炉内的钢水表面,即使距离 50 米,仍能准确定位,避免测量炉壁温度。目镜瞄准的优势是定位精度高、抗强光,但需要操作人员现场操作,不适合远程监控场景。视频瞄准是 “远程监控、复杂场景” 的较好选择,如半导体长晶炉远程测温、危险区域(如危废焚烧炉)测温 ——STRONG 系列与 EX-SMART 系列的视频瞄准功能,通过摄像头实时传输目标图像至中控室,图像为正像,且可叠加温度数据,操作人员在远程即可准确定位测量点,无需现场接触危险环境。例如在危废焚烧炉测温中,中控室人员通过视频图像瞄准炉内焚烧区域,实时监控温度,避免现场有毒气体对人员的伤害。视频瞄准的优势是远程操作、可视化程度高,但成本相对较高,且需要网络传输支持。石家庄非接触式高温计工作原理