RPS基本参数
  • 品牌
  • 晟鼎精密
  • 型号
  • SPR-08
  • 用途
  • 工业用
  • 清洗方式
  • 远程等离子
  • 外形尺寸
  • 467*241*270
  • 产地
  • 广东
  • 厂家
  • 晟鼎
  • 制程气体
  • NF3、O₂、CF4
  • 点火气体/流量/压力
  • 氩气(Ar)/1-6AR sIm/1-8 torr
  • 制程气体流量
  • 8NF3sLm
  • 工作气压
  • 1-10torr
  • 离化率
  • ≥95%
  • 进水温度
  • 30℃
RPS企业商机

东莞市晟鼎精密仪器有限公司推出的 RPS 远程等离子源,是半导体先进制程中的关键中心设备。RPS 采用电感耦合等离子体技术,通过单独腔室生成高密度等离子体,经远程传输区筛选后,只让中性自由基进入主工艺腔,从根源避免离子轰击对晶圆的物理损伤。在 5nm 以下节点芯片制造中,RPS 展现出优越的工艺适配性,无论是 FinFET 还是 GAA 晶体管加工,都能精细控制侧壁粗糙度与晶格缺陷。RPS 支持 Ar、O₂、NF₃等多种工艺气体配比调节,可实现 SiO₂与 SiN 的刻蚀选择比超过 100:1,满足高深宽比通孔的均匀加工需求。晟鼎精密的 RPS 设备在 300mm 晶圆处理中,能将刻蚀均匀性控制在 ±2% 以内,长时间运行稳定性强,为半导体量产提供可靠保障,成为逻辑芯片、存储器件制造中的推荐 RPS 解决方案。远程等离子的处理作用,是非常轻微的刻蚀,有一定的活性作用,主要与腔室内部的残余气体发生作用。河北远程等离子电源RPS电源半导体

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东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 定位技术,在紧急救援场景中发挥着关键的生命保障作用,大幅提升救援效率。在地震、火灾等灾难现场,GNSS 信号可能受到破坏或干扰,RPS 定位技术可通过蜂窝小区 ID 定位、射频地图定位等方式,快速确定受困人员的大概位置。RPS 定位系统响应速度快,可在复杂环境中稳定工作,为救援人员提供实时的位置指引;定位精度高,能够缩小搜索范围,减少救援时间。晟鼎精密的 RPS 紧急救援定位方案可与救援设备联动,支持多救援团队协同作业,提升救援组织效率。该 RPS 定位技术已应用于多个应急救援场景,帮助救援人员成功营救多名受困人员,成为紧急救援领域的重要 RPS 技术装备。江苏半导体RPS联系方式适用于防腐涂层前处理的绿色表面活化。

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东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 三维光学扫描设备,在航空航天维修领域发挥着重要作用,成为故障检测的中心工具。航空航天设备维修中,需精细检测零部件的磨损、变形等故障情况,RPS 设备的高分辨率扫描能力可清晰捕捉零部件表面的细微损伤。RPS 采用非接触式扫描方式,不会对受损零部件造成二次伤害,适用于精密部件的故障检测。在维修过程中,RPS 可扫描受损零部件,生成三维数据与原始设计模型进行比对,精细分析故障原因与损伤程度,为维修方案制定提供依据。该 RPS 设备便携性强,可在维修现场灵活使用,无需将大型零部件搬运至检测中心,大幅缩短维修周期。目前,RPS 已应用于飞机发动机、机身结构等关键部件的维修检测,为航空航天设备的安全运行提供了可靠的 RPS 技术保障。

东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 定位技术,在智慧园区建设中得到综合应用,提升园区管理效率与智能化水平。在智慧园区中,RPS 可实现人员、车辆、设备的实时定位管理,通过终端设备可快速查询目标位置,提升调度效率;在安防领域,RPS 可监测人员进出权限,实现区域入侵报警,提升园区安全性。RPS 定位技术与园区物联网平台联动,可实现能耗管理、环境监测等功能的智能触发,如根据人员分布调节照明、空调等设备。该 RPS 智慧园区解决方案具备良好的扩展性,可根据园区规模与需求进行功能升级;通过大数据分析,可优化园区资源配置,降低运营成本。目前,RPS 定位技术已应用于多个智慧园区项目,成为园区智能化建设的中心 RPS 技术支撑。在红外探测器制造中优化光敏面。

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东莞市晟鼎精密仪器有限公司的 RPS 三维光学扫描设备,为文物保护提供了先进的数字化解决方案。文物保护对检测设备的精度与安全性要求极高,RPS 采用非接触式扫描方式,不会对文物造成任何损伤,可安全用于各类文物的数字化采集。RPS 设备的高分辨率扫描能力可精细捕捉文物的纹理、细节与尺寸信息,生成高精度三维数字模型,为文物修复、复制提供准确数据。在文物展览中,RPS 生成的三维数字模型可用于虚拟展览,让观众通过数字终端近距离欣赏文物细节;在文物研究中,研究人员可通过数字模型进行多角度分析,无需接触文物原件。该 RPS 文物数字化方案已应用于多家博物馆与文物保护机构,为文化遗产的传承与保护提供了有力的 RPS 技术支持。RPS远程等离子源在半导体晶圆清洗中实现纳米级无损清洁。福建半导体RPS电源

远程等离子体源RPS可以被集成到真空处理系统中,使得表面处理和材料改性的工艺更加灵活和高效。河北远程等离子电源RPS电源半导体

东莞市晟鼎精密仪器有限公司推出的 RPS 资产追踪系统,为仓库、物流中心等场景提供高效的资产管理解决方案。RPS 基于射频指纹定位技术,通过蓝牙信标、超宽带等定位模块,实现对货物、设备等资产的实时位置追踪。该 RPS 系统可精细记录资产的移动轨迹,生成详细的位置报表,帮助管理人员快速查找目标资产,提高仓储管理效率。RPS 资产追踪系统具备多资产同时监测能力,支持批量资产的位置同步更新,定位误差控制在合理范围。在数据安全方面,RPS 系统采用加密传输技术,确保资产信息不被泄露;通过与 ERP 系统联动,RPS 实现资产位置与库存数据的实时同步,优化库存管理流程。目前,RPS 资产追踪方案已应用于多个行业的物流仓储环节,成为企业降本增效的重要 RPS 技术工具。河北远程等离子电源RPS电源半导体

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